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타겟 플레이트;상기 타겟 플레이트의 일면에 형성된 유기 매트릭스; 및상기 유기 매트릭스가 형성된 타겟 플레이트 위에 형성되고, 상기 유기 매트릭스를 전부 덮도록 형성된 파릴렌의 제 1 박막 및 상기 파릴렌의 제 1 박막 위에 형성되고, 그래핀(graphene), 탄소 나노 튜브(carbon nano tube, CNT) 또는 이들의 조합을 포함하는 시료 고정층인 제 2 박막을 포함하는 적층 구조를 포함하며,분석 대상물은 상기 적층 구조 상에 배치되고, 상기 분석 대상물은 상기 제 2 박막 상에서 결정화되어 상기 분석 대상물의 기화가 방지되는 시료 플레이트
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청구항 1에 있어서, 상기 시료 고정층은 그래핀인 것을 특징으로 하는 시료 플레이트
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 시료 플레이트는 상기 파릴렌의 제 1 박막 위에 형성된 분석 대상물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 플레이트
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 파릴렌의 제 1 박막은 10nm 내지 100nm의 두께로 증착되는 것을 특징으로 하는 시료 플레이트
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 파릴렌의 제 1 박막은 파릴렌-N 박막인 것을 특징으로 하는 시료 플레이트
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 시료 플레이트는 말디톱 질량분석기용 시료 플레이트인 것을 특징으로 하는 시료 플레이트
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타켓 플레이트의 일면에 유기 매트릭스를 형성하는 단계; 상기 유기 매트릭스가 형성된 타겟 플레이트 위에 형성되고, 상기 유기 매트릭스를 전부 덮도록 파릴렌의 제 1 박막을 형성하는 단계; 및 상기 파릴렌의 제 1 박막 위에 그래핀(graphene), 탄소 나노 튜브(carbon nano tube, CNT) 또는 이들의 조합을 포함하는 시료 고정층인 제 2 박막을 형성하여 상기 제 1 박막 및 상기 제 2 박막을 포함하는 적층 구조를 형성하는 단계를 포함하고,분석 대상물은 상기 적층 구조 상에 배치되고, 상기 분석 대상물은 상기 제 2 박막 상에서 결정화되어 상기 분석 대상물의 기화가 방지되는 시료 플레이트의 제조방법
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청구항 9에 있어서, 또한, 상기 시료 고정층은 그래핀인 것을 특징으로 하는 시료 플레이트의 제조방법
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청구항 9에 있어서, 상기 시료 플레이트는 상기 시료를 고정층 위에 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 플레이트의 제조방법
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청구항 9 또는 청구항 10에 있어서, 상기 파릴렌의 제 1 박막은 파릴렌-N 박막인 것을 특징으로 하는 시료 플레이트의 제조방법
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청구항 9 또는 청구항 10에 있어서, 상기 파릴렌의 제 1 박막을 형성하는 단계는: 파릴렌 다이머를 파릴렌을 기화시키는 제 1 단계, 상기 기화된 파릴레 다이머를 열분해하여 중간 생성물을 형성하는 제 2 단계, 및 상기 중간 생성물을 증착 챔버 내부로 도입하여, 유기 매트릭스가 형성된 타겟 플레이트 위에 파릴렌의 제 1 박막을 증착시키는 제 3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 플레이트의 제조방법
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타겟 플레이트, 상기 타겟 플레이트의 일면에 형성된 유기 매트릭스 및 상기 유기 매트릭스가 형성된 타겟 플레이트 위에 형성되고 상기 유기 매트릭스를 전부 덮도록 형성된 파릴렌의 제 1 박막 및 상기 파릴렌의 제 1 박막 위에 형성되고, 그래핀(graphene), 탄소 나노 튜브(carbon nano tube, CNT) 또는 이들의 조합을 포함하는 시료 고정층인 제 2 박막을 포함하는 적층 구조를 포함하는 시료 플레이트를 제공하는 단계;상기 적층 구조 상에 분석 대상물인 시료를 형성하는 단계; 상기 시료가 장착된 시료 플레이트를 말디톱 질량분석기의 정해진 위치에 위치시키는 단계;상기 시료 플레이트에 레이저를 조사하여 시료를 탈착 및 이온화시키는 단계; 및 상기 이온화된 시료의 질량을 분석하는 단계를 포함하고,상기 분석 대상물은 상기 제 2 박막 상에서 결정화되어 상기 분석 대상물의 기화가 방지되는 말디톱(MALDI-Tof; Matrix Assissted Laser Desorption Ionization Time of Flight) 질량분석기를 이용한 질량분석 방법
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청구항 16에 있어서, 상기 시료 고정층은 그래핀인 것을 특징으로 하는 말디톱 질량분석기를 이용한 질량분석 방법
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