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원통체에 각각 영구자석의 배열로 이루어진 회전운동형의 제1가동자와 직선운동형의 제2가동자가 설치되는 가동부;상기 제1가동자와 상기 제2가동자를 각각 중심으로 하여 복수 개의 제1자기부상모듈과 제2자기부상모듈이 원형으로 설치되어 상기 가동부를 자력으로 부상시킨 상태에서 회전운동 및 직선운동시키는 자기부상부; 및상기 제1가동자와 상기 원통체의 사이와 상기 제2가동자와 원통체의 사이에 각각 제1자성체와 제2자성체가 설치되고 상기 제1자성체와 상기 제2자성체를 상방으로 당기는 흡인력을 각각 발생시키는 제1보조자기부상모듈과 제2보조자기부상모듈이 각각 구비되는 보조자기부상부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 초정밀 자기부상 스테이지
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제1항에 있어서 상기 제1자성체와 상기 제2자성체는상기 제1가동자와 상기 제2가동자 및 상기 원통체의 형상과 대응되게 원통 형상으로 구성되고, 상기 제1보조자기부상모듈과 제2보조자기부상모듈은상기 제1자성체와 상기 제2자성체에 대향하는 대향면이 상기 제1자성체와 상기 제2자성체의 외면에 대응되게 곡면 또는 평면으로 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 초정밀 자기부상 스테이지
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제1항에 있어서 상기 제1보조자기부상모듈과 제2보조자기부상모듈은영구자석, 전자석, 하이브리드 전자석 중의 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 초정밀 자기부상 스테이지
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제1항에 있어서 상기 제1자성체와 상기 제2자성체의 하측과 좌측 또는 하측과 우측에 각각 설치되는 갭 센서(gap sensor)을 통해 상기 제1가동자와 상기 제1자기부상모듈 간의 간격과 상기 제2가동자와 상기 제2자기부상모듈 간의 간격을 각각 감지하여 상기 간격에 따라 상기 제1자기부상모듈과 상기 제2자기부상모듈로 인가되는 전류를 제어하는 제어부;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 초정밀 자기부상 스테이지
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제1항에 있어서, 상기 제1자기부상모듈과 상기 제2자기부상모듈은 코일, 전자석, 하이브리드 전자석 중의 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 초정밀 자기부상 스테이지
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제1항에 있어서, 상기 가동부의 중심을 기준으로 하여 상기 가동부의 상측에 위치하는 제1자기부상모듈과 제2자기부상모듈은 각각 상기 제1가동자와 상기 제2가동자를 상방으로 당기는 흡인력을 발생시키고, 상기 가동부의 하측에 위치하는 제1자기부상모듈과 제2자기부상모듈은 상기 제1가동자와 상기 제2가동자를 하방에서 밀어올리는 반발력을 발생시키는 것을 특징으로 하는 원통형 초정밀 자기부상 스테이지
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제1항에 있어서, 상기 가동부의 중심을 기준으로 하여 상기 가동부의 양측에 각각 위치하는 제1자기부상모듈과 제2자기부상모듈은 제1가동자와 상기 제2가동자를 외측으로 당기는 흡인력 또는 내측으로 미는 반발력을 발생시키는 것을 특징으로 하는 원통형 초정밀 자기부상 스테이지
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원통체에 영구자석의 배열로 이루어진 가동자가 설치되는 가동부;상기 가동자의 중심으로 복수 개의 자기부상모듈이 원형으로 설치되어 상기 가동자를 자력으로 부상시키면서 가동시키는 자기부상부; 및상기 가동자와 원통체의 사이에 자성체가 설치되고 상기 자성체의 상측에 상기 자성체를 상방으로 당기는 흡인력을 발생시키는 보조자기부상모듈이 구비되는 보조자기부상부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 초정밀 자기부상 스테이지
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