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빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계(Multiple beam path optical system using rear surface reflection of beam splitter)

  • 기술번호 : KST2016009876
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계를 개시한다. 개시된 본 발명에 따르면, 시편에 조사하기 위한 레이저빔을 발생시키는 광원부; 상기 광원부로부터 입사된 레이저빔을 분열시켜 복수의 광경로로 제공하는 다중 빔 스플리터; 상기 다중 빔 스플리터에 의해 분열된 레이저빔을 복수의 시편에 조사하기 위한 메인 빔 스플리터; 상기 시편으로 조사된 레이저빔의 신호를 변환해 주는 트랜스듀서; 상기 트랜스듀서의 신호를 토대로 시편에 대한 분석을 진행하는 제어부;를 포함한다.
Int. CL G02B 27/20 (2006.01) G02B 17/02 (2006.01) H01S 3/101 (2006.01) G02B 27/10 (2006.01)
CPC G02B 27/20(2013.01) G02B 27/20(2013.01) G02B 27/20(2013.01) G02B 27/20(2013.01) G02B 27/20(2013.01)
출원번호/일자 1020140150664 (2014.10.31)
출원인 서울과학기술대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1664470-0000 (2016.10.04)
공개번호/일자 10-2016-0051170 (2016.05.11) 문서열기
공고번호/일자 (20161024) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.31)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박익근 대한민국 서울특별시 노원구
2 박해성 대한민국 경기도 의왕시 모락로 **-**,
3 사니치로 요시다 미국 미국 사우스이스턴 루이지애나
4 박태성 대한민국 서울특별시 노원구
5 곽동열 대한민국 서울특별시 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 서울특별시 노원구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2014-1053267-14
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.11.04 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2014-1061789-67
3 보정요구서
Request for Amendment
2014.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0201810-49
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-1109548-85
5 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2014.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0209166-29
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.12.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1190560-12
7 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2015.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0012986-11
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2015-5084292-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5111449-53
10 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.09.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
11 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.11.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0092329-20
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.12.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0863088-16
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.02.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-0107809-06
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.02.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0107850-68
15 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2016.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0283877-19
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2016-0525302-53
17 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.05.31 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0525354-16
18 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0580086-55
19 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.09.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0890977-12
20 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0890976-66
21 등록결정서
Decision to Grant Registration
2016.09.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0680386-60
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번호 청구항
1 1
시편에 조사하기 위한 레이저빔을 발생시키는 광원부;상기 광원부로부터 입사된 레이저빔을 분열시켜 복수의 광경로로 제공하는 다중 빔 스플리터;상기 다중 빔 스플리터에 의해 분열된 레이저빔을 시편 방향으로 조사하기 위한 메인 빔 스플리터;상기 시편으로 조사된 레이저빔의 신호 검출을 위해 시편을 가진시키는 트랜스듀서;시편으로부터 반사되어 상기 메인 빔 스플리터에서 재결합하여 생성된 레이저빔 간섭무늬 분석을 진행하는 제어부;를 포함하고, 상기 다중 빔 스플리터는 상기 광원부에서 입사된 레이저빔을 반사시켜 메인빔을 발생하는 전면, 상기 전면과 대향되게 배치되어 노이즈빔을 생성하는 후면을 포함하여, 하나의 비파괴검사 장비 내에 복수의 빛 경로를 발생시켜, 동일한 환경 상태에서 복수의 시편에 대한 동시 검사를 가능케 하며,상기 제어부는 상기 시편에 의해 형성된 간섭무늬를 체크하고, 상기 트랜스듀서의 가진 정도에 따라 간섭무늬의 대비 변화가 발생하면 푸리에 스펙트럼 분석을 이용하여 신호처리하여 상기 시편의 특성을 평가하며,상기 트랜스듀서는 상기 시편에 부착되어 상기 시편을 가진시켜 상기 시편의 표면의 변위를 발생시킴으로써, 상기 시편으로부터 반사된 레이저빔의 위상을 변화시켜 상기 메인 빔 스플리터로 전달하는 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 메인빔과 노이즈빔은 서로 평행하게 조사되는 것을 특징으로 하는 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계
4 4
제1항에 있어서,상기 트랜스듀서의 일측에는 시편으로 입사되는 레이저빔의 간섭을 형성하기 위한 반사경이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계
5 5
제1항에 있어서,상기 제어부는 간섭무늬를 획득하는 CCD 카메라 및 간섭무늬의 대비 변화를 시각적으로 확인할 수 있도록 한 스크린을 포함하는 것을 특징으로 하는 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계
6 6
광원부로부터 입사된 레이저빔을 다중 빔 스플리터의 전면과 후면으로 분열시켜 복수의 광경로로 제공하는 단계;상기 분열된 레이저빔을 복수의 시편에 조사하는 단계;트랜스듀서가 상기 조사된 레이저빔의 신호 검출을 위해 상기 시편을 가진시켜 상기 시편의 표면의 변위를 발생시키는 단계;상기 시편으로부터 반사된 레이저빔의 위상을 변화시켜 메인 빔 스플리터로 전달하는 단계;상기 메인 빔 스플리터가 상기 시편으로 조사되어 상기 위상이 변화된 레이저빔을 재결합하여 간섭무늬를 형성하는 단계; 및상기 형성된 간섭무늬를 토대로 시편에 대한 분석을 진행하는 단계;를 포함하고, 상기 분석을 진행하는 단계는제어부가 상기 시편에 의해 형성된 간섭무늬를 체크하는 단계; 및상기 트랜스듀서의 가진 정도에 따라 간섭무늬의 대비 변화가 발생하면 상기 제어부가 푸리에 스펙트럼 분석을 이용하여 신호처리하여 상기 시편의 특성을 평가하는 단계;를 포함하여, 하나의 비파괴검사 장비 내에 복수의 빛 경로를 발생시켜, 동일한 환경 상태에서 복수의 시편에 대한 동시 검사를 가능케 하는 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계의 검사방법
7 7
제6항에 있어서,상기 복수의 시편은 다중 빔 스플리터의 전면과 후면으로부터 분열된 메인빔과 노이즈빔의 간격에 대응되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계의 검사방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
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