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이트리아 기반 전기전도성 내플라즈마 부재 및 그 제조 방법(Yttria Based Conductive Plasma-resistant Member And Methods Thereof)

  • 기술번호 : KST2016009018
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이트륨 산화물을 포함하는 전기 전도성 내플라즈마 부재가 개시된다. 본 발명에서 상기 내플라즈마 부재는 이트륨 산화물로 구성되는 기지상과, Ti, Zr 및 Hf으로 이루어진 그룹 중에서 선택되는 최소한 1종의 금속의 카바이드 또는 나이트라이드를 포함하는 분산상으로 구성된다. 본 발명에 따르면, 본 발명에 따르면, 반도체급의 이트리아 복합체를 제공할 수 있어, 포커스 링과 같은 전기전도성을 요하는 내플라즈마 부재로 사용 가능하다.
Int. CL C04B 35/505 (2006.01)
CPC C04B 35/505(2013.01)
출원번호/일자 1020140136865 (2014.10.10)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1633035-0000 (2016.06.17)
공개번호/일자 10-2016-0043213 (2016.04.21) 문서열기
공고번호/일자 (20160624) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.10)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김해두 대한민국 경상남도 창원시 진해구
2 이재욱 대한민국 서울특별시 관악구
3 김하늘 대한민국 경상북도 포항시 남구
4 김진명 대한민국 경상남도 창원시 성산구
5 박영조 대한민국 경상남도 창원시 진해구
6 고재웅 대한민국 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.10.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-0967059-27
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0024126-70
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.01.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0032992-42
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.03.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0243145-44
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2016-0243096-05
7 등록결정서
Decision to grant		 2016.06.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0435392-54
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
이트륨 산화물을 포함하는 내플라즈마 부재에 있어서,상기 내플라즈마 부재는,이트륨 산화물로 구성되는 기지상과, Ti, Zr 및 Hf으로 이루어진 그룹 중에서 선택되는 최소한 1종의 금속의 카바이드 또는 나이트라이드를 포함하는 분산상으로 구성되며,상기 이트륨 산화물은 YAG를 포함하는 것을 특징으로 하는 이트륨 화합물을 포함하는 내플라즈마 부재
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 기지상은 지르코니아 또는 알루미나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 부재
5 5
제1항에 있어서,상기 내플라즈마 부재에서 상기 분산상은 10 체적% 이상 포함되는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 부재
6 6
제1항에 있어서,상기 내플라즈마 부재에서 상기 분산상은 20 체적% 미만 포함되는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 부재
7 7
제1항에 있어서,상기 내플라즈마 부재는 10-7~10-3 S/cm 범위의 전기전도도를 갖는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 부재
8 8
제1항에 있어서,상기 내플라즈마 부재는 95% 이상의 상대 밀도를 갖는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 부재
9 9
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10 10
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11 11
삭제
12 12
삭제
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US20160104551 US 미국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2016104551 US 미국 DOCDBFAMILY
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