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절연성 기판;상기 절연성 기판 상에 형성되며, 상부 표면에 리세스들이 형성된 고분자 감습 구조물; 및상기 리세스들에 각각 형성된 적어도 한 쌍의 전극들을 포함하며,상기 한 쌍의 전극들 사이에 상기 상부 표면이 노출됨으로써, 습도에 노출되는 감습 영역을 증대시키면서 상기 전극들이 커패시터 전극들로 기능하는 것을 특징으로 하는 정전 용량성 습도 센서
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제1항에 있어서, 상기 고분자 감습 구조물은,상기 리세스들이 형성된 고분자층 패턴; 및상기 고분자층 패턴의 상부 표면에 형성되며, 플라즈마 처리된 표면 처리층 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 용량성 습도 센서
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제2항에 있어서, 상기 고분자층 패턴은 폴리이미드 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 용량성 습도 센서
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제2항에 있어서, 상기 전극들 각각은 상기 리세스들 각각에 매립된 몸체 및 상기 고분자층 패턴의 상면으로부터 돌출되며 상기 몸체보다 큰 넓은 폭을 갖는 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 용량성 습도 센서
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절연성 기판의 상부 표면에 리세스들이 형성된 고분자 감습 구조물을 형성하는 단계; 및상기 리세스들 각각을 매립하도록 적어도 한 쌍의 전극들을 형성하는 단계를 포함하고,상기 한 쌍의 전극들 사이에 상기 상부 표면이 노출됨으로써, 습도에 노출되는 감습 영역을 증대시키면서 상기 전극들이 커패시터 전극들로 기능하는 것을 특징으로 하는 정전 용량성 습도 센서의 제조 방법
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제5항에 있어서, 상기 고분자 감습 구조물을 형성하는 단계는,상기 절연성 기판 상에 고분자층을 형성하는 단계; 및상기 고분자층에 대하여 상기 리세스에 대응되는 요철들이 형성된 스탬프를 이용하는 나노 임프린팅 리소그래피 공정을 수행하여, 상기 절연성 기판 상에 상기 리세스들이 형성된 고분자층 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 용량성 습도 센서의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 고분자층 패턴의 상부 표면에 대하여 플라즈마 처리 공정을 수행하여 상기 고분자층 패턴의 상부를 표면 처리층 패턴으로 전환시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 용량성 습도 센서의 제조 방법
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제5항에 있어서, 상기 한 쌍의 전극을 형성하는 단계는,상기 리세스들을 매립하는 금속층을 형성하는 단계;상기 금속층 상 및 상기 리세스들에 대응되는 위치에 상기 리세스들 의 폭보다 더 큰 폭을 갖는 마스크 패턴을 형성하는 단계; 및상기 마스크 패턴을 이용하여 상기 금속층을 패터닝하여 상기 전극들을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 용량성 습도 센서의 제조 방법
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