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대구경 단결정 성장장치(DEVICE FOR GROWING LARGE DIAMETER SINGLE CRYSTAL)

기술번호 : KST2016010604
담당센터 : 대구기술혁신센터
전화번호 : 053-550-1450

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	도가니의 외곽과 중심부의 온도 차이를 최소화하여 종자정 및 단결정 잉곳의 외곽과 중심부의 온도차를 줄임으로써, 대구경 탄화규소 단결정의 품질을 향상시킬 수 있도록, 내부에 단결정 원료가 수용되는 도가니와, 상기 도가니를 둘러싸며 하단과 상단 중심에 유입구와 유출구가 형성된 단열재, 상기 도가니의 상단에 결합되어 종자정이 부착되는 종자정 홀더, 상기 단열재의 외부에 배치되는 석영관, 상기 석영관의 외부에 마련되어 도가니를 가열하는 가열수단, 상기 종자정 홀더 외측 상단에 형성되고 대류 현상을 발생하여 종자정홀더를 통해 종자정에 균일한 온도를 가하는 공간부를 포함하는 대구경 단결정 성장장치를 제공한다.
Int. CL	C30B 25/16 (2006.01) C30B 29/36 (2006.01) C30B 25/00 (2006.01)
CPC	C30B 29/36(2013.01) C30B 29/36(2013.01) C30B 29/36(2013.01)
출원번호/일자	1020140158305 (2014.11.13)
출원인	재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2016-0057584 (2016.05.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	거절
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2014.11.13)
심사청구항수	8

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	재단법인 포항산업과학연구원	대한민국	경북 포항시 남구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	은태희	대한민국	경북 포항시 남구
2	여임규	대한민국	경북 포항시 남구
3	박노형	대한민국	경북 포항시 남구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	유미특허법인	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로 *, 서림빌딩 층 (역삼동)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2014.11.13	수리 (Accepted)	1-1-2014-1095185-31
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2015.03.11	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2015.05.11	수리 (Accepted)	9-1-2015-0033238-96
4	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2016.02.26	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2016-0151764-52
5	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2016.06.15	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2016-0432003-05
6	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2016.09.28	수리 (Accepted)	4-1-2016-5138263-79
7	[출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2017.08.16	수리 (Accepted)	1-1-2017-0788256-20
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.10.10	수리 (Accepted)	4-1-2019-5211042-46

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 성장장치는 내부에 단결정 원료가 수용되는 도가니와, 상기 도가니를 둘러싸며 하단과 상단 중심에 유입구와 유출구가 형성된 단열재, 상기 도가니의 상단에 결합되어 종자정이 부착되는 종자정 홀더, 상기 단열재의 외부에 배치되는 석영관, 상기 석영관의 외부에 마련되어 도가니를 가열하는 가열수단, 상기 종자정 홀더 외측 상단에 형성되고 대류 현상을 발생하여 종자정홀더를 통해 종자정에 균일한 온도를 가하는 공간부를 포함하는 대구경 단결정 성장장치
2	2 제 1 항에 있어서,상기 공간부는 종자정 홀더 상단이 하방향으로 함몰되어 상단이 개방된 홈부를 포함하는 대구경 단결정 성장장치
3	3 제 2 항에 있어서,상기 홈부의 폭방향 직경은 종자정 홀더에 부착되는 종자정의 직경 이상의 크기로 형성되는 대구경 단결정 성장장치
4	4 제 3 항에 있어서,상기 홈부의 폭방향 직경은 100mm 이상인 대구경 단결정 성장장치
5	5 제 4 항에 있어서,상기 홈부의 축방향 깊이는 20 ~ 40mm 인 대구경 단결정 성장장치
6	6 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 홈부의 바닥면 두께는 2 ~ 10mm 인 대구경 단결정 성장장치
7	7 제 6 항에 있어서,상기 홈부의 상단과 상기 단열재 사이의 간격은 20 ~ 40mm 인 대구경 단결정 성장장치
8	8 제 7 항에 있어서,상기 석영관 내부로 유입되는 이너가스의 유속은 1 ~ 0

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	산업통상자원부	(주) 포스코	소재부품기술개발사업(WPM)	고품위 SiC 단결정 웨이퍼 제조 기술

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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2014.11.13	수리 (Accepted)	1-1-2014-1095185-31
2	선행기술조사의뢰서	2015.03.11	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2015.05.11	수리 (Accepted)	9-1-2015-0033238-96
4	의견제출통지서	2016.02.26	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2016-0151764-52
5	거절결정서	2016.06.15	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2016-0432003-05
6	출원인정보변경(경정)신고서	2016.09.28	수리 (Accepted)	4-1-2016-5138263-79
7	[출원서등 보정]보정서	2017.08.16	수리 (Accepted)	1-1-2017-0788256-20
8	출원인정보변경(경정)신고서	2019.10.10	수리 (Accepted)	4-1-2019-5211042-46


과제고유번호	1415135271
세부과제번호	10037904
연구과제명	고품위 SiC 단결정 웨이퍼 제조기술
성과구분	출원
부처명	산업통상자원부
연구관리전문기관명
연구주관기관명
성과제출연도	2014
연구기간	201009~201903
기여율	1
연구개발단계명	개발연구
6T분류명	ET(환경기술)

특허성과

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