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전하의 이동 통로 역할을 하는 전극층; 상기 전극층 상부에 형성되고 구조를 지지하는 폴리머층;상기 폴리머층 상부에 형성되고 생성된 전하를 저장하는 유전층; 및상기 유전층 상부에 형성되고 마찰전기를 발생시키는 패턴 형성 또는 돌기 형상의 금속층;을 포함하되,상기 폴리머층 상부에 구비되고, 기계적 응력에 의해 전하가 발생하는 압전층을 더 포함하며, 상기 압전층은 ZnO 또는 AlN으로 이루어지고, 상기 압전층이 유전층과 결합된 하나의 층으로 형성되어 유전층의 역할을 수행하는 것을 특징으로 하는 마찰전기 발전소자용 복합체
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제1항에 있어서,상기 전극층은 투명전극, 금속전극 및 질화물 전극으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 마찰전기 발전소자용 복합체
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제1항에 있어서,상기 폴리머층은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN) 및 폴리이미드(PI)로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 마찰전기 발전소자용 복합체
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제1항에 있어서,상기 유전층은 TiO2, HfO2, ZrO2, Ta2O5, Nb2O5, La2O3, Gd2O3, Er2O3, Sm2O3, (AlTi)O2, BaTiO3, SrTiO3, (BaSr)TiO3, HfSiO2 및 ZrSiO2로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 마찰전기 발전소자용 복합체
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제1항에 있어서,상기 금속층은 Au, Ag, Cu, Al, Ru, Pt, Ir, Mo, Pd 및 W로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 마찰전기 발전소자용 복합체
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투명전극, 금속전극 및 질화물 전극으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종으로 이루어진 전극층 상부에 폴리머층을 형성시키는 단계;상기 폴리머층 상부에 원자층 증착법으로 유전층을 형성시키는 단계;상기 유전층 상부에 원자층 증착법으로 금속층을 형성시키는 단계; 및상기 금속층 상부에 포토레지스트를 형성시킨 후 노광하여 패턴을 형성시키고 상기 금속층을 식각한 후 상기 포토레지스트를 제거하는 단계;를 포함하되, 상기 폴리머층 상부에 원자층 증착법으로 압전층을 형성시키고, 상기 압전층이 유전층과 결합된 하나의 층으로 형성되어 유전층의 역할을 수행하는 것을 특징으로 하는 마찰전기 발전소자용 복합체의 제조방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 마찰전기 발전소자용 복합체; 및전극층, 폴리머층 및 패터닝된 폴리머 박막층을 포함하는 다층 소자를 포함하고, 상기 마찰전기 발전소자용 복합체의 금속층과 상기 다층 소자의 폴리머 박막층이 대면하는 것을 특징으로 하되,상기 마찰전기 발전소자용 복합체는 압전층이 유전층과 결합된 하나의 층으로 형성되어 유전층의 역할을 수행하는 것을 특징으로 하는 마찰전기 발전소자
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