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웨이퍼 평탄화 설비의 웨이퍼 부착 장치 및 웨이퍼 평탄화 방법(DEVICE FOR BONDING WAFER OF WAFER FLATTENING APPARATUS AND METHOD FOR FLATTENING WAFER)

  • 기술번호 : KST2016010603
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 웨이퍼의 휨 상태를 자연스럽게 유지하면서 척에 웨이퍼를 고정시킬 수 있도록, 웨이퍼가 고정되는 척, 상기 척에 고정된 웨이퍼를 연마하는 그라인딩 휠을 포함하는 웨이퍼 평탄화 설비의 척에 웨이퍼를 부착하기 위한 웨이퍼 부착장치로, 상기 척에 놓여지는 웨이퍼의 가장자리만을 가압하도록 된 가압부재와, 상기 가압부재에 압력을 가하기 위한 구동부를 포함하는 웨이퍼 평탄화 설비의 웨이퍼 부착 장치를 제공한다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) H01L 21/58 (2006.01)
CPC H01L 21/304(2013.01)
출원번호/일자 1020140158307 (2014.11.13)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0057585 (2016.05.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.11.13)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이승석 대한민국 경북 포항시 남구
2 김장열 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2014-1095187-22
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.05.11 수리 (Accepted) 9-1-2015-0030736-07
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0193482-55
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2016-0460289-99
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.05.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0460305-32
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0690759-76
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2017.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0042401-16
10 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-0788258-11
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼가 고정되는 척, 상기 척에 고정된 웨이퍼를 연마하는 그라인딩 휠을 포함하는 웨이퍼 평탄화 설비의 척에 웨이퍼를 부착하기 위한 웨이퍼 부착장치로,상기 척에 놓여지는 웨이퍼의 가장자리만을 가압하도록 된 가압부재와,상기 가압부재에 압력을 가하기 위한 구동부를 포함하는 웨이퍼 평탄화 설비의 웨이퍼 부착 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 가압부재는 원형의 링 구조로 이루어진 웨이퍼 평탄화 설비의 웨이퍼 부착 장치
3 3
제 2 항에 있어서,상기 구동부는 구동실린더와, 상기 구동실린더의 피스톤로드 선단에 설치되고 선단은 상기 가압부재의 상단 전체에 접하도록 된 원통형 누름부재를 포함하는 웨이퍼 평탄화 설비의 웨이퍼 부착 장치
4 4
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 가압부재는 웨이퍼에 접하는 하단이 내측에서 외측을 향해 하향 경사진 경사면을 이루는 웨이퍼 평탄화 설비의 웨이퍼 부착 장치
5 5
제 4 항에 있어서,상기 가압부재는 세라믹, 금속, 테프론 재질 또는 이들의 조합으로 이루어진 웨이퍼 평탄화 설비의 웨이퍼 부착 장치
6 6
웨이퍼 평탄화 설비의 척에 웨이퍼를 고정하는 단계와,웨이퍼의 외측면을 평탄화 가공하는 단계,웨이퍼의 평탄화된 면을 척에 고정하는 단계,웨이퍼의 외측면을 가공하는 단계를 포함하는 웨이퍼 평탄화 방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 웨이퍼를 고정하는 단계는, 웨이퍼 평탄화 설비의 척에 본드를 도포하는 단계와, 웨이퍼를 본드가 도포된 척 상에 올려놓는 단계, 웨이퍼의 가장자리만을 가압하여 웨이퍼를 척에 부착하는 단계를 포함하는 웨이퍼 평탄화 방법
8 8
제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 웨이퍼를 고정하는 단계에서, 웨이퍼의 휘어진 볼록면이 외측을 향하도록 하여 척에 고정하는 웨이퍼 평탄화 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주) 포스코 소재부품기술개발사업(WPM) 고품위 SiC 단결정 웨이퍼 제조 기술