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초음파 진동과 레이저 습식 후면 에칭을 이용한 유리 형상 가공장치(Ultrasonic vibration and laser-induced backside wet etching drilling apparatus)

  • 기술번호 : KST2016009878
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초음파 진동과 레이저 습식 후면 에칭을 이용한 유리 형상 가공장치에 관한 것으로, 레이저 빔과 유리 뒷면의 금속이온 전해질이 반응을 통해 형상을 간접적으로 가공하는 가운데 초음파를 이용하여 금속이온 전해질을 가진시킴으로써 레이저 가공시 발생하는 형상 찌꺼기와 기포의 제거가 원활하게 이루어질 수 있도록 하여 형상 모서리 깨짐의 현상을 방지할 수 있도록 함에 그 목적이 있다. 이를 위해 구성되는 본 발명은 레이저 빔과의 가열 반응을 통해 순간적으로 기화하여 급격히 팽창하면서 가공대상물인 유리 하부면을 용융시키는 금속이온 전해질이 저수되는 용액저수조; 용액저수조에 저수된 금속이온 전해질에 유리의 하부면만이 침수되도록 하는 유리 고정지그; 유리 고정지그를 지지하여 용액저수조에 저수된 금속이온 전해질 상에 유리의 하부면이 침수되도록 하는 지그 고정암; 용액저수조의 하부 일측에 설치되어 금속이온 전해질에 초음파 진동을 부여하는 초음파 가진기; 및 지그 고정암과 유리 고정지그를 통해 고정된 유리의 상부면에 레이저 빔을 조사하여 금속이온 전해질과의 반응을 통해 유리의 하부로부터 상부로 형상을 가공할 수 있도록 하는 레이저 모듈을 포함한 구성으로 이루어진다.
Int. CL B23K 26/362 (2014.01) C03B 33/10 (2006.01) C03B 33/09 (2006.01) B23K 26/06 (2014.01) C03B 33/03 (2006.01)
CPC C03B 33/091(2013.01) C03B 33/091(2013.01) C03B 33/091(2013.01) C03B 33/091(2013.01) C03B 33/091(2013.01)
출원번호/일자 1020140149311 (2014.10.30)
출원인 서울과학기술대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1625948-0000 (2016.05.25)
공개번호/일자 10-2016-0050666 (2016.05.11) 문서열기
공고번호/일자 (20160531) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.30)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박민수 대한민국 경기도 양주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이은철 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)
2 이수찬 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 서울특별시 노원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-1046741-80
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.01.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2015-0018649-40
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2015-5084292-58
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5111449-53
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0129996-76
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.04.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0376791-04
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2016-0376786-75
9 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2016-0376782-93
10 등록결정서
Decision to grant
2016.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0371878-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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레이저 빔과의 가열 반응을 통해 순간적으로 기화하여 급격히 팽창하면서 가공대상물인 유리 하부면을 용융시키는 금속이온 전해질이 저수되는 용액저수조;상기 유리의 안착이 이루어지는 유리 안착홈과 상기 유리 안착홈 중심에 상하로 관통 형성되어 상기 용액저수조에 저수된 금속이온 전해질에 상기 유리 하부면의 침수가 이루어지도록 하는 침수홈 및 테두리 상에 일정 간격으로 관통 형성된 다수의 하부 고정홈이 구비된 하부 고정지그, 상기 침수홈에 대응하여 중심에 레이저 빔의 조사가 이루어질 수 있도록 상하로 관통 형성된 빔 투과홈과 상기 하부 고정홈에 대응하여 테두리 상에 일정 간격으로 관통 형성된 다수의 상부 고정홈이 구비된 상부 고정지그 및 상기 하부 고정지그와 상부 고정지그의 테두리 상에 형성된 상기 하부 고정홈과 상부 고정홈의 일치된 고정홈 상에 체결되어 상기 하부 고정지그와 상부 고정지그 사이의 유리 안착홈 상에 상기 유리를 고정시키는 체결수단으로 이루어져 상기 용액저수조에 저수된 금속이온 전해질에 상기 유리의 하부면만이 침수되도록 하는 유리 고정지그;상기 유리 고정지그를 지지하여 상기 용액저수조에 저수된 금속이온 전해질 상에 상기 유리의 하부면이 침수되도록 하는 지그 고정암;상기 용액저수조의 하부 일측에 설치되어 상기 금속이온 전해질에 초음파 진동을 부여하는 초음파 가진기; 및상기 지그 고정암과 유리 고정지그를 통해 고정된 상기 유리의 상부면에 레이저 빔을 조사하여 상기 금속이온 전해질과의 반응을 통해 상기 유리의 하부로부터 상부로 형상을 가공할 수 있도록 하는 레이저 모듈을 포함한 구성으로 이루어진 초음파 진동과 레이저 습식 후면 에칭을 이용한 유리 형상 가공장치
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제 1 항에 있어서, 상기 용액저수조의 재질은 저수되는 금속이온 전해질에 의해 부식을 방지하기 위해 스테인리스 스틸 또는 알루미늄 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 초음파 진동과 레이저 습식 후면 에칭을 이용한 유리 형상 가공장치
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삭제
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제 1 항에 있어서, 상기 유리 고정지그를 구성하는 상기 하부 고정지그의 재질은 알루미늄(Al)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 초음파 진동과 레이저 습식 후면 에칭을 이용한 유리 형상 가공장치
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제 1 항에 있어서, 상기 유리 고정지그를 구성하는 상기 상부 고정지그의 재질은 아크릴로 이루어진 것을 특징으로 하는 초음파 진동과 레이저 습식 후면 에칭을 이용한 유리 형상 가공장치
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제 1 항에 있어서, 상기 초음파 가진기의 진동 주파수는 20∼40kHz의 범위로 가진되는 것을 특징으로 하는 초음파 진동과 레이저 습식 후면 에칭을 이용한 유리 형상 가공장치
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제 1 항에 있어서, 상기 레이저 모듈을 통해 상기 유리의 표면에 레이저 빔의 조사시 스캔헤드의 스캔속도는 50∼2,000mm/s의 속도로 스캔하는 것을 특징으로 하는 초음파 진동과 레이저 습식 후면 에칭을 이용한 유리 형상 가공장치
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제 1 항, 제 2 항, 제 4 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 용액저수조는 프레임을 통해 형성된 일정 높이의 고정대 상부에 설치 고정된 것을 특징으로 하는 초음파 진동과 레이저 습식 후면 에칭을 이용한 유리 형상 가공장치
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제 8 항에 있어서, 상기 지그 고정암은 상기 용액저수조 양측의 상기 고정대 상부에 방진패드를 통해 설치 고정된 것을 특징으로 하는 초음파 진동과 레이저 습식 후면 에칭을 이용한 유리 형상 가공장치
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 서울과학기술대학교 산학협력단 신진연구자지원사업 적외선 레이저를 이용한 유리의 습식 후면 식각 공정 개발