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사파이어 자동 씨딩 방법(sapphire auto seeding method)

  • 기술번호 : KST2016009203
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본발명은 사파이어 자동 씨딩 방법에 관한 것으로, 고순도 알루미나 Al2O3 를 2000도 이상에서 녹여 단결정 씨드에 용융 알루미나를 접촉시켜 서서히 단결정으로 성장시키는 사파이어 자동 씨딩 방법에 있어서, 상기 자동 씨딩 방법은 저하중용 로드셀을 씨딩용기의 하부에 위치시키고, 씨딩 시 발생하는 미세한 무게변화를 감지하여 자동으로 디핑 시간과 풀링 거리를 정확하고 신속하게 결정하는 것으로,본 발명은 저하중용 로드셀을 씨딩용기의 하부에 위치시키고, 씨딩 시 발생하는 미세한 무게변화를 감지하여 자동으로 디핑 시간과 풀링 거리를 정확하고 신속하게 결정하는 현저한 효과가 있다.
Int. CL C30B 15/00 (2006.01) C30B 29/20 (2006.01)
CPC C30B 15/00(2013.01) C30B 15/00(2013.01) C30B 15/00(2013.01) C30B 15/00(2013.01) C30B 15/00(2013.01)
출원번호/일자 1020140140429 (2014.10.17)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1654424-0000 (2016.08.30)
공개번호/일자 10-2016-0045948 (2016.04.28) 문서열기
공고번호/일자 (20160906) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.17)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이영철 대한민국 부산광역시 부산진구
2 김형재 대한민국 부산광역시 북구
3 심중원 대한민국 경상남도 창원시
4 김재학 대한민국 부산광역시 금정구
5 조형호 대한민국 경기 부천시 원미구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김석계 대한민국 경상남도 김해시 분성로 *** (봉황동, ***-*번지 *층) (김석계특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-0989064-61
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0025122-66
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0788392-09
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2016-0044355-68
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.01.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0044354-12
8 등록결정서
Decision to grant
2016.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0390682-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
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번호 청구항
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고순도 알루미나(Al2O3) 를 2000도 이상에서 녹여 단결정 씨드에 용융 알루미나를 접촉시켜 서서히 단결정으로 성장시키는 사파이어 자동 씨딩 방법에 있어서,상기 자동 씨딩 방법은 전체 잉곳의 무게를 측정하는 고하중용 로드셀(101) 및 씨드의 무게를 측정하는 저하중용 로드셀(102)을 직렬로 연결하여 씨딩용기의 상부에 위치시키되, 저하중용 로드셀(102)은 씨딩이 될 때의 무게 범위를 담당할 수 있는 용량을 선정하여 하중 측정범위는 적으나 정밀도는 높은 급을 사용함으로써,씨딩 시 발생하는 미세한 무게변화를 감지하여 자동으로 디핑 시간과 풀링 거리를 정확하고 신속하게 결정하는 것이며, 고하중용 로드셀(101)은 전체 잉곳의 무게를 담당할 수 있는 용량을 선정하여 하중 측정범위는 넓으나 이에 따른 정밀도는 낮은 급을 사용하되, 저하중용 로드셀(102)의 부하측 아래쪽에 스토퍼를 파손방지용 갭(h)이 있게 설치하여 일정 하중 이상에서는 스토퍼에 의해 저하중 로드셀(102)이 지지되도록 하는 것이며,상기 저하중 로드셀(102)의 파손방지용 갭(h)은 씨드의 무게를 감당할 수 있는 범위로 조절이 가능하여 씨드의 예상무게 이상이 저하중용 로드셀(102)에 걸리는 경우 저하중용 로드셀(102)은 스토퍼에 안착되어 작동하며,상기 씨딩동작 동안은 저하중용 로드셀(102)로부터 하중 신호를 받아 씨드의 무게를 잉곳 높이 제어모터(104)에 피드백 신호를 부여하여 씨드 형성작업이 자동이 되도록 하고, 씨드의 무게가 일정 목표값 이상에 도달하면 고하중용 로드셀(101)로부터 하중신호를 받아 잉곳(ingot)높이 제어모터(104)에 피드백 신호를 부여하여 메인잉곳이 성장하는 속도를 제어하는 것이며,또한, 상기 단결정 씨드를 투입하는 방법은 고순도 알루미나를 성장로 본체(10) 내부의 도가니(30)에 투입하고 커버(20)로 본체(10)를 밀봉하는 단계; 진공을 유지하면서 외부 전원으로 도가니(30)를 가열하여 알루미나를 용융시키는 단계;상기 알루미나가 충분히 용융되어 씨드(2) 투입이 가능한 시점에서, 씨드 고정부(70)에 씨드(2)를 장착한 후, 씨드와 씨드고정부 주위를 감싸는 밀봉부(60) 내부의 공간을 외기와 차단하는 단계; 본체 내부와 연통되는 도입관(40)을 개방하되, 본체(10) 내부의 진공을 유지하는 단계; 씨드 고정부(70)를 하방향으로 이동하여 상기 씨드(2)가 용융 알루미나에 접촉하도록 하여 씨드(2) 투입을 완료하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 사파이어 자동 씨딩 방법
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