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다공성 흑연도가니 및 이를 이용한 탄화규소 단결정의 용액성장 제조방법(Porous graphite crucible and the manufacturing method of SiC single crystal via solution growth using the same)

  • 기술번호 : KST2016009397
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 용액성장법을 이용한 탄화규소 단결정의 제조방법에 관한 것으로서, 그 내면에 다공성 흑연 또는 다공성 카본을 적용한 흑연도가니를 사용해서 탄화규소 단결정을 제조하는 방법에 관한 것이다. 이상과 같은 본 발명에 따르면, 용액성장법을 이용한 탄화규소 단결정 성장에 있어서 동일한 실험조건에서 카본의 용해도를 단시간에 극대화하여 결정 성장 속도를 높일 수 있는 작용효과가 기대된다.
Int. CL C30B 29/36 (2006.01) C30B 19/06 (2006.01)
CPC C30B 19/06(2013.01) C30B 19/06(2013.01) C30B 19/06(2013.01) C30B 19/06(2013.01)
출원번호/일자 1020140143500 (2014.10.22)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1636435-0000 (2016.06.29)
공개번호/일자 10-2016-0047659 (2016.05.03) 문서열기
공고번호/일자 (20160706) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.22)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서원선 대한민국 서울시 강남구
2 정성민 대한민국 경기도 광명시 소
3 김영희 대한민국 서울특별시 서대문구
4 이명현 대한민국 경기도 수원시 영통구
5 김병근 대한민국 서울 금천구
6 이지은 대한민국 경기도 광주시
7 윤지영 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 수 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 케이앤와이빌딩)
2 강민수 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, *층 (역삼동, 우일빌딩)(광개토국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-1011101-71
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0024560-72
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.11.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0795420-54
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-0052510-82
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.02.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0152611-18
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-0152566-40
9 등록결정서
Decision to grant
2016.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0390679-63
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번호 청구항
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탄화규소 단결정의 제조용으로 사용되는 흑연 도가니로서,상기 흑연 도가니는 그 내면이 다공성 흑연 또는 다공성 카본층이 일체로 구성되되,상기의 다공성 흑연 또는 다공성 카본층의 두께는 1 ~ 10 mm이며, 평균 기공 크기가 40 ~ 400 ㎛이고, 평균 기공율이 30 ~ 60%이며, 상기 흑연 도가니는 치밀질의 외측 도가니와 상기 외측 도가니에 비하여 다공성을 가져 밀도가 작은 내측 도가니의 이중층으로 구성되고,상기 내측 도가니의 상부에는 돌출부가 마련되고, 상기 외측 도가니의 상부에는 상기 돌출부가 안착될 수 있도록 단턱이 마련되어 내측 도가니가 외측 도가니에 탈착가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 단결정 제조용 흑연 도가니
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제1항에 있어서,상기 내측 도가니와 외측 도가니는 탈착 가능하게 구성되되, 상기 양 도가니는 체결수단에 체결되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 단결정 제조용 흑연 도가니
8 8
제1항에 있어서,상기 흑연 도가니의 내면에는 거칠기가 부여됨으로써 내면의 표면적이 증대되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 단결정 제조용 흑연 도가니
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순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국세라믹기술원 에너지국제공동연구사업 용액성장법을 이용한 고품위 SiC 단결정 성장기술 개발