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스캐닝하여 출력된 CW 레이저를 PM 변조시켜 훼브리 페롯 에탈론(Fabry-Perot Etalon, FPE)으로 인가하는 PM 변조부; 상기 인가에 따라 상기 훼브리 페롯 에탈론을 투과한 투과 신호 또는 상기 훼브리 페롯 에탈론에 의해 반사된 반사 신호를 검출하는 광 검출기; 및상기 광 검출기에 의해 검출된 결과 및 상기 PM 변조를 위해 사용된 변조 신호를 이용하여 상기 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역(Free Spectral Range, FSR)을 측정하는 FSR 측정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역 측정 시스템
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제1항에 있어서, CW 레이저를 스캐닝하여 상기 PM 변조부로 인가하는 레이저 출력부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역 측정 시스템
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제2항에 있어서, 상기 투과 신호의 각 PM 측파대 주파수 성분(변조 주파수의 측파대 주파수 성분)을 FSR 간격으로 주기적으로 필터링하는 FPE 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역 측정 시스템
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제2항에 있어서, 상기 FSR 측정부는 상기 CW 레이저의 반송파 주파수에 따른 상기 투과 신호에서 변조 주파수 성분의 크기(상기 변조 신호의 진폭)에 대한 정보를 포함하는 오차 신호를 검출하고, 상기 오차 신호가 없어지는 지점에서의 변조 주파수를 상기 자유 동작 영역(FSR)으로 결정하는 것을 특징으로 하는 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역 측정 시스템
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제4항에 있어서, 상기 오차 신호는 상기 변조 주파수의 스펙트럼 선간의 간격과 상기 자유 동작 영역(FSR)의 차이에 따른 상기 변조 주파수 성분의 크기에 대한 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역 측정 시스템
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제5항에 있어서, 상기 CW 레이저의 반송파 주파수가 상기 훼브리 페롯 에탈론의 통과 첨두치의 주파수보다 큰 지의 여부에 따라 상기 오차 신호에서의 상기 변조 주파수 성분의 크기가 다른 것을 특징으로 하는 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역 측정 시스템
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제2항에 있어서, 상기 FSR 측정부는 상기 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역 주파수와 상기 PM 변조부의 변조 주파수의 차이에 해당하는 정보를 검출하고, 상기 검출된 정보를 통하여 상기 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역(FSR)을 측정하는 것을 특징으로 하는 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역 측정 시스템
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제2항에 있어서, 상기 FSR 측정부는 상기 투과 신호의 오차 신호와 상기 반사 신호의 오차 신호를 모두 이용하여 상기 자유 동작 영역(FSR)을 측정하되, 상기 오차 신호는 상기 CW 레이저의 반송파 주파수에 따른 변조 주파수 성분의 크기를 나타내는 것을 특징으로 하는 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역 측정 시스템
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스캐닝하여 출력된 레이저를 PM 변조하여 훼브리 페롯 에탈론으로 인가하는 단계;상기 인가에 따라 상기 훼브리 페롯 에탈론을 투과한 투과 신호 또는 상기 훼브리 페롯 에탈론에 의해 반사된 반사 신호를 검출하는 단계; 및상기 검출된 반사 신호 및 상기 PM 변조를 위해 사용된 변조 신호를 이용하여 상기 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역(FSR)을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역 측정 방법
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제9항에 있어서, 상기 자유 동작 영역을 측정하는 단계는,상기 검출된 반사 신호와 상기 변조 신호를 혼합하여 상기 변조 신호의 변조 주파수 성분의 크기(진폭)를 나타내는 진폭 신호를 획득하는 단계; 상기 진폭 신호에 상기 레이저를 발생시키기 위해 사용된 주파수 신호를 스캐닝하여 인가하여 상기 레이저의 반송파 주파수에 따른 변조 주파수 성분의 크기에 대한 정보를 포함하는 오차 신호를 획득하는 단계; 및상기 획득된 오차 신호를 분석하여 상기 자유 동작 영역(FSR)을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역 측정 방법
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제10항에 있어서, 상기 오차 신호가 없어지는 지점에서의 변조 주파수가 상기 자유 동작 영역(FSR)으로 결정되는 것을 특징으로 하는 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역 측정 방법
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제10항에 있어서, 상기 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역 주파수와 상기 변조 주파수의 차이에 해당하는 정보를 검출하고, 상기 검출된 정보를 통하여 상기 자유 동작 영역(FSR)이 측정되는 것을 특징으로 하는 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역 측정 방법
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제9항에 있어서, 상기 검출하는 단계는,상기 투과 신호의 각 PM 측파대 주파수 성분을 FSR 간격으로 주기적으로 필터링하는 단계; 및상기 필터링된 투과 신호를 광 검출기로 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역 측정 방법
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제9항에 있어서, 상기 투과 신호의 오차 신호와 상기 반사 신호의 오차 신호를 모두 이용하여 상기 자유 동작 영역(FSR)을 측정하되, 상기 오차 신호는 상기 레이저의 반송파 주파수에 따른 변조 주파수 성분의 크기에 대한 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 훼브리 페롯 에탈론의 자유 동작 영역 측정 방법
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