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탄화규소 기판의 결함 저감방법(METHOD FOR DECREASING DEFECTS OF SILICON-CARBIDE SUBSTRATE)

  • 기술번호 : KST2016008055
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 탄화규소 기판의 결함 저감방법이 개시된다. 본 발명의 일 구현예는, 화학적 기계적 연마(CMP) 슬러리를 이용한 연마 단계를 포함하는 탄화규소 기판의 제조 공정에서 상기 탄화규소 기판의 결함을 저감하는 방법으로서, 상기 연마 단계 이전에, 상기 슬러리를 크기가 서로 다른 둘 이상의 메쉬 필터를 이용하여 여과하는 단계;를 포함하는 탄화규소 기판의 결함 저감방법을 제공한다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) H01L 29/16 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/30625(2013.01) H01L 21/30625(2013.01)
출원번호/일자 1020140122913 (2014.09.16)
출원인 주식회사 포스코, 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0032786 (2016.03.25) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.09.16)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 포스코 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김장열 대한민국 경북 포항시 남구
2 여임규 대한민국 경북 포항시 남구
3 이재윤 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.09.16 수리 (Accepted) 1-1-2014-0877431-76
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.04.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0039909-53
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0635537-89
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-1114641-86
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-1235191-91
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-0055840-58
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-0153385-51
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.02.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0153393-16
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0464198-72
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.04.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5077322-80
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5200802-82
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-5204006-48
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
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번호 청구항
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화학적 기계적 연마(CMP) 슬러리를 이용한 연마 단계를 포함하는 탄화규소 기판의 제조 공정에서 상기 탄화규소 기판의 결함을 저감하는 방법으로서,상기 연마 단계 이전에, 상기 슬러리를 크기가 서로 다른 둘 이상의 메쉬 필터를 이용하여 여과하는 단계;를 포함하는 탄화규소 기판의 결함 저감방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 슬러리를 제1 및 제2 메쉬 필터를 이용하여 2회 여과하는 탄화규소 기판의 결함 저감방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 제1 메쉬 필터의 지름이 60㎛ 내지 90㎛ 인 탄화규소 기판의 결함 저감방법
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제 3 항에 있어서, 상기 제2 메쉬 필터의 지름이 10㎛ 내지 50㎛ 인 탄화규소 기판의 결함 저감방법
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제 1 항에 있어서, 상기 여과된 슬러리를 이용하여 고강도의 압력으로 연마하는 1차 연마한 후, 상기 1차 연마에 비해 낮은 압력으로 2차 연마하는 단계;를 더 포함하는 탄화규소 기판의 결함 저감방법
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제 5 항에 있어서, 상기 1차 연마는,300 g/㎠ 내지 500 g/㎠의 압력으로 1 시간 내지 3 시간 수행하는 것인 탄화규소 기판의 결함 저감방법
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제 6 항에 있어서, 상기 2차 연마는,50 g/㎠ 내지 150 g/㎠의 압력으로 30 분 내지 2 시간 수행하는 것인 탄화규소 기판의 결함 저감방법
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제 7 항에 있어서, 상기 2차 연마에서의 표면 연마량은 100㎚/h 이상인 탄화규소 기판의 결함 저감방법
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제 1 항에 있어서, 지름이 100㎜ 인 상기 탄화규소 기판 내 결함의 개수가 400 이하인 탄화규소 기판의 결함 저감방법
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패밀리정보가 없습니다
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