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원자 분해능 변형 분포 측정 장치 및 방법(System and method for measuring distribution of deformation using atomic force)

  • 기술번호 : KST2016009100
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 원자 분해능 변형 분포 측정 장치는 AFM 시스템을 이용하여 분해능을 높여 저비용으로 원자 스케일의 변형률을 측정할 수 있도록 한 것으로서, 레이저 빔을 발생시키는 레이저 광원; 원자간력에 의해 변형이 발생되도록 측정 시편 또는 기준 시편에 근접하게 배치되는 제1캔틸레버 및 제2캔틸레버; 레이저 빔이 상기 제1캔틸레버 및 상기 제2캔틸레버에 순차적으로 반사되도록 하며, 상기 제1캔틸레버 및 상기 제2캔틸레버가 상점 위치에 배치되도록 레이저 빔의 광경로를 조절하는 광학계; 상기 제2캔틸레버에서 반사된 레이저 빔을 관측하는 관측부; 그 위에 측정 시편 또는 기준 시편이 놓여지며, X, Y, Z 3축 방향으로 이동 가능하게 형성되는 스테이지; 를 포함하여 이루어진다.
Int. CL G01Q 60/24 (2010.01)
CPC G01Q 60/24(2013.01) G01Q 60/24(2013.01)
출원번호/일자 1020140139245 (2014.10.15)
출원인 한국기계연구원, 브라운 유니버시티
등록번호/일자 10-1633648-0000 (2016.06.21)
공개번호/일자 10-2016-0044336 (2016.04.25) 문서열기
공고번호/일자 (20160627) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.15)
심사청구항수 37

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 브라운 유니버시티 미국 미국, 로드아일랜드 *****, 에디 스트리트 ***, 프로비던스 *

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장봉균 대한민국 대전광역시 유성구
2 김재현 대한민국 대전광역시 유성구
3 이학주 대한민국 대전광역시 서구
4 김경석 미국 미국 ***** 로드아
5 왕치엔카이 대만 미국 ***** 로드아

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 브라운 유니버시티 미국 미국, 로드아일랜드 *****, 에디 스트리트 ***, 프로비던스 *
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2014-0983002-12
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2014-1005019-38
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2014-5144969-11
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.07.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.09.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0056888-25
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0676650-35
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2015-1173260-11
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.12.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1173253-91
9 등록결정서
Decision to grant		 2016.03.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0213918-29
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.08.01 수리 (Accepted) 4-1-2018-5144870-38
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
레이저 빔을 발생시키는 단일 개의 레이저 광원;원자간력에 의해 변형이 발생되도록 측정 시편 또는 기준 시편에 근접하게 배치되는 제1캔틸레버 및 제2캔틸레버;단일 개의 레이저 빔이 상기 제1캔틸레버 및 상기 제2캔틸레버에 순차적으로 반사되도록 하며, 거울, 볼록렌즈, 오목거울 중 선택되는 적어도 하나의 광학 부품을 포함하여 이루어져, 상기 광학 부품의 초점 거리에 따라 상기 제1캔틸레버 및 상기 제2캔틸레버가 상점 위치에 배치되도록 레이저 빔의 광경로를 조절하는 광학계;상기 제2캔틸레버에서 반사된 레이저 빔을 관측하는 관측부;그 위에 측정 시편 또는 기준 시편이 놓여지며, X, Y, Z 3축 방향으로 이동 가능하게 형성되는 스테이지;를 포함하여 이루어지는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 원자 분해능 변형 분포 측정 장치는상기 제1 및 제2캔틸레버 중 하나는 측정 시편 상에 배치되고, 다른 하나는 기준 시편 상에 배치되도록 이루어지며,상기 관측부는 측정 시편 표면의 원자 격자 위치 정보 및 기준 시편 표면의 원자 격자 위치 정보를 중첩시킨 결과를 관측하도록 형성되어,기준 시편의 원자 격자에 대하여 변형된 측정 시편의 원자 격자 정보를 측정하는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
3 3
제 1항에 있어서, 상기 광학계는적어도 하나 이상의 거울 및 적어도 하나 이상의 볼록렌즈를 포함하여 이루어지는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
4 4
제 3항에 있어서, 상기 광학계는거울, 볼록렌즈를 포함하여 이루어져,레이저 광원에서 발생된 레이저 빔이 상기 제1캔틸레버 - 상기 거울 - 상기 볼록렌즈 - 상기 제2캔틸레버를 순차적으로 통과 또는 반사되어 상기 관측부로 진행되도록 광 경로를 형성하는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
5 5
제 4항에 있어서, 상기 광학계는상기 제1캔틸레버 - 상기 거울 - 상기 볼록렌즈 간 광경로 길이 및상기 볼록렌즈 - 상기 제2캔틸레버 간 광경로 길이 각각이상기 볼록렌즈의 초점거리의 2배가 되도록 이루어지는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
6 6
제 5항에 있어서, 상기 광학계는상기 거울 및 상기 볼록렌즈가 이동 가능하게 형성되고,상기 거울이 회전 가능하게 형성되는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
7 7
제 3항에 있어서, 상기 광학계는제1거울, 제2거울, 볼록렌즈를 포함하여 이루어져,레이저 광원에서 발생된 레이저 빔이 상기 제1캔틸레버 - 상기 제1거울 - 상기 볼록렌즈 - 상기 제2거울 - 상기 제2캔틸레버를 순차적으로 통과 또는 반사되어 상기 관측부로 진행되도록 광 경로를 형성하는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
8 8
제 7항에 있어서, 상기 광학계는상기 제1캔틸레버 - 상기 제1거울 - 상기 볼록렌즈 간 광경로 길이 및상기 볼록렌즈 - 상기 제2거울 - 상기 제2캔틸레버 간 광경로 길이 각각이상기 볼록렌즈의 초점거리의 2배가 되도록 이루어지는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
9 9
제 8항에 있어서, 상기 광학계는상기 제1거울 및 상기 제2거울이 이동 및 회전 가능하게 형성되는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
10 10
제 3항에 있어서, 상기 광학계는거울, 제1볼록렌즈, 제2볼록렌즈를 포함하여 이루어져,레이저 광원에서 발생된 레이저 빔이 상기 제1캔틸레버 - 상기 제1볼록렌즈 - 상기 거울 - 상기 제2볼록렌즈 - 상기 제2캔틸레버를 순차적으로 통과 또는 반사되어 상기 관측부로 진행되도록 광 경로를 형성하는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
11 11
제 10항에 있어서, 상기 광학계는상기 제1볼록렌즈 및 상기 제2볼록렌즈의 초점거리가 서로 동일하게 이루어지는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
12 12
제 11항에 있어서, 상기 광학계는상기 제1캔틸레버 - 상기 제1볼록렌즈 간 광경로 길이,상기 제2볼록렌즈 - 상기 제2캔틸레버 간 광경로 길이 각각이상기 제1 또는 제2볼록렌즈의 초점거리와 같도록,상기 제1볼록렌즈 - 상기 거울 - 상기 제2볼록렌즈 간 광경로 길이가상기 제1 또는 제2볼록렌즈의 초점거리의 2배가 되도록 이루어지는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
13 13
제 12항에 있어서, 상기 광학계는상기 거울, 상기 제1볼록렌즈, 상기 제2볼록렌즈가 이동 가능하게 형성되고,상기 거울이 회전 가능하게 형성되는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
14 14
제 12항에 있어서, 상기 광학계는상기 제1볼록렌즈 - 상기 거울 - 상기 제2볼록렌즈 간 광경로 길이가 상기 제1 또는 제2볼록렌즈의 초점거리의 2배가 되도록 고정 배치된 단위체를 형성하며,상기 단위체가 이동 및 회전 가능하게 형성되는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
15 15
제 3항에 있어서, 상기 광학계는제1거울, 제2거울, 제3거울, 볼록렌즈를 포함하여 이루어져,레이저 광원에서 발생된 레이저 빔이 상기 제1캔틸레버 - 상기 제1거울 - 상기 볼록렌즈 - 상기 제2거울 - 상기 볼록렌즈 - 상기 제3거울 - 상기 제2캔틸레버를 순차적으로 통과 또는 반사되어 상기 관측부로 진행되도록 광 경로를 형성하는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
16 16
제 15항에 있어서, 상기 광학계는상기 제1캔틸레버 - 상기 제1거울 - 상기 볼록렌즈 간 광경로 길이,상기 볼록렌즈 - 상기 제2거울 간 광경로 길이 및상기 볼록렌즈 - 상기 제3거울 - 상기 제2캔틸레버 간 광경로 길이 각각이상기 볼록렌즈의 초점거리가 되도록 이루어지는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
17 17
제 16항에 있어서, 상기 광학계는상기 제2거울, 상기 볼록렌즈가 이동 가능하게 형성되고,상기 제2거울이 회전 가능하게 형성되는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
18 18
제 16항에 있어서, 상기 광학계는상기 볼록렌즈 - 상기 제2거울 간 광경로 길이가 상기 볼록렌즈의 초점거리가 되도록 고정 배치된 단위체를 형성하며,상기 단위체가 이동 및 회전 가능하게 형성되는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
19 19
제 3항에 있어서, 상기 광학계는거울, 볼록렌즈, 빔 분할기를 포함하여 이루어져,레이저 광원에서 발생된 레이저 빔이 상기 제1캔틸레버 - 상기 빔 분할기 - 상기 볼록렌즈 - 상기 거울 - 상기 볼록렌즈 - 상기 빔 분할기 - 상기 제2캔틸레버를 순차적으로 통과 또는 반사되어 상기 관측부로 진행되도록 광 경로를 형성하는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
20 20
제 19항에 있어서, 상기 광학계는상기 제1캔틸레버 - 상기 빔 분할기 - 상기 볼록렌즈 간 광경로 길이,상기 볼록렌즈 - 상기 거울 간 광경로 길이 및상기 볼록렌즈 - 상기 빔 분할기 - 상기 제2캔틸레버 간 광경로 길이 각각이상기 볼록렌즈의 초점거리가 되도록 이루어지는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
21 21
제 20항에 있어서, 상기 광학계는상기 거울, 상기 볼록렌즈가 이동 가능하게 형성되고,상기 거울이 회전 가능하게 형성되는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
22 22
제 20항에 있어서, 상기 광학계는상기 볼록렌즈 - 상기 거울 간 광경로 길이가 상기 볼록렌즈의 초점거리가 되도록 고정 배치된 단위체를 형성하며,상기 단위체가 이동 및 회전 가능하게 형성되는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
23 23
제 3항에 있어서, 상기 광학계는제1거울, 제2거울, 제3거울, 볼록렌즈, 프리즘, 빔 분할기를 포함하여 이루어져,레이저 광원에서 발생된 레이저 빔이 상기 프리즘 - 상기 빔 분할기 - 상기 제1캔틸레버 - 상기 제1거울 - 상기 볼록렌즈 - 상기 제2거울 - 상기 볼록렌즈 - 상기 제1거울 - 상기 제2캔틸레버 - 상기 빔 분할기 - 상기 제3거울을 순차적으로 통과 또는 반사되어 상기 관측부로 진행되도록 광 경로를 형성하는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
24 24
제 23항에 있어서, 상기 광학계는상기 제1캔틸레버 - 상기 제1거울 - 상기 볼록렌즈 간 광경로 길이,상기 볼록렌즈 - 상기 제2거울 간 광경로 길이 및상기 볼록렌즈 - 상기 제1거울 - 상기 제2캔틸레버 간 광경로 길이 각각이상기 볼록렌즈의 초점거리가 되도록 이루어지는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
25 25
제 24항에 있어서, 상기 광학계는상기 제2거울, 상기 볼록렌즈가 이동 가능하게 형성되고,상기 제2거울, 상기 빔 분할기가 회전 가능하게 형성되는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
26 26
제 1항에 있어서, 상기 광학계는적어도 하나 이상의 오목거울을 포함하여 이루어지는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
27 27
제 26항에 있어서, 상기 광학계는오목거울을 포함하여 이루어져,레이저 광원에서 발생된 레이저 빔이 상기 제1캔틸레버 - 상기 오목거울 - 상기 제2캔틸레버를 순차적으로 통과 또는 반사되어 상기 관측부로 진행되도록 광 경로를 형성하는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
28 28
제 27항에 있어서, 상기 광학계는상기 제1캔틸레버 - 상기 오목거울 간 광경로 길이 및상기 오목거울 - 상기 제2캔틸레버 간 광경로 길이 각각이상기 오목거울의 초점거리의 2배가 되도록 이루어지는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
29 29
제 28항에 있어서, 상기 광학계는상기 오목거울이 이동 및 회전 가능하게 형성되는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
30 30
제 26항에 있어서, 상기 광학계는제1오목거울, 제2오목거울을 포함하여 이루어져,레이저 광원에서 발생된 레이저 빔이 상기 제1캔틸레버 - 상기 제1오목거울 - 상기 제2오목거울 - 상기 제2캔틸레버를 순차적으로 통과 또는 반사되어 상기 관측부로 진행되도록 광 경로를 형성하는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
31 31
제 30항에 있어서, 상기 광학계는상기 제1캔틸레버 - 상기 제1오목거울 간 광경로 길이 및상기 제2오목거울 - 상기 제2캔틸레버 간 광경로 길이 각각이상기 오목거울의 초점거리가 되도록 이루어지고,상기 제1오목거울 - 상기 제2오목거울 간 광경로 길이가상기 오목거울의 초점거리의 2배가 되도록 이루어지는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
32 32
제 31항에 있어서, 상기 광학계는상기 제1오목거울, 상기 제2오목거울이 이동 가능하게 형성되고,상기 제2오목거울이 회전 가능하게 형성되는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
33 33
제 1항에 있어서, 상기 관측부는PSPD(Position Sensitive Photodiode Detector)인 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
34 34
제 1항에 있어서, 상기 스테이지는상기 관측부와 연결되어, 상기 관측부에서 관측된 레이저 빔의 측정값을 기반으로 피드백되어 Z축 방향으로 이동 가능하게 형성되는 원자 분해능 변형 분포 측정 장치
35 35
제 1항에 의한 장치에 의하여 이루어지는 원자 분해능 변형 분포 측정 방법으로서,상기 제1 및 제2캔틸레버 중 하나는 측정 시편 상에 배치되고, 다른 하나는 기준 시편 상에 배치되는 단계;상기 레이저 광원에서 발생된 레이저 빔이 상기 광학계에 의하여 광경로가 조절되어 상기 제1캔틸레버 및 상기 제2캔틸레버에 순차적으로 반사되는 단계;상기 제2캔틸레버에서 반사된 레이저 빔이 상기 관측부로 입사되어 관측되는 단계;를 포함하여 이루어지는 원자 분해능 변형 분포 측정 방법
36 36
제 35항에 있어서, 상기 원자 분해능 변형 분포 측정 방법은상기 관측부는 측정 시편 표면의 원자 격자 위치 정보 및 기준 시편 표면의 원자 격자 위치 정보를 중첩시킨 결과를 관측하도록 형성되어,기준 시편의 원자 격자에 대하여 변형된 측정 시편의 원자 격자 정보를 측정하는 원자 분해능 변형 분포 측정 방법
37 37
제 36항에 있어서, 상기 원자 분해능 변형 분포 측정 방법은상기 관측부에 입사되어 관측 신호의 제곱 값이 산출되는 단계;상기 관측 신호의 제곱 값이 로우패스 필터를 거쳐 노이즈가 제거되는 단계;상기 노이즈가 제거된 관측 신호의 제곱 값이 아날로그-디지털 변환기를 거쳐 디지털화되는 단계;상기 디지털화된 값을 사용하여 기준 시편의 원자 격자에 대하여 변형된 측정 시편의 원자 격자 구조가 이미지화되는 단계;를 더 포함하여 이루어지는 원자 분해능 변형 분포 측정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.