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펄스 레이저 빔을 반사하는 제 1 대면적 미러와, 상기 제 1 대면적 미러 내의 제 1 소면적 미러를 포함하는 제 1 다중 반사 미러;상기 제 1 대면적 미러에 대향하여 배치되는 제 2 대면적 미러와, 상기 제 2 대면적 미러 내의 제 2 소면적 미러를 포함하는 제 2 다중 반사 미러; 및상기 제 1 다중 반사 미러와 상기 제 2 다중 반사 미러 사이에 배치되고, 상기 펄스 레이저 빔을 굴절시켜 상기 펄스 레이저 빔의 펄스 폭을 확장시키는 펄스 군지연 분산 블록을 포함하는 펄스 폭 확장기
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제 1 항에 있어서,상기 펄스 군지연 분산 블록은 유전체 실린더를 포함하는 펄스 폭 확장기
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제 1 항에 있어서,상기 유전체 실린더는 실리콘 산화물을 포함하는 펄스 폭 확장기
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 대면적 미러들은 상기 제 1 및 제 2 소면적 미러들을 각각 고정하고, 상기 펄스 레이저 빔을 통과시키는 제 1 및 제 2 사이드 홀들을 각각 갖는 펄스 폭 확장기
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 대면적 미러는 오목 미러를 포함하되,상기 제 2 대면적 미러는 평판 미러를 포함하는 펄스 폭 확장기
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6
펄스 레이저 빔을 생성하는 발진기;상기 발진기와 이격하여 배치되고, 상기 펄스 레이저 빔의 펄스 폭을 압축하는 펄스 폭 압축기;상기 펄스 폭 확장기와 상기 발진기 사이에 배치되고, 상기 펄스 레이저 빔의 세기를 증폭하는 펄스 증폭기; 및상기 펄스 증폭기와 상기 발진기 사이에 배치되고, 상기 펄스 레이저 빔의 상기 펄스 폭을 확장시키는 펄스 폭 확장기를 포함하되,상기 펄스 폭 확장기는:상기 펄스 레이저 빔을 반사하는 제 1 대면적 미러와, 상기 제 1 대면적 미러 내의 제 1 소면적 미러를 포함하는 제 1 다중 반사 미러;상기 제 1 대면적 미러에 대향하여 배치되는 제 2 대면적 미러와, 상기 제 2 대면적 미러 내의 제 2 소면적 미러를 포함하는 제 2 다중 반사 미러; 및상기 제 1 다중 반사 미러과 상기 제 2 다중 반사 미러 사이에 배치되고, 상기 펄스 레이저 빔을 굴절시켜 상기 펄스 레이저 빔의 펄스 폭을 확장시키는 펄스 군지연 분산 블록을 포함하는 쳐프 처프 펄스 증폭 장치
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제 6 항에 있어서,상기 펄스 폭 압축기는:상기 펄스 레이저 빔을 반사하는 제 3 다중 반사 미러; 및상기 제 3 다중 반사 미러에 대향하여 배치되고, 상기 펄스 레이저 빔을 상기 제 3 다중 반사 미러에 반사하는 제 4 다중 반사 미러를 포함하되,상기 제 3 및 상기 제 4 다중 반사 미러들은 상기 군지연 분산 블록의 군지연 분산 값과 반대되는 군지연 분산 값을 갖는 군지연 분산 미러들을 포함하는 처프 펄스 증폭 장치
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제 7 항에 있어서,상기 군지연 분산 블록은 유전체 실린더를 포함하되,상기 제 3 및 상기 제 4 다중 반사 미러들의 각각은:상기 유전체 실린더의 굴절률과 동일한 굴절률을 갖는 저 굴절 유전체 층들; 및상기 저 굴절 유전체 층들 사이에 배치되고, 상기 저 굴절 유전체 층들의 상기 굴절률보다 큰 굴절률을 갖는 고 굴절 유전체 층들을 포함하는 처프 펄스 증폭 장치
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제 8 항에 있어서,상기 저 굴절 유전체 층은 실리콘 산화물을 포함하되,상기 고 굴절 유전체 층은 티타늄 산화물을 포함하는 처프 펄스 증폭 장치
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10
제 7 항에 있어서,상기 제 3 다중 반사 미러는:제 3 대면적 미러; 및상기 3 대면적 미러 내에 배치되는 제 3 소면적 미러를 포함하되,상기 제 4 다중 반사 미러는:상기 제 3 대면적 미러에 대향하는 제 4 대면적 미러; 및상기 제 4 대면적 미러 내에 배치되는 제 4 소면적 미러를 포함하는 처프 펄스 증폭 장치
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11
제 7 항에 있어서,상기 제 3 및 제 4 대면적 미러들은 상기 제 3 및 제 4 소면적 미러들을 고정하고, 상기 펄스 레이저 빔을 통과시키는 제 3 및 제 4 홀들을 각각 갖는 처프 펄스 증폭 장치
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제 6 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 다중 반사 미러들은 금속 미러들을 포함하는 처프 펄스 증폭 장치
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제 6 항에 있어서,상기 펄스 발진기는:제 1 펌프 광을 생성하는 제 1 펌프 레이저;상기 제 1 펌프 광으로부터 상기 펄스 레이저 빔을 생성하는 제 1 공진기; 및상기 펄스 레이저 빔을 처핑하는 처프 미러를 포함하되,상기 제 1 공진기는:복수개의 오목 거울들; 및상기 오목 거울들 사이에 배치되는 제 1 이득 매질을 포함하는 처프 펄스 증폭 장치
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제 13 항에 있어서,상기 펄스 증폭기는:제 2 펌프 광을 생성하는 제 2 펌프 레이저; 및상기 제 2 펌프 광으로 상기 펌프 레이저 빔을 공진시켜 상기 펌프 레이저 빔의 세기를 증폭하는 제 2 공진기를 포함하되,상기 제 2 공진기는:복수개의 미러들; 및상기 미러들 사이에 배치되고, 상기 제 1 이득 매질과 동일한 재질을 구비한 제 2 이득 매질을 포함하는 처프 펄스 증폭 장치
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