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대구경 단결정 성장장치(growing apparatus for large diameter single crystal)

  • 기술번호 : KST2016009756
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 대구경 단결정 성장장치를 제공한다. 본 발명에 따르면, 단결정 원료 물질이 장입되는 내부 공간이 마련된 도가니, 상기 도가니의 외측에 제공되고, 상기 도가니를 둘러싸는 단열재, 상기 단열재의 외부에 제공되고, 상기 도가니 및 상기 단열재를 둘러싸는 석영관, 종자정 홀더에 부착되는 종자정, 상기 석영관 외부에 마련되어 상기 도가니를 가열하기 위한 가열수단, 및 상기 도가니 내측 상부에 형성되어 승화를 원료를 종자정으로 유도하기 위한 유도부를 포함하고, 상기 유도부는 일정한 두께와 높이를 갖고 상, 하부가 관통 형성되고, 상부에서 하부로 갈수록 직경이 커지는 원뿔대 형상으로 형성된다.
Int. CL C30B 29/36 (2006.01) C30B 23/00 (2006.01)
CPC C30B 23/00(2013.01) C30B 23/00(2013.01) C30B 23/00(2013.01) C30B 23/00(2013.01) C30B 23/00(2013.01) C30B 23/00(2013.01)
출원번호/일자 1020140146328 (2014.10.27)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-1629445-0000 (2016.06.03)
공개번호/일자 10-2016-0049624 (2016.05.10) 문서열기
공고번호/일자 (20160613) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.27)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 여임규 대한민국 경북 포항시 남구
2 박노형 대한민국 경북 포항시 남구
3 은태희 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 경북 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-1029426-69
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.03.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.05.11 수리 (Accepted) 9-1-2015-0031804-82
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0804476-12
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.01.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0049077-31
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2016-0049059-19
7 등록결정서
Decision to grant
2016.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0390678-17
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
9 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-0788257-76
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
단결정 원료 물질이 장입되는 내부 공간이 마련된 도가니,상기 도가니의 외측에 제공되고, 상기 도가니를 둘러싸는 단열재,상기 단열재의 외부에 제공되고, 상기 도가니 및 상기 단열재를 둘러싸는 석영관,종자정 홀더에 부착되는 종자정,상기 석영관 외부에 마련되어 상기 도가니를 가열하기 위한 가열수단, 및상기 도가니 내측 상부에 형성되어 승화를 원료를 종자정으로 유도하기 위한 유도부를 포함하고,상기 유도부는 일정한 두께와 높이를 갖고 상, 하부가 관통 형성되고, 상부에서 하부로 갈수록 직경이 커지는 원뿔대 형상으로 형성되고, 상기 유도부 두께는 D4 = D3 / (1
2 2
제1항에 있어서,상기 유도부의 외측면은 상기 도가니의 외측면과 일정한 각도로 경사지게 형성되는 대구경 단결정 성장장치
3 3
제2항에 있어서,상기 유도부의 외측에는 상기 단열재로 열 전도를 방지하고 공간에 의한 대류 효과로 열을 가두어 두기 위한 공간부가 형성되는 대구경 단결정 성장장치
4 4
제3항에 있어서,상기 공간부는 상기 유도부의 외측과 상기 단열재의 내측 사이에 형성되는 대구경 단결정 성장장치
5 5
제4항에 있어서,상기 공간부는 상기 도가니의 폭방향 중앙부를 중심으로 상기 도가니의 가장자리 하부로 갈수록 하향 경사진 역삼각형 형상으로 형성되는 대구경 단결정 성장장치
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서,상기 유도부 상단면 외주에서 유도부 하단면 외경까지 반경방향 거리(D4)는 15~22mm로 설정되는 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장장치
8 8
삭제
9 9
제1항에 있어서,상기 도가니의 외경은 150~250mm로 설정되는 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장장치
10 10
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주) 포스코 소재부품기술개발사업(WPM) 고품위 SiC 단결정 웨이퍼 제조 기술