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고체 윤활 박막의 제조방법(Manufacturing method of solid lubricant thin film)

  • 기술번호 : KST2016009749
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 자동차 엔진부품을 반응기 내부에 배치하는 제 1 단계; 및 상기 자동차 엔진부품의 표면 상에 저마찰 특성을 갖도록 원자층증착법(Atomic Layer Deposition)을 이용하여 황화텅스텐(WS2) 또는 황화몰리브덴(MoS2) 박막을 형성하는 제 2 단계;를 포함하는, 고체 윤활 박막의 제조방법을 제공할 수 있다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01)
CPC C23C 16/305(2013.01) C23C 16/305(2013.01) C23C 16/305(2013.01) C23C 16/305(2013.01)
출원번호/일자 1020140147037 (2014.10.28)
출원인 자동차부품연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0049652 (2016.05.10) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.28)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국자동차연구원 대한민국 충청남도 천안시 동남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 민준원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 정우영 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-1032174-29
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.07.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.09.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0056961-61
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.01.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0014058-12
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0214096-25
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2016-0326314-33
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0431414-31
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.05.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0519372-42
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2016-0519346-65
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0453848-94
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.07.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5096411-66
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.14 수리 (Accepted) 4-1-2019-5239158-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
자동차 엔진부품을 반응기 내부에 배치하는 제 1 단계; 및상기 자동차 엔진부품의 표면 상에 저마찰 특성을 갖도록 원자층증착법(Atomic Layer Deposition)을 이용하여 황화텅스텐(WS2) 또는 황화몰리브덴(MoS2) 박막을 형성하는 제 2 단계;를 포함하는,고체 윤활 박막의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 자동차 엔진부품은 실린더(cylinder) 및 베어링(bearing) 중 하나인, 고체 윤활 박막의 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 원자층증착법을 이용하여 형성된 상기 박막의 두께 균일도는 화학적 기상 증착법 또는 물리적 기상 증착법에 의하여 형성된 박막의 두께 균일도보다 더 양호한, 고체 윤활 박막의 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 제 2 단계는소스가스를 상기 반응기 내부에 배치된 상기 자동차 엔진부품 상에 제공하는 단계; 반응가스를 상기 반응기 내부에 배치된 상기 자동차 엔진부품 상에 제공하는 단계; 및상기 반응가스를 상기 자동차 엔진부품 상에서 플라즈마 상태로 활성화하는 단계; 를 포함하는 단위사이클을 적어도 1회 이상 수행하는, 고체 윤활 박막의 제조방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 소스가스는 염화텅스텐(WCl6) 또는 염화몰리브덴(MoCl6)을 포함하는, 고체 윤활 박막의 제조방법
6 6
제 4 항에 있어서,상기 반응가스는 황화수소(H2S)를 포함하는, 고체 윤활 박막의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 자동차부품연구원 산업융합원천기술개발사업 1리터가를 위한 클린디젤 하이브리드 원천기술개발