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가스 공급 장치 및 이를 포함하는 코팅 장치(GAS SUPPLY APPARATUS AND COATING APPARATUS COMPRISING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2016008929
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 일 실시 예에 따른 가스 공급 장치 및 이를 포함하는 코팅 장치가 개시되고, 더 구체적으로는 일정한 양의 증기를 공급할 수 있는 가스 공급 장치 및 이를 포함하는 코팅 장치가 개시된다.일 실시 예에 따른 가스 공급 장치는 전구체가 수용되는 내부공간을 구비하는 앰플 및 상기 앰플과 연결되어 상기 전구체의 증기가 유입되며 상기 증기의 밀도가 일정하게 유지되는 중간챔버를 포함할 수 있다.
Int. CL H01J 37/26 (2006.01)
CPC H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01)
출원번호/일자 1020140134896 (2014.10.07)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0041286 (2016.04.18) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 발송처리완료
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.07)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 배태성 대한민국 전라북도 익산시 번영로*길
2 김종윤 대한민국 대전광역시 유성구
3 김효식 대한민국 대전광역시 유성구
4 이정민 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-0955579-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.01.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0006579-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0225105-53
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2016-0520902-76
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2016-0609232-03
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.06.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0609239-11
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0691945-30
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.10.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-1049471-41
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2016-1049470-06
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.11.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0798482-23
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.11.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1167849-30
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-1167850-87
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.04.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0250650-35
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전구체가 수용되는 내부공간을 구비하는 앰플; 및상기 앰플과 연결되어 상기 전구체의 증기가 유입되며 상기 증기의 밀도가 일정하게 유지되는 중간챔버;를 포함하는 가스 공급 장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 앰플은 복수개가 마련되고 각각 상기 중간챔버와 연결되어 상기 중간챔버에 상기 증기의 밀도가 일정하게 유지되는 가스 공급 장치
3 3
제 1항에 있어서,상기 앰플과 상기 중간챔버 사이에 앰플밸브가 배치되는 가스 공급 장치
4 4
제 3항에 있어서,상기 앰플과 상기 앰플밸브 사이에 배출밸브가 배치되는 가스 공급 장치
5 5
제 1항에 있어서,상기 앰플은,일부가 개방되고 상기 내부공간을 형성하는 앰플본체;상기 앰플본체의 개방된 일부를 덮는 앰플캡; 및상기 앰플본체와 상기 앰플캡 사이에서 밀폐성을 유지하는 실링부재;를 포함하는 가스 공급 장치
6 6
제 1항에 있어서,상기 앰플 또는 상기 중간챔버의 온도를 조절하는 온도조절유닛을 더 포함하는 가스 공급 장치
7 7
제 6항에 있어서,상기 온도조절유닛은 단열구조로 형성되고, 상기 앰플 또는 상기 중간챔버를 일정한 온도로 유지하는 가스 공급 장치
8 8
전구체가 저장되는 내부공간을 구비하는 복수개의 앰플;상기 앰플과 연결되어 상기 전구체의 증기가 유입되며, 내부는 상기 증기의 밀도가 일정하게 유지되는 중간챔버; 및상기 중간챔버와 연결되어 상기 중간챔버로부터 상기 전구체의 증기가 유입되는 코팅챔버;를 포함하는 코팅 장치
9 9
제 8항에 있어서,상기 중간챔버와 상기 코팅챔버의 사이에 증기밸브가 배치되는 코팅 장치
10 10
제 9항에 있어서,상기 증기밸브는 상기 증기가 상기 코팅챔버로 유입되는 양을 조절 가능한 제어부를 포함하는 코팅 장치
11 11
제 9항에 있어서,상기 증기밸브와 연결되어 상기 중간챔버에 잔존하는 증기를 수용 가능한 수용체를 더 포함하는 코팅 장치
12 12
제 8항에 있어서, 상기 앰플 또는 상기 중간챔버의 온도를 조절하는 온도조절유닛을 더 포함하는 가스 공급 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기초과학지원연구원 OsO4 coater의 성능 재현성 확보를 위한 가스챔버 개량 OsO4 coater의 성능 재현성 확보를 위한 가스챔버 개량