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디지털 홀로그래피 현미경 장치에 있어서,복수의 대역에 분포된 파장대역을 가지는 혼합광을 입력받고, 상기 입력된 광을 미리 정해진 단일파장을 가지는 제1광선과 상기 단일파장과 다른 파장을 가지는 제2광선으로 분할하는 파장분할부;상기 분할된 제1광선과 제2광선을 각각 물체광과 참조광으로 분할하고, 상기 물체광들과 참조광들을 이용하여 측정대상물체에 대한 정보를 가지는 간섭무늬를 획득하는 간섭무늬획득부;상기 측정대상물체를 거치하고 상기 물체광들을 광학적으로 조절하여 상기 측정대상물체에 입사시키는 대물부; 및상기 간섭무늬획득부와 상기 대물부를 제어하되, 상기 측정대상물체에 입사되는 제1물체광과 제2물체광을 조절하도록 상기 대물부를 제어하고, 상기 측정대상물체에 관한 상기 간섭무늬가 획득되도록 상기 간섭무늬획득부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래피 현미경 장치
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제 1항에 있어서, 상기 파장분할부는, 상기 입력된 혼합광을 2개의 광으로 분할하는 제1광분할기; 상기 분할된 광들 중 하나의 광을 입력받아 미리 정해진 단일파장을 가지는 상기 제1광선을 획득하는 제1여광판; 상기 분할된 광들 중 나머지 하나의 광을 입력받아 상기 단일파장과 다른 파장을 가지는 상기 제2광선을 획득하고, 상기 제2광선을 상기 간섭무늬획득부로 보내는 제2여광판; 및 상기 제1광선을 입사받아 상기 간섭무늬획득부로 반사하는 제1반사체를 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래피 현미경 장치
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제 1항에 있어서, 상기 간섭무늬획득부는, 상기 제1광선을 입력받아 제1물체광과 제1참조광으로 분할하는 제2광분할기; 상기 제2광선을 입력받아 제2물체광과 제2참조광으로 분할하는 제3광분할기; 상기 제1참조광을 입사받고, 상기 입사된 제1참조광에 따른 제1반사참조광을 상기 제2광분할기로 반사하며, 각도가 조절되도록 구비된 제2반사체; 상기 제2물체광이 상기 제2광분할기에 입력되고 분할되어 상기 분할된 광의 일부가 상기 제2반사체 방향으로 진행할 때 상기 제2반사체에 이르지 못하도록 진행을 막는 제3여광판; 및 상기 제2참조광을 입사받고, 상기 입사된 제2참조광에 따른 제2반사참조광을 상기 제3광분할기로 반사하며, 각도가 조절되도록 구비된 제3반사체를 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래피 현미경 장치
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제 3항에 있어서, 상기 제2광분할기는 상기 제1물체광을 상기 대물부에 거치되어 있는 상기 측정대상물체에 입사시키고, 상기 제3광분할기로부터 입력받은 상기 제2물체광을 상기 측정대상물체에 입사시키고, 상기 제1물체광이 상기 측정대상물체에 입사되고 반사되어 획득된 제1반사물체광과 상기 제2물체광이 상기 측정대상물체에 입사되고 반사되어 획득된 제2반사물체광을 입력받아 상기 제3광분할기로 보내고, 제2반사체로부터 입사받은 제1반사참조광을 제3광분할기로 보내고, 상기 제3광분할기는 상기 제2물체광을 상기 대물부에 거치되어 있는 상기 측정대상물체에 입사시키기 위하여 상기 제2광분할기로 보내고, 상기 제3반사체로부터 입력받은 상기 제2반사참조광과 상기 제2광분할기에서 입력받은 상기 제1반사물체광, 상기 제2반사물체광, 상기 제1반사참조광을 합쳐 일방향으로 보내, 상기 제1반사물체광과 상기 제2반사물체광과 상기 제1반사참조광과 상기 제2반사참조광이 상호 간섭하여 생성되는 상기 간섭무늬를 획득하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래피 현미경장치
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제 1항에 있어서, 상기 대물부는, 상기 측정대상물체를 거치하는 물체거치대; 및 상기 측정대상물체에 입사되는 상기 제1물체광과 상기 제2물체광을 광학적으로 조절하는 대물렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래피 현미경 장치
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제1항에 있어서, 상기 혼합광을 생성하는 혼합광원부; 상기 간섭무늬를 측정하고, 상기 간섭무늬에 관한 이산신호를 생성하는 이미지센서부; 및 상기 간섭무늬에 관한 이산신호를 저장매체에 저장하는 이미지저장부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래피 현미경 장치
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8
제 7항에 있어서, 상기 혼합광원부는, 단일하지 아니한 여러 대역에 분포된 파장대역을 가지는 광을 발광하는 혼합광원발광부; 및 상기 혼합광원발광부에서 생성된 광을 광학적으로 조절하여 상기 혼합광을 획득하고, 상기 혼합광을 상기 파장분할부로 내보내는 광원부렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래피 현미경 장치
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제 7항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 측정대상물체에 입사되는 상기 제1물체광과 상기 제2물체광을 조절하도록 상기 대물부를 제어하고, 상기 측정대상물체에 관한 상기 간섭무늬가 획득되도록 상기 간섭무늬획득부를 제어하고, 상기 간섭무늬에 관한 이산신호를 생성하도록 상기 이미지센서부를 제어하고, 상기 이산신호를 저장하도록 상기 이미지저장부를 제어하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래피 현미경 장치
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제 1 항에 또는 제 9 항에 있어서, 상기 제어부는,상기 간섭무늬획득부의 제2반사체와 제3반사체를 제어하고, 상기 대물부의 대물렌즈를 제어하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래피 현미경 장치
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제 7항에 있어서, 상기 이미지저장부에 저장된 상기 간섭무늬에 관한 이산신호 정보를 처리하여 상기 측정대상물체의 형상정보를 복원하는 물체형상복원부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래피 현미경 장치
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제 11항에 있어서, 상기 물체형상복원부는, 상기 간섭무늬의 정보를 이용하여 상기 제1광선에 대한 간섭무늬의 제1위상정보와 상기 제2광선에 대한 간섭무늬의 제2위상정보를 획득하는 위상정보획득부; 상기 제1위상정보와 제2위상정보를 이용하여 상기 측정대상물체의 형상에 관한 정보를 나타내는 두께정보를 획득하는 두께정보획득부; 및 상기 두께정보를 이용하여 상기 측정대상물체의 3차원 형상을 실시간으로 복원하는 형상복원부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래피 현미경 장치
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13
디지털 홀로그램 영상 생성 방법에 있어서, 복수의 대역에 분포된 파장대역을 가지는 혼합광으로부터 미리 정해진 단일파장을 가지는 제1광선과 상기 단일파장과 다른 파장을 가지는 제2광선을 획득하는 단계; 상기 제1광선을 제1물체광과 제1참조광으로 분할하고, 상기 제2광선을 제2물체광과 제2참조광으로 분할하는 단계; 및 상기 제1물체광과 상기 제2물체광을 측정대상물체에 입사시키고 반사되어 나오는 광과 상기 제1참조광과 상기 제2참조광을 이용하여, 측정대상물체에 관한 정보를 가지는 간섭무늬를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀로그램 영상 획득 및 3차원 형상 복원 방법
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제 13항에 있어서, 상기 제1광선과 제2광선을 획득하는 단계는, 상기 혼합광을 광분할기를 이용하여 분할하고, 상기 분할된 광을 서로 다른 특성을 가지는 여광판들에 각각 통과시켜, 상기 제1광선과 상기 제2광선을 획득하는 것을 특징으로 하는 홀로그램 영상 획득 및 3차원 형상 복원 방법
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제 13항에 있어서, 상기 간섭무늬를 획득하는 단계는, 상기 제1물체광을 상기 측정대상물체로 입사시킨 후 반사되어 나오는 제1반사물체광과, 상기 제2물체광을 상기 측정대상물체로 입사시킨 후 반사되어 나오는 제2반사물체광과, 상기 제1참조광을 각도가 조절되도록 구비된 제1반사체로 입사시킨 후 반사되어 나오는 제1반사참조광과, 상기 제2참조광을 각도가 조절되도록 구비된 제2반사체로 입사시킨 후 반사되어 나오는 제2반사참조광을 합쳐, 상기 제1물체광과 상기 제2물체광과 상기 제1참조광과 상기 제2참조광이 상호 간섭하여 생성되는 상기 간섭무늬를 획득하는 것을 특징으로 하는 홀로그램 영상 획득 및 3차원 형상 복원 방법
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제 13항에 있어서, 상기 혼합광을 발생하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 홀로그램 영상 획득 및 3차원 형상 복원 방법
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제 13항에 있어서, 상기 간섭무늬를 디지털 이미지 센서를 사용하여 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 홀로그램 영상 획득 및 3차원 형상 복원 방법
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제 17항에 있어서, 상기 간섭무늬 정보로부터, 상기 제1광선에 의하여 생성된 간섭무늬의 제1위상정보와 상기 제2광선에 의하여 생성된 간섭무늬의 제2위상정보를 각각 획득하는 단계; 상기 제1위상정보와 제2위상정보를 이용하여, 상기 측정대상물체의 형상에 관한 정보를 나타내는 두께정보를 획득하는 단계; 및 상기 두께정보를 이용하여, 상기 측정대상물체의 3차원 물체형상을 실시간으로 복원하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 홀로그램 영상 획득 및 3차원 형상 복원 방법
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