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용기를 포함하는 마이크로 어레이 기판 제조 장치를 이용하는 마이크로 어레이 기판 제조 방법에 있어서, 베이스 기판을 세척하는 단계; 상기 베이스 기판이 제공되는 상기 용기 내부에 표면개질 물질의 증기를 공급하는 단계; 및 상기 표면개질 물질의 증기가 상기 베이스 기판의 표면에 결합하여 자기조립단층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 마이크로 어레이 기판 제조 장치는 상기 용기의 일측에 제공된 가스 분배기에 연결된 가스 공급관;상기 가스 공급관에 연결되고, 액상의 상기 표면개질 물질을 수용하는 버블러(bubbler); 액상의 상기 표면개질 물질 내부에 불활성 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급부; 상기 용기의 타측에 제공된 배기부를 더 포함하고, 상기 표면개질 물질의 증기를 공급하는 단계에서는, 액상의 표면개질 물질을 수용하는 버블러(bubbler) 내부에 불활성 가스를 공급하여 상기 불활성 가스가 표면개질 물질의 증기를 이동시키는 마이크로 어레이 기판 제조 방법
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청구항 1에 있어서,세척된 상기 베이스 기판의 표면에 -OH기가 형성되도록 상기 베이스 기판의 표면을 활성화하는 단계를 더 포함하는 마이크로 어레이 기판 제조 방법
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삭제
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청구항 1에 있어서,상기 버블러(bubbler)는 상온 내지 상기 표면개질 물질의 끓는점 온도 사이의 온도로 가열되는 마이크로 어레이 기판 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 용기의 내부는 상기 표면개질 물질의 증기와 불활성 기체를 포함하는 혼합 기체로 충진되고, 그 내부 압력은 0
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청구항 1에 있어서, 상기 베이스 기판이 액체에 잠길 수 있도록 상기 용기의 내부에 상기 액체가 제공되는 마이크로 어레이 기판 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 표면개질 물질은 -NH2, -SH, 에폭시, 아크릴릭(acrylic), 시안토(cyanato), -COOH, -CHO, 티올기, 실라놀기, 포스핀기, L라이신, 아민, 알데히드, 에폭시, 폴리리신(ploy-L-lysine) 중 선택된 적어도 어느 하나의 작용기를 포함하는 것인 마이크로 어레이 기판 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 베이스 기판은 유리, 금속, 고분자, 실리콘, 화합물 반도체 중에서 선택된 적어도 어느 하나의 물질로 이루어진 것인 마이크로 어레이 기판 제조 방법
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베이스 기판을 수용하는 용기; 상기 용기의 일측에 제공된 가스 분배기에 연결된 가스 공급관;상기 가스 공급관에 연결되고, 액상의 표면개질 물질을 수용하는 버블러(bubbler); 상기 액상의 표면개질 물질 내부에 불활성 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급부; 상기 용기의 타측에 제공된 배기부를 포함하고, 상기 불활성 가스에 의해서 공급되는 상기 표면개질 물질의 증기를 이용하여 상기 베이스 기판의 표면에 표면개질 물질로 이루어진 자기조립단층을 형성하는 마이크로 어레이 기판 제조 장치
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청구항 9에 있어서, 상기 가스 분배기와 배기부는 상기 베이스 기판의 양단 방향에 서로 대향하도록 배치되는 마이크로 어레이 기판 제조 장치
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청구항 9에 있어서, 상기 가스 분배기는 복수의 홀을 포함하고, 상기 가스 분배기의 표면의 단위 면적당 상기 복수의 홀의 유효 단면적은 상기 가스 분배기의 중앙 영역에서 가장자리 영역으로 갈수록 커지는 마이크로 어레이 기판 제조 장치
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