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외부에서 인가되는 힘을 받아 전기신호를 발생하는 센싱부; 및 외부에서 전기신호를 인가받아 물리적인 변형이 발생하는 액츄에이팅부;를 포함하는 세라믹 압전소자
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청구항 1에 있어서,상기 센싱부는,외곽에서 서로 대향하여 위치하는 제1외부전극층 및 제2외부전극층 사이에, 하나의 세라믹 압전층이 위치하는 것을 특징으로 하는 세라믹 압전소자
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청구항 1에 있어서,상기 액츄에이팅부는,외곽에서 서로 대향하여 위치하는 제1외부전극층 및 제2외부전극층 사이에, 적어도 2이상의 세라믹 압전층이 위치하고, 상기 적어도 2이상의 세라믹 압전층 사이에는, 상기 세라믹 압전층의 구동을 위한 내부전극층을 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 압전소자
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청구항 1에 있어서,상기 액츄에이팅부는 상기 센싱부의 양측면에 위치하는 것을 특징으로 하는세라믹 압전소자
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세라믹 압전물질층을 형성하는 단계; 상기 세라믹 압전물질층의 상면 일부에만 내부전극층을 형성하는 단계;상기 전극층 및 상기 전극층이 형성되지 않아 상부로 노출된 세라믹 압전물질층 상에 추가적으로 세라믹 압전물질층을 형성하는 단계; 및 최외곽에 외부전극층을 형성하는 단계;를 포함하는 센싱 및 액츄에이팅이 가능한 세라믹 압전소자 제조방법
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청구항 5에 있어서, 상기 세라믹 압전물질층을 형성하는 단계 및 상기 내부전극층을 형성하는 단계는 반복하여 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 압전소자 제조방법
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