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분리형 씨드 투입 방법(Separable seed input Method)

  • 기술번호 : KST2016009041
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본발명은 분리형 씨드 투입 방법에 관한 것으로, 상부에 커버가 설치되며, 내부에 공간이 형성된 본체로 이루어지는 성장로의 내부에 외부 전원에 의하여 알루미나를 용융하는 도가니를 설치하고, 상기 도가니 내부에 씨드를 투입하는 분리형 씨드 투입 방법에 있어서,성장로 본체(10) 내부의 도가니(20)에 알루미나를 투입하고 커버(20)로 본체(10)를 밀봉하는 단계;진공을 유지하면서 외부 전원으로 도가니(20)를 가열하여 알루미나를 용융시키는 단계;상기 알루미나가 충분히 용융되어 씨드(2) 투입이 가능한 시점에서, 씨드 고정부(70)에 씨드(2)를 장착한 후, 씨드와 씨드고정부 주위를 감싸는 밀봉부(60) 내부의 공간을 외기와 차단하는 단계;본체 내부와 연통되는 도입관(40)을 개방하되, 본체(10) 내부의 진공을 유지하는 단계;씨드 고정부(70)를 하방향으로 이동하여 상기 씨드(2)가 용융알루미나에 접촉하도록 하여 씨드(2) 투입을 완료하는 단계;를 포함하는 것으로,본 발명에 따른 분리형 씨드 투입 방법은 알루미나가 완전히 용융된 후에 씨드가 진공 환경하에 투입되므로, 알루미나 용융 시 발생하는 오염 물질에 의한 씨드 표면의 오염을 사전에 방지할 수 있어, 이후 씨드 표면에 사파이어 단결정의 성장을 균일하게 진행할 수 있어, 전체적으로 높은 수율의 단결정을 생산할 수 있는 효과가 있다. 또한, 씨딩 공정은 작업자의 경험에 의존하여 진행되는 공정으로 씨딩공정 시 발생하는 씨드 용융 및 크랙발생 등의 문제 발생 시 씨드의 교체 및 새로운 씨드의 투입을 통하여 씨딩 공정을 진행할 수 있어 안정적으로 씨딩을 진행할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL C30B 15/00 (2006.01) C30B 29/20 (2006.01)
CPC C30B 15/00(2013.01) C30B 15/00(2013.01) C30B 15/00(2013.01) C30B 15/00(2013.01)
출원번호/일자 1020140137307 (2014.10.13)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1654423-0000 (2016.08.30)
공개번호/일자 10-2016-0043550 (2016.04.22) 문서열기
공고번호/일자 (20160907) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.13)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이영철 대한민국 부산광역시 부산진구
2 심중원 대한민국 경상남도 창원시
3 김재학 대한민국 부산광역시 금정구
4 이주동 대한민국 부산광역시 해운대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김석계 대한민국 경상남도 김해시 분성로 *** (봉황동, ***-*번지 *층) (김석계특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2014-0968934-31
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0025898-66
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0788391-53
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2016-0044343-10
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.01.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0044340-84
8 등록결정서
Decision to grant
2016.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0390681-55
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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상부에 커버가 설치되며, 내부에 공간이 형성된 본체로 이루어지는 성장로의 내부에 외부 전원에 의하여 알루미나를 용융하는 도가니를 설치하고, 상기 도가니 내부에 씨드를 투입하되,성장로 본체(10) 내부의 도가니(30)에 알루미나를 투입하고 커버(20)로 본체(10)를 밀봉하는 단계;진공을 유지하면서 외부 전원으로 도가니(30)를 가열하여 알루미나를 용융시키는 단계;상기 알루미나가 충분히 용융되어 씨드(2) 투입이 가능한 시점에서, 씨드 고정부(70)에 씨드(2)를 장착한 후, 씨드와 씨드고정부 주위를 감싸는 밀봉부(60) 내부의 공간을 외기와 차단하는 단계;본체 내부와 연통되는 도입관(40)을 개방하되, 본체(10) 내부의 진공을 유지하는 단계;씨드 고정부(70)를 하방향으로 이동하여 상기 씨드(2)가 용융알루미나에 접촉하도록 하여 씨드(2) 투입을 완료하는 단계;를 포함하는 분리형 씨드 투입 방법에 있어서,상기 커버 중앙에는 본체 내부와 연통하는 도입관이 형성되고, 씨드 고정부가 상기 본체에 연장된 구조물에 일 끝단이 고정되고, 타단에는 씨드가 장착되어 상하로 이송하는 것이며, 상기 씨드 고정부에는 외부를 감싸며, 끝단은 상기 도입관과 결합하는 밀봉부가 형성되며, 또한 상기 도입관을 개폐하는 게이트가 설치되며,상기 알루미나를 용융시키는 단계는 게이트(50) 도입관(40)을 밀폐시킨 상태를 유지하되,상기 씨드 고정부(70)의 주변에는 상기 씨드 고정부(70)를 감싸는 밀봉부(60)가 위치하며, 상기 밀봉부(60)는 상기 씨드 고정부(70) 주변을 감싸면서 상하로 이동할 수 있게 구성되며, 상기 밀봉부(60)의 끝에는 고정단(61)이 형성되어 상기 도입관(40)에 형성된 안착단(41)과 접촉 결합하는 것을 특징으로 하는 분리형 씨드 투입 방법
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