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대상물 가공 장치(Apparatus for processing an object)

  • 기술번호 : KST2016007650
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 대상물 가공 장치는 진공 챔버와, 막을 형성하기 위한 대상물을 지지하는 지지부재와, 막을 형성하기 위한 물질을 포함하는 타겟 및 타겟과 대상물을 향해 이온빔을 각각 조사하며, 대상물에 막을 형성하기 위해 타겟의 물질이 대상물을 향하도록 타겟의 물질을 활성화하고, 막이 형성되기 전에 대상물을 전처리하거나 막이 형성된 후 대상물을 후처리하는 이온 빔 소스를 포함한다. 대상물 가공 장치는 막 형성 및 전처리 또는 후처리를 동시에 수행할 수 있으므로, 대상물 처리 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/265 (2006.01) C23C 14/58 (2006.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020160018198 (2016.02.17)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0029041 (2016.03.14) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2013-0140476 (2013.11.19)
관련 출원번호 1020130140476
심사청구여부/일자 Y (2016.02.17)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김도근 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 이승훈 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 김종국 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 정성훈 대한민국 서울특별시 은평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동건 대한민국 서울특별시 강남구 논현로***길 *, *층 ***호 (논현동)(차암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2016.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2016-0155425-36
2 수수료 반환 안내서
Notification of Return of Official Fee
2016.03.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0032860-71
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0243084-04
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2016-0516351-79
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0631290-02
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.07.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0738527-58
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0738537-15
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0745280-87
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-1070040-70
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.11.02 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-1070034-06
11 등록결정서
Decision to Grant Registration
2016.12.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0866152-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공 챔버;막을 형성하기 위한 대상물을 지지하는 지지부재;상기 막을 형성하기 위한 물질을 포함하는 타겟; 및상기 대상물에 상기 막을 형성하기 위해 상기 타겟의 물질이 상기 대상물을 향하도록 상기 타겟을 향해 제1 이온빔을 조사하여 상기 타겟의 물질을 활성화하고, 상기 막이 형성되기 전에 상기 대상물을 전처리하거나 상기 막이 형성된 후 상기 대상물을 후처리하기 위해 상기 대상물을 향해 제2 이온빔을 조사하는 이온 빔 소스를 포함하고, 상기 이온 빔 소스는, 내부 공간을 가지며 상면이 개방되고, 내부에 상기 내부 공간으로 가스를 공급하기 위한 가스 공급홀들을 갖는 몸체;상기 몸체의 상면에 구비되며, 상기 내부 공간을 노출하는 개구를 갖는 음극;상기 몸체의 내부 공간에 상기 음극과 이격되도록 구비되며, 상기 음극과의 간격을 넓히기 위해 상기 개구와 대응하는 홈을 가지고, 외부로부터 인가되는 전원과 연동하여 상기 음극과 사이에서 전기장을 형성하여 상기 가스를 이온화하는 양극;상기 몸체를 관통하여 상기 양극을 지지하고, 상기 양극으로 전력을 공급하기 위해 도전성 물질로 이루어지는 제1 구조물 및 상기 제1 구조물과 상기 몸체가 전기적으로 연결되는 것을 방지하기 위해 절연 물질로 이루어지며 상기 제1 구조물을 감싸도록 구비되는 제2 구조물로 이루어지는 양극 지지부; 및상기 몸체의 내부에 상기 몸체의 연장 방향을 따라 구비되는 자성체를 포함하고, 상기 내부 공간은 상기 몸체의 연장 방향을 따라 연장된 링 형상을 가지며, 상기 가스 공급홀은 상기 몸체의 하부면에서부터 상기 몸체의 중앙 부위를 관통하여 상기 음극과 상기 양극 사이의 내부 공간으로 상기 가스를 공급하고, 상기 자성체의 자력으로 인해 금속 재질의 상기 음극과 상기 몸체의 정렬이 어긋나는 것을 방지하고 상기 음극을 상기 몸체의 상면에 정렬하기 위해 상기 음극은 하부면에 상기 몸체의 상면과 대응하는 형태의 체결홈을 가지며, 상기 양극 지지부의 표면 전체에 상기 이온빔 생성시 내부에서 발생하거나 외부로부터 유입된 전도성 물질이 코팅되는 것을 방지하기 위해 상기 몸체가 내측면에 상기 양극 지지부가 고정된 부위의 둘레를 따라 홈을 갖거나 상기 양극 지지부의 제2 구조물이 둘레를 따라 단차를 갖는 것을 특징으로 하는 대상물 가공 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 타겟은 다각형 기둥 또는 원기둥 형태를 가지며, 상기 진공 챔버 내부에서 이동 및 상기 다각형 기둥 또는 원기둥의 축을 중심으로 회전이 가능하도록 구비되며, 상기 타겟을 이동하여 상기 제1 이온 빔이 상기 타겟을 향해 조사되지 않도록 하거나, 상기 타겟을 회전시켜 상기 타겟의 활성화된 물질이 상기 대상물을 향하는 위치와 상기 제2 이온 빔이 상기 대상물에 조사되는 위치를 다르게 하는 것을 특징으로 하는 대상물 가공 장치
3 3
제2항에 있어서, 상기 타겟은 상기 다각형 기둥의 측면들 또는 상기 원기둥의 측면에 서로 다른 물질들을 포함하고, 상기 타겟의 회전에 따라 상기 제1 이온 빔이 조사되는 물질을 달리함으로써 상기 서로 다른 물질을 교대로 또는 순차적으로 활성화시켜 상기 대상물 상에 서로 다른 물질의 막들을 형성하는 것을 특징으로 하는 대상물 가공 장치
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서, 상기 양극은 상기 전기장 형성시 발생하는 열을 냉각하기 위한 냉매를 순환하기 위한 제1 유로를 가지며, 상기 양극 지지부의 제1 구조물은 상기 양극 내부의 제1 유로로 상기 냉매를 공급 또는 배출하기 위한 제2 유로를 갖는 것을 특징으로 하는 대상물 가공 장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 지지부재는 필름 형상의 대상물을 권취하여 이송하기 위한 한 쌍의 롤러인 것을 특징으로 하는 대상물 가공 장치
7 7
제6항에 있어서, 상기 챔버는 내부를 다수의 영역으로 구분하는 격벽을 가지며, 상기 영역마다 상기 타겟과 상기 이온 빔 소스가 구비되는 것을 특징으로 하는 대상물 가공 장치
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1 KR1020150057304 KR 대한민국 FAMILY

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 재료연구소 주요산업 미세금속 배선적용 유연 투명전도막 형성기술개발(2/3)