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레이저가 인가되면 플라즈마를 생성하여 엑스선을 발생시키는 표적(target);레이저가 상기 표적 방향으로 진행하도록 반사하는 레이저 반사부;상기 레이저를 집속하여 상기 표적에 인가하는 레이저 집속 렌즈;상기 표적의 영상을 촬영하여 그 위치를 측정하는 표적 위치 측정부; 및상기 표적 위치 측정부가 측정한 표적의 위치를 고려하여 상기 표적을 이송하는 표적 이송부를 포함하여 구성되며,상기 표적 위치 측정부는 상기 레이저 반사경을 기준으로 상기 표적과 대향하는 방향에 위치하는 것을 특징으로 하는 엑스선 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 표적 위치 측정부는,영상용 렌즈와 영상 인식 장치를 포함하여 구성되며,상기 레이저 집속 렌즈와 영상용 렌즈는 상기 영상 인식 장치가 상기 표적의 확대 영상을 촬영할 수 있도록 광학계를 형성하는 것을 특징으로 하는 엑스선 발생 장치
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제2항에 있어서,상기 표적 위치 측정부는,상기 촬영된 표적의 확대 영상을 이용하여 상기 표적의 위치를 정밀하게 측정할 수 있는 것을 특징으로 하는 엑스선 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 레이저 반사부는,상기 표적 위치 측정부가 상기 표적의 영상을 촬영할 수 있도록 소정의 파장 범위의 빛을 투과시키는 것을 특징으로 하는 엑스선 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 표적 이송부는,상기 표적을 고속으로 이송시키는 고속 표적 이송부와 상기 표적의 위치를 정밀하게 조정할 수 있는 정밀 표적 이송부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 엑스선 발생 장치
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제5항에 있어서,상기 고속 표적 이송부가 상기 표적을 소정의 위치로 이송시킨 후,상기 표적 위치 측정부가 측정한 표적의 위치를 고려하여 상기 정밀 표적 이송부가 상기 표적의 위치를 정밀하게 조정하는 것을 특징으로 하는 엑스선 발생 장치
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제5항에 있어서,상기 정밀 표적 이송부는 압전 소자를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 엑스선 발생 장치
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