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전단에 공구가 장착되는 툴 홀더가 구비되어 있는 샤프트;상기 샤프트의 외경보다 큰 외경을 가지며 상기 샤프트의 후단부에 상기 샤프트와 일체로 형성되는 플랜지부;상기 샤프트의 축 방향을 따라 나란하게 형성되는 저널 에어베어링;상기 샤프트의 축 방향과 수직으로 상기 플랜지부의 전방에 형성되는 프런트 쓰러스트 에어베어링과, 상기 샤프트의 축방향과 수직으로 상기 플랜지부의 후방에 형성되는 리어 쓰러스트 에어베어링을 포함하는 쓰러스트 에어베어링;상기 플랜지부의 외주면을 따라 형성되며, 상기 플랜지부의 외주면 중심부에 결착되는 에어터빈;상기 샤프트의 외주면과, 상기 프런트 쓰러스트 에어베어링의 전면과 외주면을 내포하는 프런트 하우징; 상기 리어 쓰러스트 에어베어링의 외주면과 후면을 내포하는 리어 하우징; 및상기 에어터빈의 전방에서 상기 프런트 하우징의 후단에 접하여 상기 플랜지부의 외주면을 따라 상기 플랜지부와 일정한 간격을 두고 형성되는 프런트 스페이서와, 상기 에어터빈의 후방에서 상기 리어 하우징의 전단에 접하여 상기 플랜지부의 외주면을 따라 상기 플랜지부와 일정한 간격을 두고 형성되는 리어 스페이서와, 상기 프런트 스페이서의 후단과 상기 리어 스페이서의 전단에 접하여 상기 에어터빈의 외주면을 따라 상기 에어터빈과 일정한 간격을 두고 형성되는 미들 스페이서를 포함하는 스페이서부;를 포함하여 구성되되,상기 리어 하우징은,외부의 에어공급부와 연결되며, 상기 리어 하우징의 전단과 후단을 관통하여 형성되는 정방향 에어공급유로를 포함하며,상기 리어 스페이서는,상기 리어 하우징의 정방향 에어공급유로 전단과 연통하며, 상기 리어 스페이서의 전단과 후단을 관통하여 형성되는 정방향 에어통과홀을 포함하며,상기 미들 스페이서는,상기 리어 스페이서의 정방향 에어통과홀의 전단과 연통하며, 상기 미들 스페이서의 후단에서 전방으로 형성되는 정방향 에어공급홀과,상기 정방향 에어공급홀에서 연장되어 유선형으로 형성되며, 상기 에어터빈이 정방향으로 회전하도록 상기 에어터빈의 외주면에 대하여 접선 방향으로 압축공기를 배출하는 정방향 에어공급라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀 베어링 클리어런스용 스페이서부를 구비한 에어베어링 스핀들
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청구항 1에 있어서,상기 미들 스페이서의 폭은 상기 에어터빈의 폭보다 0
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청구항 1에 있어서,상기 리어 하우징은,외부의 에어공급부와 연결되며, 상기 리어 하우징의 전단과 후단을 관통하여 형성되는 역방향 에어공급유로를 더 포함하며,상기 리어 스페이서는,상기 리어 하우징의 역방향 에어공급유로 전단과 연통하며, 상기 리어 스페이서의 전단과 후단을 관통하여 형성되는 역방향 에어통과홀을 더 포함하며,상기 미들 스페이서는,상기 리어 스페이서의 역방향 에어통과홀의 전단과 연통하며, 상기 미들 스페이서의 후단에서 전방으로 형성되는 역방향 에어공급홀과,상기 역방향 에어공급홀에서 연장되어 유선형으로 형성되며, 상기 에어터빈이 역방향으로 회전하도록 상기 정방향 에어공급라인에서 배출되는 방향과 반대 방향으로 압축공기를 배출하는 역방향 에어공급라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀 베어링 클리어런스용 스페이서부를 구비한 에어베어링 스핀들
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청구항 1, 청구항 2 및 청구항 4 중 어느 한 청구항에 있어서,상기 플랜지부는,상기 리어 스페이서의 후방에서 플랜지부의 후단 외경을 따라 돌출되어 형성되며, 광센서용 반사판이 일정한 간격으로 형성되어 있는 반사판부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀 베어링 클리어런스용 스페이서부를 구비한 에어베어링 스핀들
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청구항 5에 있어서,상기 리어 스페이서는,상기 반사판부의 둘레를 따라 상부에 위치하는 어퍼 리어 스페이서와, 하부에 위치하는 언더 리어 스페이서가 결합하여 형성되는 것을 특징으로 하는 정밀 베어링 클리어런스용 스페이서부를 구비한 에어베어링 스핀들
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