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전극 삽입형 분말사출성형을 이용한 적층형 압전소자 제조방법 및 그에 의해 제조된 적층형 압전 소자(Manufacturing Method of Piezoelectric element using powder injection molding with Implantable electrode and Piezoelectric element)

  • 기술번호 : KST2016010302
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전극 삽입형 분말사출성형을 이용한 적층형 압전 소자 제조 방법 및 그에 의해 제조된 적층형 압전 소자에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전극 삽입형 분말사출성형 기법을 활용하여 적층형 압전 소자를 신속히 생산할 수 있는 것으로서, 구체적으로 분말사출성형틀 내부에 전극삽입부를 구성하고, 소결 공정에서 전극과 세라믹 탈지체를 공동 소결(Co-firing)하여 소결 중 접합(Diffusion bonding)을 통해 전극이 삽입된 형태의 압전 부품을 쾌속히 제조하는 전극 삽입형 분말사출성형을 이용한 적층형 압전 소자 제조 방법 및 그에 의해 제조된 적층형 압전 소자에 관한 것이다.
Int. CL H01L 41/083 (2006.01) H01L 41/22 (2006.01)
CPC H01L 41/22(2013.01) H01L 41/22(2013.01)
출원번호/일자 1020140154219 (2014.11.07)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1630606-0000 (2016.06.09)
공개번호/일자 10-2016-0054782 (2016.05.17) 문서열기
공고번호/일자 (20160615) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.11.07)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박성진 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 린동구 대한민국 경상북도 포항시 남구
3 한준세 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정인규 대한민국 부산광역시 해운대구 센텀중앙로 **, ****호(우동) 에이스하에테크** **층(부산에이스특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-1073434-01
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.04.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0037805-67
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0752941-88
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2015-1208538-18
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.12.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1208540-00
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2016.04.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0264858-62
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2016-0354922-84
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.04.14 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0354925-10
10 등록결정서
Decision to grant
2016.06.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0408167-65
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
분말사출성형틀(100)을 준비하되, 상기 분말사출성형틀은 마주보는 양 내측벽에 소정 간격으로 격벽(110)들을 다수 형성하여, 격벽과 격벽 사이에 전극(700)을 삽입할 수 있는 전극삽입부(120)를 형성하도록 하는 분말사출성형틀 준비단계(S100);상기 분말사출성형틀에 형성된 격벽과 격벽 사이에 전극(700)을 부착하기 위한 전극 삽입단계(S200);상기 분말사출성형틀의 일측에, 제1 압전 세라믹 구조체를 형성하기 위한 제2공간부(151)가 몸체 일측에 형성되고, 몸체의 다른 일측에 게이트 러너시스템(410)가 장착되기 위한 주입구(152)가 마련된 성형틀덮개(150)를 준비하여, 상기 분말사출성형틀에 부착시키는 성형틀덮개부착단계(S250);상기 주입구에 게이트 러너시스템(410)과 스프루 시스템(420)을 장착하고, 성형용분말및바인더 혼합체를 게이트 러너시스템과 스프루 시스템을 통해 투입하여, 전극들 사이사이의 제1공간부 및 성형틀덮개 일측의 제2공간부에 채워져 형성되는, 제1압전 세라믹 구조체(310) 제2 압전세라믹 구조체(320)를 형성하는 압전세라믹구조체형성단계(S300); 성형틀덮개(150)를 분말사출성형틀(100)에서 분리하고, 제1 압전 세라믹 구조체(310)와 게이트 러너시스템(410)과 스프루 시스템(420)을 제거한 후, 분말사출성형틀(100)을 분리하여 전극(700)과 제2 압전세라믹 구조체(320)가 적층되어 있는 사출성형체(500)를 획득하는, 사출성형체획득단계(S400);사출성형체에 남아 있는 바인더를 탈지공정을 통해 제거하고, 소결공정을 통해 압전세라믹 구조체(320)를 치밀화시키며, 전극(700)과의 접합을 형성하여 최종 적층형 압전 세라믹 소자를 제작하는 소결단계(S500);를 포함하여 구성되는 전극 삽입형 분말사출성형을 이용한 적층형 압전 소자 제조 방법
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4 4
삭제
5 5
제 2항에 있어서,상기 성형틀덮개의 주입구 위치가, 성형틀덮개의 중단부에 형성되는 것을 특징으로 하는 전극 삽입형 분말사출성형을 이용한 적층형 압전 소자 제조 방법
6 6
제 2항에 있어서,상기 전극(700)의 형태는 편평한 것으로 형성되는 전극 삽입형 분말사출성형을 이용한 적층형 압전 소자 제조 방법
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제 2항에 있어서,상기 전극(700)은, 1,000℃ 이상의 온도에서 견딜 수 있는 티타늄, 니켈, 금 중 적어도 어느 하나의 재질이 포함되도록 형성되는 전극 삽입형 분말사출성형을 이용한 적층형 압전 소자 제조 방법
8 8
삭제
9 9
적층형 압전 소자에 있어서,청구항 2, 5, 6, 7 중 어느 하나의 방법에 의하여 제조된전극 삽입형 분말사출성형을 이용한 적층형 압전 소자
10 10
최소한 한면이 개방된 박스 형상의 분말사출성형틀에 있어서, 상기 분말사출성형틀의 마주보는 내측 벽면에는 돌기형태의 반복적인 격벽이소정의 간격을 두고 다수 적층되고, 상기 격벽 사이에는 전극이 더 포함되며,상기 양측 벽면의 대응되는 격벽들은 동일 크기와 형상으로, 동일 높이에 형성되는 분말사출성형틀
11 11
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12 12
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