요약 | 박막 태양전지의 제조 방법은 투명 기판의 제1 면 상에 투명한 제1 후면전극을 증착하는 단계; 제1 후면전극 상에 고전도성 금속을 포함하는 제2 후면전극을 증착하는 단계; 제1 및 제2 후면전극의 이중층을 분리하기 위해 제1 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계; 제2 후면전극 상에 셀레늄(Se) 또는 황(S)을 포함하는 광흡수층을 증착하는 단계; 광흡수층을 분리하기 위해 투명 기판의 제1 면과 마주보는 제2 면으로 레이저를 입사시켜 제2 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계; 광흡수층 상에 투명전극을 증착하는 단계; 및 투명전극을 분리하기 위해 제2 면으로 레이저를 입사시켜 제3 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 기판입사 레이저 방식의 패터닝을 가능케 하여 패터닝 공정의 가격, 생산성, 정밀성을 향상시키므로, 태양전지의 경쟁력을 확보할 수 있다. |
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Int. CL | H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/0224 (2006.01) |
CPC | H01L 31/0224(2013.01) H01L 31/0224(2013.01) H01L 31/0224(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020140150130 (2014.10.31) |
출원인 | 한국과학기술연구원 |
등록번호/일자 | 10-1688401-0000 (2016.12.15) |
공개번호/일자 | 10-2016-0050929 (2016.05.11) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20161222) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2014.10.31) |
심사청구항수 | 11 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술연구원 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 정증현 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
2 | 김원목 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
3 | 박종극 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김 순 영 | 대한민국 | 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩) |
2 | 김영철 | 대한민국 | 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술연구원 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2014.10.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-1051002-86 |
2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2015.05.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2015.07.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2015-0044107-71 |
4 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2015.07.14 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2015-0678012-26 |
5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2016.02.22 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0133285-72 |
6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2016.04.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0379072-10 |
7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2016.05.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0483997-89 |
8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2016.06.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0603362-90 |
9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2016.06.22 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2016-0603373-92 |
10 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2016.07.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0512752-27 |
11 | [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration) |
2016.08.16 | 수리 (Accepted) | 7-1-2016-0048591-15 |
12 | [명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2016.09.09 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2016-0884048-25 |
13 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2016.09.09 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0884047-80 |
14 | 등록결정서 Decision to Grant Registration |
2016.09.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0674594-64 |
번호 | 청구항 |
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1 |
1 투명 기판의 제1 면 상에 투명한 제1 후면전극을 증착하는 단계;상기 제1 후면전극 상에 몰리브데늄(Mo)을 포함하는 제2 후면전극을 증착하는 단계;상기 제1 및 제2 후면전극의 이중층을 분리하기 위해 제1 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계;상기 제2 후면전극 상에 셀레늄(Se) 또는 황(S)을 포함하는 광흡수층을 증착하는 단계;상기 광흡수층을 분리하기 위해 상기 투명 기판의 제1 면과 마주보는 제2 면으로 레이저를 입사시켜 제2 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계;상기 광흡수층 상에 투명전극을 증착하는 단계; 및상기 투명전극을 분리하기 위해 상기 제2 면으로 레이저를 입사시켜 제3 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계를 포함하고,상기 광흡수층은 구리(Cu) 및 은(Ag) 중 적어도 하나, 인듐(In), 갈륨(Ga), 알루미늄(Al), 아연(Zn), 주석(Sn) 중 적어도 하나, 셀레늄(Se) 또는 황(S) 중 적어도 하나를 포함하는 물질로 형성되고, 상기 제2 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계 및 상기 제3 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계는, 상기 제2 후면전극을 상기 제2 후면전극 상에 형성된 층들을 제거하기 위한 희생층으로 사용하는, 박막 태양전지의 제조 방법 |
2 |
2 삭제 |
3 |
3 제1항에 있어서, 상기 제1 후면전극은 가시광 또는 근적외선 대역에서 광흡수도가 20% 이하이고, 비저항이 1E-2 Ωcm 이하인 물질로 형성되는, 박막 태양전지의 제조 방법 |
4 |
4 제3항에 있어서, 상기 제1 후면전극은 인듐의 산화물, 아연의 산화물, 주석의 산화물 중 적어도 하나를 포함하는 투명전도산화물(TCO), TCO와 금속필름 또는 나노와이어층과 TCO로 구성된 다층구조 투명전극 및 그래핀, 카본나노튜브 중 적어도 하나를 포함하는 카본소재가 분산된 투명전극 중에서 선택된 하나의 물질을 포함하는, 박막 태양전지의 제조 방법 |
5 |
5 제1항에 있어서,상기 제2 후면전극은 가시광 또는 근적외선 대역에서 상기 제1 후면전극의 광흡수도 대비 상기 제2 후면전극의 광흡수도 비 가 1 보다 큰 파장대역이 존재하고, 비저항이 5E-5 Ωcm 이하인, 박막 태양전지의 제조 방법 |
6 |
6 삭제 |
7 |
7 제1항에 있어서,상기 제1 후면전극은 50 내지 1000 nm 범위 내의 두께로 형성되고, 상기 제2 후면전극은 10 내지 1000 nm 범위 내의 두께로 형성되는, 박막 태양전지의 제조 방법 |
8 |
8 삭제 |
9 |
9 제1항에 있어서,상기 광흡수층 상에 버퍼층 및 고저항 윈도우층 중 적어도 하나의 층을 증착하는 단계를 더 포함하고,상기 적어도 하나의 층은 상기 제2 레이저 스크라이빙 수행 시 상기 광흡수층과 함께 제거되는, 박막 태양전지의 제조 방법 |
10 |
10 투명 기판의 제1 면 상에 투명한 후면전극을 100 내지 2000 nm 범위 내의 두께로 증착하는 단계;상기 후면전극 상에 몰리브데늄산화물을 포함하는 계면제어 물질을 1 내지 50 nm 범위 내의 두께로 증착하는 단계;상기 후면전극을 분리하기 위해 제1 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계;상기 후면전극 상에 셀레늄(Se) 또는 황(S)을 포함하는 광흡수층을 증착하는 단계;상기 광흡수층을 분리하기 위해 상기 투명 기판의 제1 면과 마주보는 제2 면으로 레이저를 입사시켜 제2 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계;상기 광흡수층 상에 투명전극을 증착하는 단계; 및상기 투명전극을 분리하기 위해 상기 제2 면으로 레이저를 입사시켜 제3 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계를 포함하고,상기 광흡수층은 구리(Cu) 및 은(Ag) 중 적어도 하나, 인듐(In), 갈륨(Ga), 알루미늄(Al), 아연(Zn), 주석(Sn) 중 적어도 하나, 셀레늄(Se) 또는 황(S) 중 적어도 하나를 포함하는 물질로 형성되는, 박막 태양전지의 제조 방법 |
11 |
11 제10항에 있어서, 상기 후면전극은 가시광 또는 근적외선 대역에서 광흡수도가 20% 이하이고, 비저항이 1E-2 Ωcm 이하인 물질로 형성되는, 박막 태양전지의 제조 방법 |
12 |
12 제11항에 있어서, 상기 후면전극은 인듐의 산화물, 아연의 산화물, 주석의 산화물 중 적어도 하나를 포함하는 투명전도산화물(TCO), TCO와 금속필름 또는 나노와이어층과 TCO로 구성된 다층구조 투명전극 및 그래핀, 카본나노튜브 중 적어도 하나를 포함하는 카본소재가 분산된 투명전극 중에서 선택된 하나의 물질을 포함하는, 박막 태양전지의 제조 방법 |
13 |
13 삭제 |
14 |
14 제10항에 있어서,상기 계면제어 물질은 400 내지 600 °C에서 안정하고, 일함수가 적어도 5 eV인, 박막 태양전지의 제조 방법 |
15 |
15 삭제 |
16 |
16 삭제 |
17 |
17 삭제 |
18 |
18 제10항에 있어서,상기 광흡수층 상에 버퍼층 및 고저항 윈도우층 중 적어도 하나의 층을 증착하는 단계를 더 포함하고,상기 적어도 하나의 층은 상기 제2 레이저 스크라이빙 수행시 상기 광흡수층과 함께 제거되는, 박막 태양전지의 제조 방법 |
19 |
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20 |
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21 |
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22 |
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23 |
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24 |
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26 |
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27 |
27 삭제 |
지정국 정보가 없습니다 |
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순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | US09941423 | US | 미국 | FAMILY |
2 | US20160126376 | US | 미국 | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | US2016126376 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
2 | US9941423 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
---|---|---|---|---|
1 | 산업통상자원부 | 한국과학기술연구원 | 신재생에너지융합원천기술개발(전력기금) | 폴리머 기판 기반의 셀효율 19%급 CIGS 박막 유연 태양전지 원천기술 개발 |
특허 등록번호 | 10-1688401-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20141031 출원 번호 : 1020140150130 공고 연월일 : 20161222 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20160921 청구범위의 항수 : 11 유별 : H01L 31/0224 발명의 명칭 : 박막 태양전지의 제조 방법 및 모듈 구조 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 237,000 원 | 2016년 12월 16일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 141,000 원 | 2019년 12월 03일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 141,000 원 | 2020년 12월 01일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2014.10.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-1051002-86 |
2 | 선행기술조사의뢰서 | 2015.05.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 | 2015.07.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2015-0044107-71 |
4 | [명세서등 보정]보정서 | 2015.07.14 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2015-0678012-26 |
5 | 의견제출통지서 | 2016.02.22 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0133285-72 |
6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2016.04.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0379072-10 |
7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2016.05.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0483997-89 |
8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2016.06.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0603362-90 |
9 | [명세서등 보정]보정서 | 2016.06.22 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2016-0603373-92 |
10 | 거절결정서 | 2016.07.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0512752-27 |
11 | [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2016.08.16 | 수리 (Accepted) | 7-1-2016-0048591-15 |
12 | [명세서등 보정]보정서(재심사) | 2016.09.09 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2016-0884048-25 |
13 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2016.09.09 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0884047-80 |
14 | 등록결정서 | 2016.09.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0674594-64 |
기술정보가 없습니다 |
---|
과제고유번호 | 1415132283 |
---|---|
세부과제번호 | 20113020010050 |
연구과제명 | 폴리머 기판 기반의 셀효율 19%급 CIGS 박막 유연 태양전지 원천기술 개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 산업통상자원부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 201112~201411 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
과제고유번호 | 1711020513 |
---|---|
세부과제번호 | 2E24820 |
연구과제명 | 플렉서블 박막 태양전지 원천기술 개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 미래창조과학부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2014 |
연구기간 | 201201~201412 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
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