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휨변형된 자성체인 회전체의 원주에 수직한 방향으로 상기 회전체로부터 이격되게 배치되며, 상기 회전체가 회전하는 동안 변동되는 상기 회전체와의 거리에 반비례하는 자기력에 따라 상기 회전체 방향으로 이동되는 자석;상기 자석을 상기 회전체 방향의 역방향으로 복원시키는 탄성 소자; 및상기 자석에 의해 가압되며, 상기 가압에 의한 기계적인 응력을 전기적 신호로 변환하는 압전 소자를 포함하는 무접촉 압전형 변위 센서
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제1항에 있어서,무접촉 압전형 변위 센서는,상기 압전 소자에서 변환된 전기적인 신호의 크기로부터 상기 회전체의 휨변형된 정도인 변위를 구하는 휨변형 연산부를 더 포함하는 무접촉 압전형 변위 센서
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제2항에 있어서,상기 압전 소자에서 변환된 전기적인 신호의 크기와 상기 휨변형된 정도는, 데이터베이스에 테이블 형태로 사전에 저장되는 값인 무접촉 압전형 변위 센서
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제1항에 있어서,상기 회전체는,축방향으로 일정한 길이를 가진 원기둥 형상의 압연롤인 무접촉 압전형 변위 센서
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제1항에 있어서,상기 탄성 소자는,인장 스프링, 인장 스프링, 미형 스프링, 판 스프링 중 어느 하나를 포함하는 무접촉 압전형 변위 센서
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제1항에 있어서,상기 자석은,영구 자석 및 전자석 중 어느 하나를 포함하는 무접촉 압전형 변위 센서
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압전 소자에서, 휨변형된 자성체인 회전체가 회전하는 동안 자석의 가압에 의한 기계적인 응력을 전기적 신호로 변환하는 단계; 및휨변형 연산부에서, 상기 압전 소자에서 변환된 전기적인 신호의 크기로부터 상기 회전체의 휨변형된 정도인 변위를 구하는 단계를 포함하는 변위 측정 방법
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