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진공 상태하에서 공정을 수행하는 진공장치 내의 히터 장치에 있어서, 일단과 타단을 갖는 스테이지;상기 스테이지의 일단과 타단 사이에 장착되는 시편홀더;상기 시편홀더의 일측에 면접촉되어 고정설치되는 시편;일단은 상기 스테이지의 일단 측에 특정간격 이격되어 위치되고, 타단은 상기 스테이지의 타단 측에 특정간격 이격되어 위치되는 제1전극층;상기 제1전극층의 일단 또는 타단 측에 특정간격 이격되어 위치되는 제2전극층;상기 스테이지 일단과 상기 제1전극층 사이, 상기 스테이지 타단과 상기 제1전극층 사이, 상기 제1전극층과 상기 제2전극층 사이 각각에 구비되는 절연층; 상기 제1전극층과 상기 제2전극층 사이에 연결되는 열선; 및상기 제1전극층 또는 상기 제2전극층에 전압을 인가하는 제1전압인가부;를 포함하고, 상기 절연층에 의해, 상기 스테이지와 상기 제1전극층과 상기 제2전극층 각각은 서로 전기적으로 분리되며,를 더 포함하고, 상기 열선에서 발생된 복사열에 의해 상기 시편홀더와 상기 시편이 가열되는 것을 특징으로 하는 진공장치용 다기능 히터장치
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제 1항에 있어서, 상기 시편홀더 일측에는 외부로 돌출된 손잡이를 더 포함하고, 상기 시편홀더는 상기 스테이지의 일단과 타단 사이 탈부착되어지는 것을 특징으로 하는 진공장치용 다기능 히터장치
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제 1항에 있어서, 상기 열선은 텅스텐 필라멘트로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공장치용 다기능 히터장치
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제 1항에 있어서, 상기 절연층은 세라믹으로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공장치용 다기능 히터장치
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제 1항에 있어서, 상기 스테이지, 상기 시편홀더 또는 상기 시편에 전압을 인가하는 제2전압인가부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공장치용 다기능 히터장치
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제 7항에 있어서, 상기 제2전압인가부에 의해 전압이 인가되면, 상기 열선에서 방출되는 열전자가 상기 시편과 상기 시편홀더 측으로 가속되어 충돌되면서, 상기 시편이 가열되는 것을 특징으로 하는 진공장치용 다기능 히터장치
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제 1항 또는 제 7항에 있어서, 상기 시편은 상기 시편홀더와 특정간격 이격되어 배치되고, 상기 시편과 상기 시편홀더 사이에 상기 절연층이 구비되어 전기적으로 분리되며, 상기 시편으로 전압을 인가하는 제3전압인가부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공장치용 다기능 히터장치
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제 9항에 있어서, 상기 시편은 특정값 이상의 저항값을 가지며, 상기 시편과 상기 제1전극층을 전기적으로 연결하는 연결전극을 더 포함하고, 상기 제3전압인가부에 의해 상기 시편에 직접 전압을 인가하면 상기 시편에서 줄열이 발생되는 것을 특징으로 하는 진공장치용 다기능 히터장치
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제 9항에 있어서, 상기 시편 측 온도를 실시간으로 측정하는 온도센서와, 상기 제1전압인가부, 상기 제2전압인가부 및 상기 제3전압인가부 중 적어도 어느 하나를 제어하여 상기 시편의 온도를 설정된 온도값으로 유지하도록 하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공장치용 다기능 히터장치
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진공 상태하에서 공정을 수행하는 진공장치 내에 구비되는 제1항에 따른 히터 장치의 작동방법에 있어서, 제1전압인가부에 의해 제1전극층 또는 제2전극층에 전압을 인가하는 단계; 상기 제1전극층과 상기 제2전극층 사이에 구비된 열선에 전류가 흐르면서 발열되는 단계; 및상기 열선의 복사열에 의해 시편홀더와, 상기 시편홀더에 접촉된 시편이 가열되는 단계;를 포함하고,온도센서가 상기 시편 측의 온도를 실시간으로 측정하며, 제어부가 상기 온도센서에서 측정된 온도값을 기반으로 상기 제1전압인가부를 제어하여 상기 시편의 온도를 조절하며,전자빔 모드가 필요한 경우, 제2전압인가부가 스테이지, 상기 시편홀더 또는 상기 시편에 전압을 인가하는 단계; 및 상기 열선에서 방출되는 열전자가 상기 시편과 상기 시편홀더 측으로 가속되어 충돌되면서, 상기 시편이 가열되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공장치용 다기능 히터장치의 작동방법
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제 12항에 있어서, 제어부가 상기 온도센서에서 측정된 온도값을 기반으로 상기 제2전압인가부를 제어하여 상기 시편의 온도를 조절하는 것을 특징으로 하는 진공장치용 다기능 히터장치의 작동방법
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제 12항에 있어서, 시편은 특정값 이상의 저항값을 가지며, 줄열모드가 필요한 경우, 상기 시편은 상기 시편홀더와 특정간격 이격되어 배치되고, 상기 시편과 상기 시편홀더 사이에 상기 절연층이 구비되어 전기적으로 분리되며, 제3전압인가부가 시편으로 전압을 인가하는 단계; 및상기 제3전압인가부에 의해 상기 시편에 직접 전압이 인가되면 상기 시편에서 줄열이 발생되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공장치용 다기능 히터장치의 작동방법
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제 16항에 있어서, 제어부가 상기 온도센서에서 측정된 온도값을 기반으로 상기 제3전압인가부를 제어하여 상기 시편의 온도를 조절하는 것을 특징으로 하는 진공장치용 다기능 히터장치의 작동방법
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