1 |
1
관상으로 형성되고 내부를 흐르는 처리 대상 기체의 외곽에서 일 방향으로 신장 배치되어 전기적으로 접지되는 제1전극;상기 제1전극의 내부에서 상기 제1전극과 방전갭을 유지하여 나란하게 배치되고 전압을 인가하는 제2전극; 및상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에서 나란하게 배치되는 촉매를 포함하며,상기 제1전극에 결합되어 상기 제2전극과 상기 촉매의 위치를 설정하는 홀더를 더 포함하고,상기 제2전극은복수로 구비되어 서로 이격 배치되는 플라즈마 반응기
|
2 |
2
제1항에 있어서,상기 홀더는 상기 제1전극의 양단에 결합되는 플라즈마 반응기
|
3 |
3
제1항에 있어서,상기 제1전극은 원통으로 형성되고,복수의 상기 제2전극은 상기 제1전극의 중심에서 이격 배치되는 플라즈마 반응기
|
4 |
4
제3항에 있어서,상기 촉매는 복수로 구비되어 서로 이격되고, 상기 제1전극 및 상기 제2전극과 각각 이격 배치되는 플라즈마 반응기
|
5 |
5
제4항에 있어서,복수의 촉매는 동일 직경으로 형성되는 플라즈마 반응기
|
6 |
6
제1항에 있어서,상기 제1전극은 원통으로 형성되고,그 내주면에 유전체층을 더 포함하는 플라즈마 반응기
|
7 |
7
관상으로 형성되고 내부를 흐르는 처리 대상 기체의 외곽에서 일 방향으로 신장 배치되어 전기적으로 접지되는 제1전극;상기 제1전극의 내부에서 상기 제1전극과 방전갭을 유지하여 나란하게 배치되고 전압을 인가하는 제2전극; 및상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에서 나란하게 배치되는 촉매를 포함하며,상기 제1전극은 원통으로 형성되고,상기 제2전극은 복수로 구비되어 상기 제1전극의 중심으로부터 설정된 거리에서 서로 이격 배치되는 플라즈마 반응기
|
8 |
8
제7항에 있어서,상기 촉매는 복수로 구비되어 서로 이격되고,표면적이 넓은 대직경으로 형성되는 제11촉매와 상기 제11촉매보다 소직경으로 형성되는 제12촉매를 포함하는 플라즈마 반응기
|
9 |
9
제8항에 있어서,상기 제11촉매는 복수로 구비되어, 상기 제2전극으로부터 설정된 거리의 둘레에서 서로 이격 배치되고,상기 제12촉매는 복수로 구비되어, 상기 제11촉매의 외곽에서 서로 이격되고 상기 제1전극의 내주면으로부터 설정된 거리의 내부에서 서로 이격 배치되는 플라즈마 반응기
|
10 |
10
제8항에 있어서,상기 제11촉매는 복수로 구비되어, 상기 제1전극의 내주면으로부터 설정된 거리의 내부에서 서로 이격 배치되고,상기 제12촉매는 복수로 구비되어, 상기 제11촉매의 내측인 상기 제2전극으로부터 설정된 거리의 둘레에서 서로 이격 배치되는 플라즈마 반응기
|
11 |
11
제8항에 있어서,상기 제11촉매는 복수로 구비되어, 상기 제2전극으로부터 설정된 거리의 둘레에서 서로 이격되고 상기 제1전극의 내주면으로부터 설정된 거리의 내부에서 서로 이격 배치되며,상기 제12촉매는 복수로 구비되어, 상기 제2전극으로부터 설정된 거리의 둘레에서 상기 제11촉매 사이에 이격 배치되고 상기 제1전극의 내주면으로부터 설정된 거리의 내부에서 상기 제11촉매 사이에 이격 배치되는 플라즈마 반응기
|
12 |
12
제7항에 있어서,상기 촉매는 복수로 구비되어 서로 이격되고,일 촉매 물질로 형성되는 제21촉매와 상기 제21촉매와 다른 촉매 물질로 형성되는 제22촉매를 포함하는 플라즈마 반응기
|
13 |
13
제12항에 있어서,상기 제21촉매는 복수로 구비되어, 상기 제2전극으로부터 설정된 거리의 둘레에서 서로 이격 배치되고상기 제22촉매는 복수로 구비되어, 상기 제1전극의 내주면으로부터 설정된 거리의 내부에서 서로 이격 배치되는 플라즈마 반응기
|
14 |
14
제12항에 있어서,상기 제21촉매는 복수로 구비되어, 상기 제2전극으로부터 설정된 거리의 둘레에서 서로 이격되고 상기 제1전극의 내주면으로부터 설정된 거리의 내부에서 서로 이격 배치되며,상기 제22촉매는 복수로 구비되어, 상기 제2전극으로부터 설정된 거리의 둘레에서 상기 제21촉매 사이에 이격 배치되고 상기 제1전극의 내주면으로부터 설정된 거리의 내부에서 상기 제21촉매 사이에 이격 배치되는 플라즈마 반응기
|
15 |
15
제4항에 있어서,상기 촉매는 처리 대상 기체의 흐름 방향에서 일측에 형성되는 제1직경부와 상기 제1직경부에 연결되고 상기 제1직경부보다 크거나 작은 제2직경부를 포함하는 플라즈마 반응기
|
16 |
16
제4항에 있어서,상기 촉매는 처리 대상 기체의 흐름 방향에서 일측에 제1직경을 형성하고 다른 측에서 제2직경을 형성하며,상기 제1직경과 상기 제2직경 사이에서 점진적으로 커지거나 작아지는 플라즈마 반응기
|
17 |
17
제1항에 있어서,상기 제1전극의 외주면에 구비되는 단열재 또는 가열부를 더 포함하는 플라즈마 반응기
|
18 |
18
제1항에 있어서,상기 제1전극은 사각 관체를 형성하고,복수의 상기 제2전극은 상기 제1전극의 중심에서 서로 이격 배치되고,상기 촉매는 복수로 구비되어 서로 이격되고, 상기 제1전극과 상기 제2전극사이에 각각 배치되는 플라즈마 반응기
|
19 |
19
관상으로 형성되고 내부를 흐르는 처리 대상 기체의 외곽에서 일 방향으로 신장 배치되어 전기적으로 접지되는 제1전극;상기 제1전극의 내부에서 상기 제1전극과 방전갭을 유지하여 나란하게 배치되고 전압을 인가하는 제2전극; 및상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에서 나란하게 배치되는 촉매를 포함하며,상기 제1전극에 결합되어 상기 제2전극과 상기 촉매의 위치를 설정하는 홀더를 더 포함하고,상기 제1전극은사각 관체를 형성되는 유전체와 상기 유전체의 외측에 배치되는 1쌍의 플레이트 전극를 포함하고,상기 제2전극은 복수로 구비되어 상기 유전체의 중심에서 서로 이격 배치되며,상기 촉매는 복수로 구비되어 서로 이격되고, 상기 제1전극과 상기 제2전극사이에 각각 배치되는 플라즈마 반응기
|