| 1 |
1
패턴이 형성된 제1 고분자 기판을 준비하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 준비된 제1 고분자 기판의 패턴을 제2 고분자로 채운 후, 상기 제2 고분자를 반경화시키는 단계(단계 2);상기 단계 2에서 반경화된 제2 고분자 표면에 박막을 형성한 후, 주름(wrinkles) 또는 접힘(folding) 구조를 형성하는 단계(단계 3);를 포함하는 패턴의 형성방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 단계 1의 제1 고분자 기판은 폴리디메틸실록세인(PDMS), 폴리우레탄 계열 고분자 및 에폭시 계열 고분자로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1 종의 고분자로 이루어진 기판인 것을 특징으로 하는 패턴의 형성방법
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 단계 2에서 제1 고분자 기판의 패턴을 제2 고분자로 채우는 방법은,제1 고분자 기판에 플라즈마를 조사하는 단계(단계 a); 및상기 단계 a에서 플라즈마가 조사된 제1 고분자 기판의 패턴이 형성된 표면에 웨이퍼를 덮은 후, 상기 제1 고분자 기판 측면부에 상기 제1 고분자 기판의 패턴과 상기 웨이퍼에 의하여 형성된 공간으로 제2 고분자를 주입하여 상기 제1 고분자 기판의 패턴을 제2 고분자로 채우는 단계(단계 b);를 포함하는 방법인 것을 특징으로 하는 패턴의 형성방법
|
| 4 |
4
제3항에 있어서,상기 단계 b에서 제2 고분자는 모세관력(capillary force)에 의해서 제1 고분자 기판의 패턴에 채워지는 것을 특징으로 하는 패턴의 형성방법
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 제2 고분자는 열 경화성 고분자 또는 광 경화성 고분자인 것을 특징으로 하는 패턴의 형성방법
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 광 경화성 고분자는 사슬의 양 말단 또는 사슬의 측쇄에 광 중합이 가능한 비닐기, 알릴기, 아크릴기, 아크릴레이트기, 메타크릴레이트기, 에폭시기 및 광경화가 가능한 유기 관능기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1 종 이상의 관능기를 포함하는 유기 고분자인 것을 특징으로 하는 패턴의 형성방법
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 단계 2에서 반경화는 50 ℃ 내지 80 ℃의 온도에서 5 분 내지 60 분 동안 가열시켜 수행되는 것을 특징으로 하는 패턴의 형성방법
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 단계 3에서 표면에 박막을 형성한 후, 주름(wrinkles) 또는 접힘(folding) 구조를 형성하는 단계는,반경화된 제2 고분자를 포함하는 제1 고분자 기판을 패턴을 가지는 표면 기준 횡 방향으로 인장시키고, 표면에 박막을 형성한 후, 인장력을 해제하는 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 패턴의 형성방법
|
| 9 |
9
제1항에 있어서,상기 단계 3에서 표면에 박막을 형성한 후, 주름(wrinkles) 또는 접힘(folding) 구조를 형성하는 단계는,반경화된 제2 고분자를 포함하는 제1 고분자 기판을 패턴을 가지는 표면에 박막을 형성한 후, 제1 고분자 기판 횡 방향에서 압축 응력을 가하는 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 패턴의 형성방법
|
| 10 |
10
제1항에 있어서,상기 단계 3에서 박막을 형성하는 방법은 자외선(UV) 또는 자외선/오존(UV/Ozone, UVO)을 포함하는 광을 조사하는 방법인 것을 특징으로 하는 패턴의 형성방법
|
| 11 |
11
제10항에 있어서,상기 자외선/오존을 조사하는 세기는 0
|
| 12 |
12
제10항에 있어서,상기 자외선/오존을 조사하는 시간은 5 분 내지 200 분인 것을 특징으로 하는 패턴의 형성방법
|
| 13 |
13
제8항에 있어서,상기 횡 방향으로 인장되는 길이는 제1 고분자 기판 길이에 대하여 1
|
| 14 |
14
제9항에 있어서,상기 압축 응력의 세기는 응력에 따른 고분자의 변형 정도에 따라 조절하는 것을 특징으로 하는 패턴의 형성방법
|
| 15 |
15
삭제
|
| 16 |
16
패턴이 형성된 제1 고분자 기판을 준비하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 준비된 제1 고분자 기판의 패턴을 제2 고분자로 채운 후, 상기 제2 고분자를 반경화시키는 단계(단계 2);상기 단계 2에서 반경화된 제2 고분자를 포함하는 제1 고분자 기판을 패턴 표면 기준 횡 방향으로 인장시켜 표면에 박막을 형성하고 상기 박막 상부에 금속 패턴을 위치시킨 후, 인장력을 해제하여 주름(wrinkles) 또는 접힘(folding) 구조를 형성하는 단계(단계 3);를 포함하는 주름 또는 접힘 구조를 포함하는 메타물질(metamaterial)의 제조방법
|
| 17 |
17
제16항에 있어서,상기 단계 3의 금속 패턴은 고분자 박막에 형성된 것을 특징으로 하는 주름 또는 접힘 구조를 포함하는 메타물질의 제조방법
|
| 18 |
18
삭제
|
