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금속 산화물 전구체 및 용매를 포함하는 혼합 용액을 제조하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 제조된 혼합 용액에 기판을 혼합 용액이 포함된 용기의 바닥(bottom)으로부터 30 % 범위의 높이에 위치시키되, 용액 표면에 대하여 0 ° 내지 90 °의 각도로 침지시킨 후, 90 분 내지 200 분의 시간 동안 정적으로 60 ℃ 내지 90 ℃의 온도로 가열하여 기판 상에 금속 산화물을 코팅하는 단계(단계 2); 및상기 단계 2에서 금속 산화물이 코팅된 기판을 소결하는 단계(단계 3);를 포함하는 금속 산화물 필름 및 상기 필름 표면에 연속적으로 성장하는 구형 입자 층으로 구성되는 이중층의 금속 산화물 광전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 단계 1의 금속 산화물 전구체는 Ti, Zn, Sn, Nb, W, Sr, In, Yr, La, V, Mo, Mg, Al, Y, Sc, Ga 및 Zr으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1 종 이상의 금속 이온을 포함하는 화합물인 것을 특징으로 하는 금속 산화물 광전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 단계 1의 용매는 물 및 C1 내지 C3 알콜로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 금속 산화물 광전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 단계 1의 혼합 용액은 0
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제1항에 있어서,상기 단계 3의 소결은 400 ℃ 내지 550 ℃의 온도에서 10 분 내지 60 분 동안 수행하는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 광전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 단계 3을 수행하고 난 후, 화학용액성장법(Chemical bath deposition)을 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 광전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 단계 1 내지 3까지의 과정을 1 내지 3 회 반복하여 수행하는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 광전극의 제조방법
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제1항의 제조방법에 따라 제조되고,금속 산화물 필름 및 상기 필름 표면에 연속적으로 성장하는 구형 입자 층으로 구성되는 이중층의 금속 산화물 광전극
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제1항의 제조방법에 따라 제조되고,금속 산화물 필름 및 상기 필름 표면에 연속적으로 성장하는 구형 입자 층으로 구성되는 이중층의 금속 산화물 광전극을 포함하는 태양전지
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