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일단에 돌출 형성된 캔틸레버가 일체로 마련되되, 상기 캔틸레버 상면에 길이 방향으로 심장근육 세포가 수용되어 배양 가능한 다수의 미세그루브 패턴이 형성된 PDMS 재질의 몸체부와;상기 캔틸레버의 일면에 형성되는 압저항 센서;를 포함하는 심장근육 세포의 수축력 측정을 위한 센서가 집적화된 폴리머 캔틸레버 구조체
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제1항에 있어서, 상기 압저항 센서는 전기 저항의 변화를 검출하기 위한 브릿지 회로를 구성하는 도전선 패턴인 것을 특징으로 하는 심장근육 세포의 수축력 측정을 위한 센서가 집적화된 폴리머 캔틸레버 구조체
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제2항에 있어서, 상기 도전선 패턴은, 브릿지 회로를 구성하게 되는 금속층과;상기 금속층의 상면에서 돌출 형성되어 상기 몸체부와 고정되는 금속성의 본딩부재;를 포함하는 심장근육 세포의 수축력 측정을 위한 센서가 집적화된 폴리머 캔틸레버 구조체
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제3항에 있어서, 상기 본딩부재는, 상기 금속층에서 수직으로 돌출 형성되는 레그와;상기 레그 상단에서 수평하게 돌출 형성되는 본딩돌기;를 포함하는 심장근육 세포의 수축력 측정을 위한 센서가 집적화된 폴리머 캔틸레버 구조체
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기판에 포토레지스트를 코팅하고 미세그루브 패턴을 형성하여 몰드 구조체를 제작하는 제1단계와;상기 몰드 구조체에 희생층을 증착하는 제2단계와;상기 희생층 상부에 금속층을 형성하여 도전선 패턴을 형성하는 제3단계와;상기 도전선 패턴 상부에 PDMS를 코팅하고 그 일부를 커팅하여 미세그루브 패턴을 갖는 캔틸레버와 이를 일체로 지지하는 몸체부를 형성하는 제4단계와;리프트 오프 공정에 의해 희생층을 제거하여 몰드 구조체와 분리하는 제5단계;를 포함하는 심장근육 세포의 수축력 측정을 위한 센서가 집적화된 폴리머 캔틸레버 구조체의 제조방법
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제5항에 있어서, 제3단계는, 도전선 패턴 상부에 돌출 형성된 금속성의 본딩부재를 형성하는 제3-1단계를 더 포함하는 심장근육 세포의 수축력 측정을 위한 센서가 집적화된 폴리머 캔틸레버 구조체의 제조방법
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제6항에 있어서, 제3-1단계는, 금속층이 노출되게 희생층 상부에 PR 패턴을 형성한 후에 금속층 상부에 전기도금을 이용하고 PR 패턴을 제거하여 본딩부재를 형성함을 특징으로 하는 심장근육 세포의 수축력 측정을 위한 센서가 집적화된 폴리머 캔틸레버 구조체의 제조방법
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기판에 포토레지스트를 코팅하고 미세그루브 패턴을 형성하여 몰드 구조체를 제작하는 제1단계와;상기 몰드 구조체에 코팅된 포토레지스트를 덮도록 PDMS를 코팅하는 제2단계와;상기 PDMS 상부에 금속층을 형성하여 도전선 패턴을 형성하는 제3단계와;상기 PDMS를 커팅하여 상기 미세그루브 패턴을 포함하도록 캔틸레버 형상을 제작하고 이를 일체로 지지하게 되는 몸체부를 형성하는 제4단계와;포토레지스트를 제거하여 몰드 구조체와 분리하는 제5단계;를 포함하는 심장근육 세포의 수축력 측정을 위한 센서가 집적화된 폴리머 캔틸레버 구조체의 제조방법
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