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석영 유리 잉곳의 사이즈-업 방법(Method for size-up of quartz glass ingot)

  • 기술번호 : KST2016010729
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 복수 개의 석영 유리 잉곳을 이웃하게 몰드에 배치하는 단계와, 복수 개의 석영 유리 잉곳이 담긴 몰드를 챔버 내에 장입하는 단계와, 상기 챔버 내의 압력을 대기압 미만으로 감압하여 진공 상태로 만드는 단계와, 상기 챔버 내의 온도가 1800∼1900℃ 범위의 온도가 되도록 가열하고 유지하여 복수 개의 석영 유리 잉곳이 용융되게 하는 단계 및 복수 개의 석영 유리 잉곳이 용융되게 한 후, 냉각하는 단계를 포함하며, 용융 유리와 접촉하는 부위인 내측벽은 DLC(diamond like carbon) 또는 텅스텐 카바이드(WC) 재질로 이루어지고 외측벽은 자체 가열원으로 작용하게 하기 위하여 그라파이트 재질로 이루어진 몰드를 사용하는 것을 특징으로 하는 석영 유리 잉곳의 사이즈-업 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 미리 형성된 석영 유리 잉곳이 광학적(optical) 또는 기계적 물성(mechanical properties)의 변화 없이 대면적을 갖도록 사이즈-업(size-up) 하면서도 복굴절이 작은 석영 유리 잉곳을 제조할 수 있다.
Int. CL C03B 20/00 (2006.01) C30B 29/18 (2006.01) C30B 15/00 (2006.01)
CPC C03B 20/00(2013.01) C03B 20/00(2013.01) C03B 20/00(2013.01) C03B 20/00(2013.01)
출원번호/일자 1020140160584 (2014.11.18)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1690988-0000 (2016.12.23)
공개번호/일자 10-2016-0059132 (2016.05.26) 문서열기
공고번호/일자 (20161229) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.11.18)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김유진 대한민국 경기도 용인시 기흥구
2 김형준 대한민국 경기도 고양시 일산동구
3 김동환 대한민국 경상남도 통
4 유리 대한민국 인천광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고길수 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **, *층 (서초동)(정석국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-1107973-29
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.04.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0073652-73
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0880718-26
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-0150664-70
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-0251083-44
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2016-0359286-15
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-0461515-92
10 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2016.05.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0073585-14
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2016-0567235-65
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.06.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0567201-13
13 등록결정서
Decision to grant
2016.10.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0717114-15
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
몰드가 장입되는 공간을 제공하는 챔버; 상기 챔버 내에 안치되고 자체 가열원으로 작용하는 몰드; 상기 챔버의 둘레를 감싸게 구비되고 상기 몰드를 고주파 유도가열 방식으로 가열하기 위한 가열수단; 상기 챔버에 비활성 가스를 공급하는 가스공급부;상기 챔버 내의 압력을 대기압 미만으로 감압하여 진공 상태로 만들기 위한 배기 장치; 및 상기 챔버 내의 가스를 배출하기 위한 가스배출구를 포함하는 장치를 이용하여 석영 유리 잉곳을 사이즈-업 하기 위한 방법으로서, 복수 개의 석영 유리 잉곳을 이웃하게 상기 몰드에 배치하는 단계;복수 개의 석영 유리 잉곳이 담긴 몰드를 상기 챔버 내에 장입하는 단계;상기 챔버 내의 압력을 대기압 미만으로 감압하여 진공 상태로 만드는 단계;상기 챔버 내의 온도가 1800∼1900℃ 범위의 온도가 되도록 가열하고 유지하여 복수 개의 석영 유리 잉곳이 용융되게 하는 단계; 및복수 개의 석영 유리 잉곳이 용융되게 한 후, 냉각하는 단계를 포함하며, 용융 유리와 접촉하는 부위인 내측벽은 DLC(diamond like carbon) 또는 텅스텐 카바이드(WC) 재질로 이루어지고, 외측벽은 자체 가열원으로 작용하게 하기 위하여 그라파이트 재질로 이루어진 몰드를 사용하고,복수 개의 석영 유리 잉곳이 담긴 몰드는 덮개로 덮여져서 밀봉되며, 용융 유리와 접하는 부위인 내측부가 DLC(diamond like carbon) 또는 텅스텐 카바이드(WC) 재질로 이루어지고, 외측부는 자체 가열원으로 작용하게 하기 위하여 그라파이트 재질로 이루어진 덮개를 사용하며,복수 개의 석영 유리 잉곳은 OH기 농도가 10∼2,000ppm 범위인 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 석영 유리 잉곳의 사이즈-업 방법
2 2
제1항에 있어서, 1800∼1900℃의 온도에서 30∼120분 동안 유지하는 것을 특징으로 하는 석영 유리 잉곳의 사이즈-업 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 냉각은 0
4 4
제1항에 있어서, 상기 비활성 가스는 헬륨(He), 아르곤(Ar) 또는 질소(N2) 가스를 포함하는 가스를 사용하고, 상기 비활성 가스는 1∼20 slpm의 유량으로 공급하는 것을 특징으로 하는 석영 유리 잉곳의 사이즈-업 방법
5 5
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6 6
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