| 1 |
1
기판이 처리되는 내부 공간이 형성된 진공챔버;상기 기판 상에 증착할 원료 물질을 기화시키는 증기 변환 챔버;상기 증기 변환 챔버의 압력을 관측하는 압력 센서;상기 압력 센서의 압력 측정 결과에 따라 상기 증기 변환 챔버 내로 투입되는 상기 원료 물질의 투입량을 제어하는 제어부; 및상기 제어부의 제어에 따라 상기 증기 변환 챔버로 투입되는 원료 물질의 양을 변화시키는 원료 투입부를 포함하는 것을 특징으로 하는 증기 이송 증착 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 내부 공간에서 기판을 지지하는 기판 지지부; 및상기 기판 지지부와 대향하여 이격 설치되는 가스 분사부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증기 이송 증착 장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 원료 투입부로 운반자 가스를 공급하는 가스 주입부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증기 이송 증착 장치
|
| 4 |
4
제2항에 있어서,상기 증기 변환 챔버 및 상기 가스 분사부의 사이에 형성되고 상기 증기 변환 챔버로부터의 기체를 상기 가스 분사부로 이송시키는 이송관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증기 이송 증착 장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 증기 변환 챔버는 650℃ 내지 800℃의 고온으로 유지되는 것을 특징으로 하는 증기 이송 증착 장치
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 원료 물질은 Cd, Te를 포함하는 분말상의 고체 화합물인 것을 특징으로 하는 증기 이송 증착 장치
|
| 7 |
7
제6항에 있어서,상기 원료 물질은 Cd(1-x)Zn(x)Te이며 0
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 원료 물질외에 Cl, In, Au 중 적어도 하나의 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 증기 이송 증착 장치
|
| 9 |
9
제8항에 있어서,상기 원소는 0
|
| 10 |
10
제1항에 있어서,상기 원료 물질은 PbI2, PbO, BiI3, HgI2, TlBr 중 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 증기 이송 증착 장치
|
