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전자빔이 가속되는 공간을 형성하는 하우징;상기 하우징 내 일측에 배치되며, 전자를 방출하는 캐소드;상기 하우징 내에서 상기 캐소드로부터 타측으로 이격되어 위치되며, 상기 캐소드로부터 방출된 전자를 가속하는 애노드;상기 캐소드와 상기 하우징 사이를 절연하며, 상기 캐소드를 고정하는 절연홀더;상기 애노드에 의해 가속된 전자가 하우징 외부로 방출되는 방출구가 중앙에 형성되며, 내부에 냉각수 유로가 형성된 냉각 플레이트를 포함하며,상기 캐소드는 상기 애노드를 바라보는 면이 오목하도록 구배가 형성되고, 상기 캐소드의 구배가 형성된 면의 테두리는 라운드지게 형성되며,상기 절연홀더는 상기 캐소드의 구배가 형성된 면의 배면 및 상기 캐소드의 측면을 감싸며, 상기 캐소드의 테두리의 측면까지 연장되고, 상기 캐소드는 상기 애노드를 바라보는 면이 상기 절연홀더보다 더 애노드와 가깝도록 배치되며,상기 냉각수 유로는 내주면 둘레에 분할선 또는 접합선이 없는 연속면을 형성하는 냉각플레이트가 구비된 전자빔 방출장치
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제1항에 있어서,상기 냉각수 유로는,상기 냉각 플레이트의 어느 일측면에서 상기 어느 일측면과 마주보는 타측면까지 드릴링에 의해 형성되는 복수개의 통로 및 상기 각 통로의 끝단부에 삽입되어 통로를 밀봉하는 밀봉재를 포함하는 냉각 플레이트가 구비된 전자빔 방출장치
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제2항에 있어서,상기 냉각수 유로는,냉각플레이트의 두께 중심선보다 상측에 형성되며,상기 방출구의 옆을 지나도록 상기 냉각 플레이트의 둘레의 측면을 드릴링에 의해 관통형성되는 제1통로;상기 제1통로와 직교하면서 상기 제1통로와 연통되며, 상기 방출구의 옆을 지나도록 상기 냉각 플레이트의 둘레의 측면을 드릴링에 의해 관통형성되는 제2통로;상기 제2통로와 직교하면서 상기 제2통로와 연통되며, 상기 방출구의 옆을 지나도록 상기 냉각 플레이트의 둘레의 측면에 드릴링에 의해 형성되는 제3통로;를 포함하는 냉각 플레이트가 구비된 전자빔 방출장치
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제3항에 있어서,상기 냉각수 유로는,냉각 플레이트의 두께 중심선보다 하측에 형성되며,상기 방출구로부터 상기 방출구의 옆을 지나도록 상기 냉각 플레이트의 둘레의 측면을 드릴링에 의해 형성되는 제4통로;상기 제4통로와 직교하면서 상기 제4통로와 연통되며, 상기 방출구로부터 상기 제4통로보다 먼 거리로 상기 방출구의 옆을 지나도록 상기 냉각 플레이트의 둘레 측면을 드릴링에 의해 형성되는 제5통로;상기 제5통로와 직교하면서 상기 제5통로와 연통되며, 상기 방출구로부터 상기 제4통로보다 먼 거리로 상기 방출구의 옆을 지나도록 상기 냉각 플레이트의 둘레 측면을 드릴링에 의해 관통형성되는 제6통로;상기 제6통로와 직교하면서 상기 제6통로와 연통되며, 상기 방출구로부터 상기 제4통로보다 먼 거리로 상기 방출구의 옆을 지나도록 상기 냉각 플레이트의 둘레 측면을 드릴링에 의해 관통형성되는 제7통로;상기 제7통로와 직교하면서 상기 제7통로와 연통되며, 상기 방출구로부터 상기 제4통로보다 먼 거리로 상기 방출구의 옆을 지나도록 상기 냉각 플레이트의 둘레 측면을 드릴링에 의해 관통형성되는 제8통로;를 포함하는 냉각 플레이트가 구비된 전자빔 방출장치
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제4항에 있어서,상기 하우징 내측에 배치되며, 상기 하우징 방출구 주위로부터 애노드 측으로 연장되도록 형성되고, 상기 하우징 방출구 주위에서 반사된 2차전자 및 후방산란전자가 하우징 내측으로 반사되는 것을 차단하는 반사전자 차단구조체를 더 포함하는 냉각플레이트가 구비된 전자빔 방출장치
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제5항에 있어서,상기 제3통로와 연통되며, 상기 제3통로로부터 상부측으로 연장되어 상기 반사전자 차단구조체의 외측둘레를 감싸도록 구비된 후 하부측으로 연장되어 상기 제4통로와 연통되도록 형성되는, 외부냉각유로를 더 포함하는 냉각 플레이트가 구비된 전자빔 방출장치
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