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전자빔이 가속되는 공간을 형성하고, 타측에 가속된 전자빔이 방출되는 방출구가 형성된 하우징;상기 하우징 내 일측에 배치되며, 전자를 방출하는 캐소드;상기 하우징 내에서 상기 캐소드로부터 타측으로 이격되어 위치되며, 상기 캐소드로부터 방출된 전자를 가속하는 애노드;상기 하우징 내측에 배치되며, 상기 하우징의 방출구 주위로부터 애노드 측으로 연장되도록 형성되고, 상기 하우징의 방출구 주위에서 반사된 2차전자 및 후방산란전자가 하우징 내측으로 반사되는 것을 차단하는 반사전자 차단구조체;상기 캐소드와 상기 하우징 사이를 절연하며, 상기 캐소드를 고정하는 절연홀더;를 포함하며,상기 캐소드는 상기 애노드를 바라보는 면이 오목하도록 구배가 형성되고, 상기 캐소드의 구배가 형성된 면의 테두리는 라운드지게 형성되며,상기 절연홀더는 상기 캐소드의 구배가 형성된 면의 배면 및 상기 캐소드의 측면을 감싸며, 상기 캐소드의 테두리의 측면까지 연장되고, 상기 캐소드는 상기 애노드를 바라보는 면이 상기 절연홀더보다 더 애노드와 가깝도록 배치되는 반사전자 차단구조체가 구비된 전자빔 방출장치
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제1항에 있어서,상기 반사전자 차단구조체는,상기 애노드와 상기 하우징의 상기 방출구가 형성된 면 사이에 배치되며,상기 방출구가 형성된 면으로부터 상기 애노드를 향하여 연장되며, 내부 중공을 가지고 상기 애노드를 향하는 측 및 상기 방출구를 향하는 측은 개구된 관의 형태로 형성되는 반사전자 차단구조체가 구비된 전자빔 방출장치
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제2항에 있어서,상기 반사전자 차단구조체는,내부 중공이 상기 방출구와 연통되며, 상기 방출구보다 큰 직경을 가지도록 형성되는 반사전자 차단구조체가 구비된 전자빔 방출장치
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제3항에 있어서,상기 반사전자 차단구조체의 내주면에서 내측으로 연장된 플랜지부가 더 형성되는 반사전자 차단구조체가 구비된 전자빔 방출장치
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제4항에 있어서, 상기 플랜지부의 내주면에 의해 형성되는 개구부의 직경은, 상기 방출구를 통해 상승유입되는 금속증기가 캐소드로 안내될 수 있는 크기로 형성되는 반사전자 차단구조체가 구비된 전자빔 방출장치
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제2항에 있어서,상기 반사전자 차단구조체의 내주면에는 상기 후방산란전자 및 2차전자를 흡수하는 흡수홈이 복수개 형성되는 반사전자 차단구조체가 구비된 전자빔 방출장치
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제2항에 있어서,상기 반사전자 차단구조체의 외주면에는 냉각매체가 흐르는 냉각파이프가 구비되는 반사전자 차단구조체가 구비된 전자빔 방출장치
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제7항에 있어서,전자가 상기 냉각파이프에 직접 조사되는 것을 차단하는 차단판이 상기 냉각파이프의 외측에 더 구비되는 반사전자 차단구조체가 구비된 전자빔 방출장치
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