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가스 흐름(gas flow)에 의한 입자 빔을 집속하는 입자 집속유닛; 열전자를 가속하여 상기 입자 집속 유닛에 의해 집속된 입자 빔을 이온화시켜 하전 입자 빔을 형성하는 전자총;상기 하전 입자빔을 운동 에너지 대 전하 비(kinetic energy to charge ratio)에 따라 굴절시키는 디플렉터; 및굴절된 상기 하전 입자 빔에 의한 전류를 측정하는 감지부;를 포함하고,상기 디플렉터는 굴절되기 전의 하전입자 빔의 진행 중심축을 기준으로 양측에 각각 적어도 하나이상 형성된 입자 빔 분리 전극을 포함하며, 상기 입자 빔 분리 전극의 각각에 걸어주는 전압에 의해 양으로 하전된 입자와 음으로 하전된 입자가 서로 분리되는 것을 특징으로 하는 입자 빔 질량 분석기(Particle Beam Mass Spectrometer)
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제1항에 있어서,상기 각각의 입자빔 분리 전극은 플레이트형, 원통형, 구형, 타원형, 단면이 반구 또는 4반구의 형상인 막대형 중에서 선택되는 어느 하나의 형상인 것을 특징으로 하는 입자 빔 질량 분석기
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제1항에 있어서,상기 각각의 입자 빔 분리 전극은 굴절되기전의 하전입자 빔의 진행 중심축을 기준으로 양측에 각각 적어도 2개 이상의 분리전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 빔 질량 분석기
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제3항에 있어서,상기 각각의 입자 빔 분리 전극은 상부 분리전극 및 하부 분리전극으로 이루어짐으로써 4극(쿼드로폴) 형태를 가지며, 대각선으로 대향하는 위치에 형성된 분리전극의 극성이 각각 서로 동일한 것을 특징으로 하는 입자 빔 질량 분석기
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제4항에 있어서,상기 각각의 입자 빔 분리 전극은 각각 단면이 4반구의 형상이며 길이방향으로 막대형태인 것을 특징으로 하는 입자 빔 질량 분석기
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삭제
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제1항에 있어서,상기 입자 빔 분리 전극에는 DC, 또는 DC와 RF의 조합된 신호를 분리전극에 인가하는 것을 특징으로 하는 입자 빔 질량 분석기
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제1항에 있어서,상기 감지부는 1 내지 10의 패러데이컵을 포함하며, 상기 패러데이컵이 복수인 경우 각각의 패러데이컵은 크기가 서로 동일하거나 상이한 것을 특징으로 하는 입자 빔 질량 분석기
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제7항에 있어서,상기 입자 빔 분리 전극에 걸어주는 전압은 DC전압으로서 시간에 따라 전압이 일정한 값을 가지거나 또는 시간에 따라 특정한 범위내에서 증가 또는 감소하거나, 증가하였다가 감소하거나, 또는 감소하였다가 증가하는 패턴 중 어느 하나의 신호를 전극에 인가하는 것을 특징으로 하는 입자 빔 질량 분석기
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제1항에 있어서,상기 입자 집속유닛은 유닛의 본체에 외부로 기체가 유출될 수 있는 개구부가 형성된 것을 특징으로 하는 입자 빔 질량 분석기
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제10항에 있어서,상기 개구부는 입자빔의 집속 방향을 따라 2개 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 입자 빔 질량 분석기
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제1항 내지 제5항, 제7항 내지 제11항 중 어느 한 항에 기재된 입자 빔 질량 분석기를 이용하여 입자의 크기 또는 입자의 밀도 정보를 얻어내는 방법
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