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유전체에 균일하게 플라즈마를 발생시키는 방법(A method for generating plasma uniformly on dielectric material)

  • 기술번호 : KST2016007766
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유전체의 방전개시전압 확인 방법, 전극이 연결된 유전체에 상기 도출한 외부 전기장에 의한 방전개시전압 이상의 전압을 인가하는 단계를 포함하는 유전체에 변위장을 형성하는 방법, 반응기체를 주입하는 단계 및 전극이 연결된 유전체에 상기 도출한 방전개시전압 이상의 전압을 인가하는 단계를 포함하는 유전체 표면에 플라즈마 형성 방법, 전극이 연결된 유전체에 상기 도출한 방전개시전압 이상의 전압을 인가하는 단계를 포함하는 유전체의 표면 전체에 변위장을 형성시키는 방법 및 상기 방법에 의해 표면이 플라즈마 처리되어 개질된 유전체에 관한 것이다.
Int. CL H05H 1/24 (2006.01)
CPC H05H 1/24(2013.01) H05H 1/24(2013.01) H05H 1/24(2013.01)
출원번호/일자 1020140119310 (2014.09.05)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0029985 (2016.03.16) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.08.25)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정동근 대한민국 서울특별시 송파구
2 조용기 대한민국 경기도 안산시 상록구
3 반원진 대한민국 경기도 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한선희 대한민국 서울시 강남구 논현로 *** 여산빌딩 *층 ***호(온유특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.09.05 수리 (Accepted) 1-1-2014-0855694-51
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-0825414-82
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-0825395-02
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.03.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.05.10 수리 (Accepted) 9-1-2016-0020503-21
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0600125-18
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-1032293-23
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.11.22 수리 (Accepted) 1-1-2016-1141303-26
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2016-1262349-75
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.12.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1262350-11
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
12 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2017.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-0398705-37
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.05.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0325181-60
14 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2017.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2017-0540470-46
15 법정기간연장승인서
2017.06.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0077841-36
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번호 청구항
1 1
제1표면 및 제2표면을 갖는 유전체의 방전개시전압을 확인하는 방법으로서,유전체의 제2표면에 전극 연결하고, 유전체의 제1표면의 압력(P1) 003c# 유전체의 제2표면의 압력(P2)인 조건 하에 전압을 인가하고 전류를 측정하여 측정된 인가된 전압과 측정된 전류 사이에 정비례관계가 성립되기 시작되는 전압을 방전개시전압으로 결정하는 것이 특징인 유전체의 방전개시전압 확인 방법
2 2
제1표면 및 전극이 연결되는 제2표면을 갖는 유전체의 제1표면에 변위장을 형성하는 방법으로서,제1항에 기재된 확인 방법에 의해서 도출된, 전극 간의 거리, 제1표면에 가해지는 압력, 유전체의 유전율 또는 두께에 따른 유전체의 방전개시전압 이상의 전압을, 유전체의 제1표면의 압력(P1) 003c# 유전체의 제2표면의 압력(P2)인 조건 하에, 인가하는 제1단계를 포함하는 것인, 유전체 표면에 변위장을 형성하는 방법
3 3
제1표면 및 전극이 연결되는 제2표면을 갖는 유전체의 제1표면 전체에 플라즈마를 형성시키는 방법으로서,유전체의 제1표면이 향하는 측면에 반응기체를 주입하는 제1단계; 및제1항에 기재된 확인 방법에 의해서 도출된, 전극 간의 거리, 제1표면에 가해지는 압력, 유전체의 유전율 또는 두께에 따른 유전체의 방전개시전압 이상의 전압을, 유전체의 제1표면의 압력(P1) 003c# 유전체의 제2표면의 압력(P2)인 조건 하에, 인가하는 제2단계를 포함하는 것인,유전체에 플라즈마 형성 방법
4 4
제1표면 및 전극이 연결되는 제2표면을 갖는 유전체의 제1표면에 변위장을 형성시키는 방법으로서,제1항에 기재된 확인 방법에 의해서 도출된, 전극 간의 거리, 제1표면에 가해지는 압력, 유전체의 유전율 또는 두께에 따른 유전체의 방전개시전압 이상의 전압을, 유전체의 제1표면의 압력(P1) 003c# 유전체의 제2표면의 압력(P2)인 조건하에, 인가하는 제1단계를 포함하는 것인,유전체의 표면 전체에 변위장을 형성시키는 방법
5 5
제1항에 있어서,전극 간의 거리, 제1표면에 가해지는 압력, 유전체의 유전율 또는 두께 또는 추가로 주입되는 반응가스의 종류 및 압력을 변화시키면서 측정하는 것이 특징인 방법
6 6
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유전체는 유전율의 유전상수가 4 이하인 것이 특징인 방법
7 7
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유전체는 고분자 또는 유리를 함유하는 재료로 형성된 것이 특징인 방법
8 8
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유전체는 2개 이상의 성분으로 된 복합물인 것이 특징인 방법
9 9
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유전체는 내면 및 외면을 갖는 것이 특징인 방법
10 10
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유전체는 튜브형, 파우치형 또는 평면형인 것이 특징인 방법
11 11
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, P2와 P1의 압력차가 100 Torr 이상이고, P1은 10 Torr 이하의 압력인 것인 방법
12 12
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 인가되는 전압은 1 kHz 내지 100 kHz 범위의 주파수 교류형인 것이 특징인 방법
13 13
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전압은 최대 음전압과 최대 양전압이 20 kV 이하의 진폭을 갖는 교류로 인가되는 것인 방법
14 14
제3항의 방법에 의해 제1표면 및 전극이 연결되는 제2표면을 갖는 유전체의 제1표면 전체가 플라즈마 처리되어 개질된 것이 특징인 유전체
15 15
제14항에 있어서,반응 조건을 변화시켜 유전체의 제1표면 전체의 친수성 및 소수성 정도가 조절된 것이 특징인 유전체
16 16
제14항에 있어서,유전체의 제1표면 전체가 플라즈마 처리되어 개질된 표면에 노화(aging)방지 또는 접착을 위한 박막층이 추가로 형성된 것이 특징인 유전체
17 17
제14항에 있어서,생체 내 이식체인 것이 특징인 유전체
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US10184181 US 미국 FAMILY
2 US20160068960 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US10184181 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US2016068960 US 미국 DOCDBFAMILY
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