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초전도선재 절연막 증착장치(Superconducting wire film deposition apparatus)

  • 기술번호 : KST2016008264
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초전도선재 절연막 증착장치에 관한 것으로서, 열전도도가 높은 절연재를 초전도선재에 적용하여 절연특성을 향상시키기 위한 것을 목적으로 하며, 이러한 목적 달성을 위한 본 발명의 실시예에 따르면, 진공펌프와 연결되어 내부에 진공을 유지하며, 내부에는 금속 절연재를 증발시키는 증발기가 구비되어 상기 초전도선재의 표면에 상기 절연재를 증착시키는 증발챔버와; 상기 초전도선재에 증착된 절연재를 산화시켜 상기 초전도선재에 절연막이 형성되도록 하는 산화챔버; 및 상기 증발챔버와 상기 산화챔버 사이에 구비되어 상기 산화챔버에서 발생하는 반응가스를 차압 배기하는 차압챔버;를 포함하는 것을 기술적 요지로 한다. 이에 따른 본 발명에 의하면, 열전도도가 높은 금속 절연재를 초전도선재에 증착시켜 열전도도 및 절연특성이 우수한 초전도선재를 제조할 수 있으며, 간단한 구조와 장비로 초전도선재에 절연막을 연속적으로 증착시켜 제조비용 및 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Int. CL C23C 14/56 (2006.01) C23C 14/14 (2006.01)
CPC C23C 14/56(2013.01) C23C 14/56(2013.01) C23C 14/56(2013.01) C23C 14/56(2013.01)
출원번호/일자 1020140128402 (2014.09.25)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0036317 (2016.04.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.09.25)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김해종 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 김호섭 대한민국 경상남도 김해시 번화*로 ***

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0913493-20
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.07.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.09.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0056800-29
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.02.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0089541-99
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0320552-53
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-0418713-27
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.06.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-0532599-59
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.07.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0642660-49
10 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2016.07.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0100955-38
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-0747086-25
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.08.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0747053-29
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.09.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0664783-18
14 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.10.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-1018930-81
15 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0789295-81
16 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner
2017.01.13 수리 (Accepted) 7-8-2017-0001247-21
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번호 청구항
1 1
초전도선재가 이송되는 경로에 설치되어 상기 초전도선재의 표면에 절연막을 증착시키는 초전도선재 절연막 증착장치에 있어서,진공펌프와 연결되어 내부에 진공을 유지하며, 내부에는 금속 절연재를 증발시키는 증발기가 구비되어 상기 초전도선재의 표면에 상기 절연재를 증착시키는 증발챔버;상기 초전도선재에 증착된 절연재를 산화시켜 상기 초전도선재에 절연막이 형성되도록 하는 산화챔버;상기 증발챔버와 상기 산화챔버 사이에 구비되어 상기 산화챔버에서 발생하는 반응가스를 차압 배기하는 차압챔버;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도선재 절연막 증착장치
2 2
제1항에 있어서,상기 초전도선재는 일정 거리를 두고 배치된 제1권선부 및 제2권선부에 나선형으로 권선되어 릴대릴(reel to reel) 방식으로 이송되는 것을 특징으로 하는 초전도선재 절연막 증착장치
3 3
제1항에 있어서,상기 금속 절연재는 알루미늄(Al) 또는 상기 알루미늄보다 열전도도가 높은 절연물인 것을 특징으로 하는 초전도선재 절연막 증착장치
4 4
제1항에 있어서,상기 증발기는 상기 초전도선재의 양면에서 한 쌍이 서로 대향하게 이격 배치되는 것을 특징으로 하는 초전도선재 절연막 증착장치
5 5
제1항에 있어서,상기 증발기는 상기 초전도선재의 일면에 이격 배치되며,상기 증발기와 대향하도록 상기 초전도선재의 타면에 이격 배치되어 일정 온도로 가열되는 핫플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도선재 절연막 증착장치
6 6
제1항에 있어서,상기 산화챔버의 내부에는, 상기 초전도선재가 지나는 일부 경로에 관 형상의 열처리관이 구비되어 상기 초전도선재에 증착된 절연재를 열처리하여 산화시키는 것을 특징으로 하는 초전도선재 절연막 증착장치
7 7
제6항에 있어서,상기 열처리관에 산소 또는 오존 가스를 공급하는 산소공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도선재 절연막 증착장치
8 8
제1항에 있어서,상기 차압챔버는 복수개가 직렬로 배치되는 것을 특징으로 하는 초전도선재 절연막 증착장치
9 9
제8항에 있어서,상기 복수개의 차압챔버가 서로 연동 작용하는 차압 배기를 통해,상기 증발챔버를 10-4Torr 이하의 고진공으로 유지시키고, 상기 반응챔버는 1mTorr 이상의 저진공으로 유지시키는 것을 특징으로 하는 초전도선재 절연막 증착장치
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