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원자층 증착법으로 산화물 박막의 일부를 할로겐 원소로 도핑할 수 있는 할로겐 도핑 소스, 상기 할로겐 도핑 소스의 제조 방법, 상기 할로겐 원소 소스를 이용하여 원자층 증착법으로 산화물 박막의 일부를 할로겐으로 도핑하는 방법, 및 상기 방법을 이용하여 형성된 할로겐 원소가 도핑된 산화물 박막(Halogen doping source for doping oxide thin film with halogen using atomic layer deposition, method for manufacturing the halogen doping source, method for doping oxide thin film with halogen using atomic layer deposition, and oxide thin film doped with halogen manufactured by using the method for doping oxide thin film with halogen)

  • 기술번호 : KST2016009453
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 원자층 증착법으로 산화물 박박을 도핑할 수 있는 할로겐 도핑 소스 및 상기 할로겐 도핑 소스의 제조 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 상기 할로겐 원소 소스를 이용하여 원자층 증착법으로 산화물 박막의 일부를 할로겐으로 도핑하는 방법, 및 상기 방법을 이용하여 형성된 할로겐이 도핑된 산화물 박막에 관한 것이다.본 발명에 따른 원자층 증착법으로 산화물 박막 을 도핑할 수 있는 할로겐 도핑 소스는 하이드로겐 할라이드가 물에 희석된 용액이다. 또한, 본 발명에 따른 원자층 증착법으로 산화물 박막의 일부를 할로겐으로 도핑하는 방법은: 48 내지 51%로 희석된 하이드로겐 할라이드를 제공하는 단계; 상기 희석된 하이드로겐 할라이드를 디아이(DI) 워터에 첨가하여 희석 용액을 형성하는 단계; 산화물 박막이 형성된 기판을 원자층 증착용 챔버에 배치하는 단계; 및 상기 희석 용액을 상기 챔버 내부로 분사하여 원자층 증착법으로 산화물 박막의 일부를 할로겐으로 치환하는 단계를 포함한다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01)
CPC C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01)
출원번호/일자 1020160037036 (2016.03.28)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0042405 (2016.04.19) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2013-0100908 (2013.08.26)
관련 출원번호 1020130100908
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박형호 대한민국 서울 강남구
2 최용준 대한민국 서울특별시 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김승욱 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, ***호(서초동, 두산베어스텔)(아이피마스터특허법률사무소)
2 김권석 대한민국 서울특별시 서초구 논현로**, B동 *층(양재동, 삼호물산빌딩)(아이피맥스특허법률사무소)
3 이채형 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** (대치동 동구빌딩 *층) Neo국제특허법률사무소

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2016.03.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-0296601-94
2 협의요구서
Request for Consultation		 2018.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0510682-52
3 협의요구서
Request for Consultation		 2018.08.22 재발송완료 (Re-dispatched) 9-5-2018-0569760-86
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2018.09.05 수리 (Accepted) 1-1-2018-0883257-62
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번호 청구항
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원자층 증착법으로 산화물 박막의 적어도 일부를 할로겐으로 도핑할 수 있는 할로겐 도핑 소스로서, 상기 할로겐 도핑 소스는 하이드로겐 할라이드가 물에 희석된 용액이고, 상기 하이드로겐 할라이드는 불화수소 및 염화수소 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 할로겐 도핑 소스
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2 JP5965441 JP 일본 DOCDBFAMILY
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