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유연성을 가지는 기판의 상부에 경화성수지를 도포하여 경화성수지층을 형성하는 제1단계;상기 경화성수지층에 음각패턴의 트렌치를 형성하는 제2단계;상기 경화성수지층에 형성된 트렌치의 내부에 진공증착 방식으로 도전성 금속을 증착시켜 전극패턴을 형성하는 제3단계;상기 전극패턴을 제외한 경화성수지층 표면을 식각액에 침지하거나 상기 식각액을 분사하여, 상기 경화성수지층 표면의 잔존 도전성 금속을 상기 경화성수지층 표면으로부터 제거하는 제4단계; 및상기 전극패턴을 제외한 경화성수지층 표면을 와이핑(wiping)하면서 상기 제거된 잔존 도전성 금속을 상기 전극패턴의 내부에 충전하는 제5단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 트렌치구조를 가지는 투명유연전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제5단계의 와이핑(wiping)은,스펀지, 솜, 와이핑용 천, 브러시 중 어느 하나 이상을 선택하여 실시하는 것을 특징으로 하는 트렌치구조를 가지는 투명유연전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제4단계의 잔존 도전성 금속은,상기 식각액에 40~60초 동안 침지하여 제거되는 것을 특징으로 하는 트렌치구조를 가지는 투명유연전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제4단계의 잔존 도전성 금속은,상기 식각액을 40~60초 동안 4~6 ml/min로 분사하여 제거되는 것을 특징으로 하는 트렌치구조를 가지는 투명유연전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제4단계의 식각액은,염화제이철(Ferric chloride, FeCl3) 25~35 wt%와 염산(Hydrochloric acid) 3~5 wt%를 포함하는 식각 원액을, 물과 1:4~6의 중량비율로 희석하여 형성되는 것을 특징으로 하는 트렌치구조를 가지는 투명유연전극의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 식각 원액과 상기 물은,50~70초 동안 교반하여 희석되는 것을 특징으로 하는 트렌치구조를 가지는 투명유연전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제3단계의 도전성 금속은,니켈(Ni), 구리(Cu), 은(Ag), 백금(Pt), 금(Au), 알루미늄(Al) 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 트렌치구조를 가지는 투명유연전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1단계의 기판은,폴리에틸렌테레프탈레이트(PET, polyethyleneterephthalate), 폴리이미드(PI, polyimide) 및 폴리프로필렌(PP, polypropylene) 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 트렌치구조를 가지는 투명유연전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1단계의 경화성수지는,자외선 경화성수지, 열 경화성수지 중 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 트렌치구조를 가지는 투명유연전극의 제조방법
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상부에 경화성수지층이 형성된 기판을 연속적으로 이송 공급하는 공급유닛;상기 공급유닛에 의해 이송되는 기판의 경화성수지층 표면에 음각패턴의 트렌치를 형성하는 트렌치형성유닛;상기 트렌치형성유닛에 의해 경화성수지층의 표면에 형성된 트렌치 내부에 도전성 금속을 진공증착 방식으로 증착시키는 금속증착유닛;상기 금속증착유닛을 통과한 상기 트렌치를 제외한 경화성수지층 표면을 식각액에 침지하거나 상기 식각액을 분사하는 식각유닛; 및상기 식각유닛을 통과한 상기 경화수지층 표면의 잔존 도전성 금속이 상기 트렌치의 내부에 충전되도록, 상기 트렌치를 제외한 경화성수지층 표면을 와이핑(wiping)하는 와이핑유닛;을 포함하며,상기 트렌치형성유닛, 상기 금속증착유닛, 상기 식각유닛 및 상기 와이핑유닛은 상기 공급유닛의 이송방향에 따라 순차적으로 배열되는 것을 특징으로 하는 트렌치구조를 가지는 투명유연전극의 제조장치
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제10항에 있어서,상기 와이핑유닛은,회전축; 및상기 회전축의 하단에 고정 결합되고, 상기 회전축이 회전함에 따라 회전하면서 상기 트렌치를 제외한 경화성수지층 표면에 접촉한 상태로 와이핑하는 와이핑부재가 구비되는 헤드부;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 트렌치구조를 가지는 투명유연전극의 제조장치
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제11항에 있어서,상기 와이핑부재는,스펀지, 솜, 와이핑용 천, 브러시 중에서 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 트렌치구조를 가지는 투명유연전극의 제조장치
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제10항에 있어서,상기 식각유닛은,상기 트렌치를 제외한 경화성수지층의 표면이 식각액에 침지되도록, 내부에 식각액이 수용되는 식각액조가 구비되는 것을 특징으로 하는 트렌치구조를 가지는 투명유연전극의 제조장치
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제10항에 있어서,상기 식각유닛은,상기 경화성수지층의 표면과 이격되게 설치되어 외부로부터 유입되는 식각액을 공급받는 공급관; 및상기 공급관의 하단에 장착되어 상기 공급관으로 유입되는 식각액을 상기 트렌치를 제외한 경화성수지층의 표면 방향으로 분사시키는 식각액 분사노즐;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 트렌치구조를 가지는 투명유연전극의 제조장치
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제10항에 있어서,트렌치형성유닛은,상기 경화성수지층의 표면에 접촉한 상태에서 회전하는 회전롤; 및상기 음각패턴의 트렌치 형상에 대응하도록, 상기 회전롤의 외주면에 일정 간격으로 다수 개 형성되는 돌기;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 트렌치구조를 가지는 투명유연전극의 제조장치
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