1 |
1
기재 상에 후면전극을 형성하고;상기 후면전극 상에 Cu2ZnSn(Se1-y,Sy)4 (0003c#y003c#1) 박막을 형성하고;상기 Cu2ZnSn(Se1-y,Sy)4 (0003c#y003c#1) 박막 상에 Cu2ZnSnSe4 박막을 형성하고;상기 Cu2ZnSnSe4 박막에 금속 M 성분-함유 층을 형성한 후 어닐링함으로써 Cu2Zn(Sn1-x,Mx)Se4 (여기서, x = 0
|
2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 Cu2ZnSnSe4 박막은, Cu, Zn, Sn, 및 Se 성분을 포함하는 전구체를 이용하여 동시진공증발시킴으로써 형성되거나;Cu-함유 전구체, Zn-함유 전구체, 및 Sn-함유 전구체를 각각 적층하여 전구체 박막을 먼저 형성시킨 후 셀렌화함으로써 형성되는 것인, CZTSe계 복합 박막을 이용한 태양전지의 제조 방법
|
3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 Cu2ZnSnSe4 박막 및 상기 Cu2Zn(Sn1-x,Mx)Se4 박막을 형성한 후 셀렌화 공정을 추가 수행하는 것을 포함하는 것인, CZTSe계 복합 박막을 이용한 태양전지의 제조 방법
|
4 |
4
제 2 항에 있어서, 상기 전구체 박막은 Sn/Zn/Cu, Sn/Cu/Zn, Zn/Cu/Sn, Zn/Sn/Cu, Cu/Sn/Zn, 또는 Cu/Zn/Sn의 순서로 1 회 이상 적층된 것인, CZTSe계 복합 박막을 이용한 태양전지의 제조 방법
|
5 |
5
삭제
|
6 |
6
제 1 항에 있어서, 상기 금속 M 성분-함유 층은 상기 Cu2ZnSnSe4 박막의 표면에 진공증발법에 의해 상기 금속 M을 증착시키는 방법; 기상의 금속 M-함유 전구체를 분해확산시키는 방법; 및/또는 상기 Cu2ZnSnSe4 박막의 표면을 상기 금속 M 성분-함유 분위기에서 열처리하는 것에 의해 수행되는 것을 포함하는 것인, CZTSe계 복합 박막을 이용한 태양전지의 제조 방법
|
7 |
7
제 1 항에 있어서,상기 Cu2ZnSnSe4 박막은 0
|
8 |
8
제 1 항에 있어서,상기 M 성분-함유 층은 상기 Cu2ZnSnSe4 박막의 표면에 10 nm 내지 1,500 nm의 두께로서 형성되는 것인, CZTSe계 복합 박막을 이용한 태양전지의 제조 방법
|
9 |
9
삭제
|
10 |
10
삭제
|
11 |
11
제 1 항에 있어서, 상기 Cu2ZnSnSe4 박막보다 상기 Cu2Zn(Sn1-x,Mx)Se4 박막의 밴드갭이 더 높은 것인, CZTSe계 복합 박막을 이용한 태양전지의 제조 방법
|
12 |
12
삭제
|
13 |
13
기재;상기 기재 상에 형성된 후면전극; 및상기 후면전극 상에 형성된 Cu2ZnSn(Se1-y,Sy)4 (0003c#y003c#1) 박막, 상기 Cu2ZnSn(Se1-y,Sy)4 (0003c#y003c#1) 박막 상에 형성된 Cu2ZnSnSe4 박막 및 상기 Cu2ZnSnSe4 박막 상에 형성된 Cu2Zn(Sn1-x,Mx)Se4 (여기서, x = 0
|