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하방으로 폭이 좁아지고, 하단부에 개구부(111)가 형성된 분사노즐(110);상기 분사노즐(110)의 개구부(111)에 인접하여 분사노즐에 서로 대향하여 장착되고, 소정 크기의 교류 전기장을 형성시키는 한 쌍 이상의 전기장형성전극(120);상기 분사노즐(110)에 그래핀 솔루션(10)을 공급하는 그래핀 솔루션 공급부(130); 및상기 분사노즐(110)을 기설정된 패턴 경로에 따라 이동시키는 구동부(140);를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 박막 패터닝 장치(100)
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제 1 항에 있어서,상기 그래핀 박막 패터닝 장치(100)는:상기 전기장형성전극(120)에 교류 전기장을 가하거나 차단하고, 구동부(140)를 기설정된 패턴 경로에 따라 구동시키는 제어부(150);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 박막 패터닝 장치
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제 1 항에 있어서,상기 분사노즐(110)은:일렬로 정렬된 둘 이상의 개구부(111); 및상기 개구부(111)를 하부 일단에 형성하고, 하방으로 폭이 좁아지는 수납공간(113)을 구비하는 그래핀 솔루션 수납부(112);를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 박막 패터닝 장치
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제 1 항에 있어서,상기 그래핀 솔루션(10)은, 산화 그래핀 나노 입자가 분산된 용액인 것을 특징으로 하는 그래핀 박막 패터닝 장치
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하방으로 폭이 좁아지고, 하단부에 개구부(111)가 형성되고, 개구부(111)가 일렬로 정렬될 수 있도록 인접하여 배치된 둘 이상의 분사노즐(110');상기 각각의 분사노즐(110')의 개구부(111)에 인접하여 분사노즐(110')에 서로 대향하여 장착되고, 소정 크기의 교류 전기장을 형성시키는 한 쌍 이상의 전기장형성전극(120);상기 분사노즐(110')에 그래핀 솔루션(10)을 공급하는 그래핀 솔루션 공급부(130); 및상기 분사노즐(110')을 기설정된 패턴 경로에 따라 이동시키는 구동부(140);를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 박막 패터닝 장치(100')
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제 5 항에 있어서,상기 그래핀 박막 패터닝 장치(100')는:상기 전기장형성전극(120)에 교류 전기장을 가하거나 차단하고, 구동부(140)를 기설정된 패턴 경로에 따라 구동시키는 제어부(150);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 박막 패터닝 장치
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제 5 항에 있어서,상기 분사노즐(110')은:일렬로 정렬된 하나 이상의 개구부(111); 및상기 개구부(111)를 하부 일단에 형성하고, 하방으로 폭이 좁아지는 수납공간(113)을 구비하는 그래핀 솔루션 수납부(112);를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 박막 패터닝 장치
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제 5 항에 있어서,상기 그래핀 솔루션(10)은, 산화 그래핀 나노 입자가 분산된 용액인 것을 특징으로 하는 그래핀 박막 패터닝 장치
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상기 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 따른 그래핀 박막 패터닝 장치(100, 100')를 이용하여 그래핀 박막을 패터닝 하는 방법(S100)으로서,a) 그래핀 솔루션(10)을 분사노즐(110, 110')에 공급하는 그래핀솔루션 공급단계(S110);b) 전기장형성전극(120)에 교류 전원을 인가하여 교류 전기장을 분사노즐 개구부(111)에 형성시켜, 산화 그래핀 박막을 형성시키는 그래핀박막 형성단계(S120);c) 기설정된 패턴 경로에 따라 분사노즐(110, 110')을 이동시키는 패턴형성단계(S130);를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 박막 패터닝 방법
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제 9 항에 있어서,상기 그래핀 박막 패터닝 방법(S100)은:분사노즐(110, 110')의 개구부(111)를 통해 그래핀 솔루션이 기판(20) 상부면에 분사되는 그래핀솔루션 분사단계(S115)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 박막 패터닝 방법
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제 9 항에 있어서,상기 그래핀 박막 패터닝 방법(S100)은:기설정된 패턴 형상 및 경로에 따라 전기장형성전극(120)에 교류 전원을 인가하거나 차단하는 교류전원제어단계(S125);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 박막 패터닝 방법
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제 9 항에 있어서,상기 그래핀 박막 패터닝 방법(S100)은:기판(20) 상부면에 산화 그래핀 박막을 형성하지 못한 그래핀 솔루션(10)을 제거하는 그래핀솔루션 제거단계(S140);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 박막 패터닝 방법
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13
상기 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 따른 그래핀 박막 패터닝 장치(100, 100')에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 그래핀 박막
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