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유연소재가 적용된 압전 박막소자의 제작 방법 및 이를 이용한 압전 박막소자(METHOD FOR MANUFACTURING PIEZOELECTRIC THIN ELEMENT WITH FLEXIBLE MATERIAL AND PIEZOELECTRIC THIN ELEMENT OF THE SAME)

  • 기술번호 : KST2016010282
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유연소재가 적용된 압전 박막소자의 제작 방법 및 이를 적용한 박막소자에 관한 것이다.또한, 본 발명은 기판(100) 상에 지지막(200)을 적층하는 지지막 적층 단계(S1); 상기 지지막(200) 상에 제1 전극막(300)을 적층하는 제1 전극막 적층 단계(S2); 상기 제1 전극막(300) 상에 압전소재(400)를 증착 또는 적층하는 압전소재 적층 단계(S3); 상기 압전소재(400) 상에 제2 전극막(500)을 적층하는 제2 전극막 적층 단계(S4); 상기 지지막(200) 상에 적층된 층들을 둘러싸도록 유연소재(600)로 코팅하는 유연소재 코팅 단계(S5); 및 상기 기판(100)의 일부 또는 전체를 제거하는 기판 제거 단계(S6); 로 이루어지는 유연소재가 적용된 압전 박막소자의 제작 방법에 관한 것이며, 이를 이용한 유연소재가 적용된 압전 박막소자에 관한 것이다.
Int. CL H01L 41/08 (2006.01) H01L 41/22 (2006.01)
CPC H01L 41/22(2013.01) H01L 41/22(2013.01)
출원번호/일자 1020140154343 (2014.11.07)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0054832 (2016.05.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.11.07)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 곽준혁 대한민국 대전광역시 유성구
2 허신 대한민국 대전광역시 유성구
3 박수아 대한민국 대전광역시 유성구
4 김진환 대한민국 전라북도 완주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-1074181-12
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-5002868-09
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.30 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2015-5004923-69
4 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2015.02.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0030578-18
5 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2015.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0039540-49
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-5010228-31
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.04.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0039696-12
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0789056-41
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.01.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0044554-47
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2016-0044559-75
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0369246-14
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판(100) 상에 지지막(200)을 적층하는 지지막 적층 단계(S1);상기 지지막(200) 상에 제1 전극막(300)을 적층하는 제1 전극막 적층 단계(S2);상기 제1 전극막(300) 상에 압전소재(400)를 증착 또는 적층하는 압전소재 적층 단계(S3);상기 압전소재(400) 상에 제2 전극막(500)을 적층하는 제2 전극막 적층 단계(S4);상기 지지막(200) 상에 적층된 층을 둘러싸도록 유연소재(600)를 코팅하는 유연소재 코팅 단계(S5); 및상기 기판(100)의 일부 또는 전체를 제거하는 기판 제거 단계(S6);로 이루어지는 유연소재가 적용된 압전 박막소자의 제작 방법
2 2
제 1항에 있어서, 유연소재가 적용된 압전 박막소자의 제작 방법은상기 제2 전극막(500) 상의 유연소재(600) 일부를 제거하는 유연소재 제거 단계(S7)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유연소재가 적용된 압전 박막소자의 제작 방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 제2 전극막 적층 단계(S4)는상기 제2 전극막(500) 상에 리소그래피 공정을 통해 패턴을 형성하는 패턴 형성 단계(S5a)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유연소재가 적용된 압전 박막소자의 제작 방법
4 4
제 3항에 있어서, 상기 유연소재 코팅 단계(S5)는상기 제2 전극막(500) 상의 패턴 부분의 일부 또는 전체를 제거하는 유연소재 제거 단계(S7)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유연소재가 적용된 압전 박막소자의 제작 방법
5 5
제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,유연소재가 적용된 압전 박막소자의 제작 방법은상기 지지막(200)의 일부 또는 전체를 제거하는 지지막 제거 단계(S8)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유연소재가 적용된 압전 박막소자의 제작 방법
6 6
제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항의 유연소재가 적용된 압전 박막소자의 제작 방법을 이용하여 제작되는 유연소재가 적용된 압전 박막소자
7 7
제 5항의 유연소재가 적용된 압전 박막소자의 제작 방법을 이용하여 제작되는 유연소재가 적용된 압전 박막소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.