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도가니;도가니의 외부에 설치되고, 도가니를 가열하는 코일;도가니의 내부에서 하부에 배치되는 종자정; 및도가니의 내부에서 측면에 배치되고, 원료 분말을 수용하는 용기를 포함하며,도가니의 양측 내주면에는 중앙을 향해 돌출되는 걸림 턱이 형성되고, 용기는 걸림 턱에 걸리도록 설치되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치
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제1항에 있어서,종자정은 별도의 고정이나 부착 없이 도가니의 하면 또는 도가니 하부에 설치된 받침대 위에 단순히 놓아지는 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치
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제1항에 있어서,용기는 내통과 내통을 둘러싸도록 이격 배치되는 외통으로 구성되고, 위에서 볼 때 중앙이 뚫린 도넛 구조를 가지며, 내통은 상부와 하부가 모두 개방되어 전체적으로 뚫린 관통 홀을 형성하고, 외통의 상부는 개방되며, 외통의 하부 중 내통과 외통 사이는 밀폐되고, 내통과 외통 사이에는 원료 분말이 장입되는 공간이 형성되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치
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제4항에 있어서,관통 홀의 직경은 도가니 내경의 20 내지 60%인 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치
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제1항에 있어서,코일은 유도 가열 형태의 나선형 코일이고, 도가니의 상하방향으로 이동 가능하게 설치되며, 코일의 중앙 부분이 도가니의 상부 쪽에 위치하도록 배치되고, 온도 구배는 도가니의 상부가 높고 하부가 낮도록 형성되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치
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제1항에 있어서,단결정은 탄화규소 단결정인 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치
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제1항에 있어서,단결정의 구경은 4인치 이상인 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치
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도가니; 도가니의 외부에 설치되고, 도가니를 가열하는 코일; 도가니의 내부에서 하부에 배치되는 종자정; 및 도가니의 내부에서 측면에 배치되고, 원료 분말을 수용하는 용기를 구비하며, 도가니의 양측 내주면에는 중앙을 향해 돌출되는 걸림 턱이 형성되고, 용기는 걸림 턱에 걸리도록 설치되는 단결정 성장장치의 용기에 원료 분말을 장입하는 단계; 및원료 분말을 승화시켜 종자정 상에 단결정을 성장시키는 단계를 포함하는 단결정 성장방법
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제9항에 있어서,원료 분말은 가열에 의해 승화되어 상승한 후, 용기에 형성된 관통 홀을 통해 하강하여 종자정까지 도달하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장방법
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제9항에 있어서,원료 분말은 도가니의 측면 쪽에 배치됨으로써, 단결정 성장 후 원료 분말이 완전히 소진되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장방법
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