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상면, 하면 및 측면을 포함하고 상기 상면 및 상기 하면을 관통하는 복수 개의 기공이 구비된 다공성의 절연성 유전체 기판; 및상기 기공 내에 구비된 연자성체 나노선을 포함하며,상기 연자성체 나노선은 상기 절연성 유전체 기판으로 둘러싸여 서로 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 고주파 안테나 기판용 자기유전 복합체
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제1항에 있어서, 상기 고주파 안테나 기판용 자기유전 복합체는 0
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제1항에 있어서, 상기 연자성체 나노선은 Fe, Co, Ni, FexNi1-x(X는 1보다 작은 실수), FexCo1-x(X는 1보다 작은 실수) 또는 CoxNi1-x(X는 1보다 작은 실수)를 포함하는 금속계 연자성체인 것을 특징으로 하는 고주파 안테나 기판용 자기유전 복합체
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제1항에 있어서, 상기 기공은 10～500nm의 평균 직경을 갖고,상기 연자성체 나노선은 10～500nm의 평균 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 고주파 안테나 기판용 자기유전 복합체
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제1항에 있어서, 상기 절연성 유전체 기판은 상면과 하면 사이의 두께가 10～300㎛이고, 상기 연자성체 나노선의 길이는 상기 절연성 유전체 기판의 두께보다 작은 것을 특징으로 하는 고주파 안테나 기판용 자기유전 복합체
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제1항에 있어서, 상기 절연성 유전체 기판은 알루미나(Al2O3), 티타니아(TiO2), 지르코니아(ZrO2) 및 산화니오븀(Nb2O5) 중에서 선택된 1종 이상의 산화물을 포함하는 기판인 것을 특징으로 하는 고주파 안테나 기판용 자기유전 복합체
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상면, 하면 및 측면을 포함하고 상기 상면 및 상기 하면을 관통하는 복수 개의 기공이 구비된 다공성의 절연성 유전체 기판을 준비하는 단계; 상기 절연성 유전체 기판의 하면에 전기전도성을 갖는 씨드층을 형성하여 하면의 복수 개의 기공을 덮는 단계;상기 절연성 유전체 기판 전면의 복수 개의 기공을 통해 노출된 씨드층에 전해증착을 이용하여 연자성체 나노선을 성장시켜 형성하는 단계; 및상기 씨드층을 제거하는 단계를 포함하며,상기 연자성체 나노선은 상기 절연성 유전체 기판으로 둘러싸여 서로 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 고주파 안테나 기판용 자기유전 복합체의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 다공성의 절연성 유전체 기판을 준비하는 단계는,알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 지르코늄(Zr) 및 니오븀(Nb) 중에서 선택된 1종 이상의 금속 기판을 양극 산화하여 다공성의 알루미나(Al2O3), 티타니아(TiO2), 지르코니아(ZrO2) 및 산화니오븀(Nb2O5) 중에서 선택된 1종 이상의 산화물을 포함하는 기판을 형성하는 단계를 포함하며, 알루미늄(Al)의 양극 산화 시에 옥살산, 인산, 황산 또는 이들의 혼합액을 사용하고, 티타늄(Ti)의 양극 산화 시에 불산, 붕산, 황산, 인산 또는 인산과 칼슘의 혼합액을 사용하며,지르코늄(Zr)의 양극 산화 시에 붕산, 질산, 황산 또는 황산과 불화나트륨의 혼합액을 사용하고,니오븀(Nb)의 양극 산화 시에 황산, 인산, 황산과 불산의 혼합액 또는 인산과 불산의 혼합액을 사용하는 것을 특징으로 하는 고주파 안테나 기판용 자기유전 복합체의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 절연성 유전체 기판은 알루미나(Al2O3), 티타니아(TiO2), 지르코니아(ZrO2) 및 산화니오븀(Nb2O5) 중에서 선택된 1종 이상의 산화물을 포함하는 기판이고,상기 다공성의 절연성 유전체 기판의 기공에 대하여 기공 확장시키는 단계를 더 포함하며,상기 다공성의 절연성 유전체 기판의 기공이 상기 기공 확장에 의해 10～500nm의 크기를 갖게 하는 것을 특징으로 하는 고주파 안테나 기판용 자기유전 복합체의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 기공 확장은 절연성 유전체 기판이 알루미나(Al2O3)을 포함하는 기판인 경우에 수산화나트륨(NaOH) 용액, 인산(H3PO4) 용액 또는 인산(H3PO4)과 크롬산(H2CrO4)의 혼합용액에 다공성의 절연성 유전체 기판을 담그는 방법으로 이루어지고,상기 기공 확장에 의해 상기 다공성의 절연성 유전체 기판이 10～73%의 기공율을 갖도록 조절하는 것을 특징으로 하는 고주파 안테나 기판용 자기유전 복합체의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 연자성체 나노선은 Fe, Co, Ni, FexNi1-x(X는 1보다 작은 실수), FexCo1-x(X는 1보다 작은 실수) 또는 CoxNi1-x(X는 1보다 작은 실수)를 포함하는 금속계 연자성체인 것을 특징으로 하는 고주파 안테나 기판용 자기유전 복합체의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 전해증착은 연자성체 전구체와 산(acid) 또는 염기(base)를 포함하는 전해액을 사용하고, Fe 전구체로 황산제일철 7수화물(FeSO4·7H2O), 염화제일철 4수화물(FeCl4·4H2O), 붕불화철(Iron(II) fluoborate) 또는 이들의 혼합물을 사용하고,Co 전구체로 염화코발트 6수화물(CoCl2·6H2O), 황산코발트 7수화물(CoSO4·7H2O) 또는 이들의 혼합물을 사용하며, Ni 전구체로 황산니켈 6수화물(NiSO4·6H2O), 염화니켈 6수화물(NiCl2·6H2O) 또는 이들의 혼합물을 사용하고, 상기 씨드층을 작업전극에 부착하여 음극에 전기적으로 연결하고, 상기 씨드층 및 상기 연자성체와는 다른 금속을 포함하는 상대전극을 양극에 연결하며, 상기 음극에 음 전압을 인가하여 절연성 유전체 기판의 기공 내에 Fe, Co, Ni, FexNi1-x(X는 1보다 작은 실수), FexCo1-x(X는 1보다 작은 실수) 또는 CoxNi1-x(X는 1보다 작은 실수)를 포함하는 연자성체 나노선이 형성되게 하는 것을 특징으로 하는 고주파 안테나 기판용 자기유전 복합체의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 기공은 10～500nm의 평균 직경을 갖게 형성하고,상기 기공 내에 구비된 연자성체 나노선은 10～500nm의 평균 직경을 갖게 형성하는 것을 특징으로 하는 고주파 안테나 기판용 자기유전 복합체의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 절연성 유전체 기판은 상면과 하면 사이의 두께가 10～300㎛이고, 상기 연자성체 나노선의 길이는 상기 절연성 유전체 기판의 두께보다 작게 형성하는 것을 특징으로 하는 고주파 안테나 기판용 자기유전 복합체의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 씨드층은 5～1000㎚의 두께로 형성하고, 상기 씨드층은 상기 연자성체 나노선의 성분과 다른 금(Au), 은(Ag) 및 구리(Cu) 중에서 선택된 1종 이상의 금속을 사용하는 것을 특징으로 하는 고주파 안테나 기판용 자기유전 복합체의 제조방법
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