1 |
1
바닥면에 배치되는 히터유닛;상기 히터유닛의 상측에 배치되며, 제 1 패턴이 상부면에 형성되는 제 1 감지센서; 및상기 제 1 감지센서와 일정 거리 이격 배치되며, 제 2 패턴의 하부면에 형성되는 제 2 감지센서;를 포함하며,상기 제 1 및 제 2 패턴 사이에 피측정 대상물인 샘플이 상기 제 1 및 제 2 패턴과 면 접촉하도록 배치되고, 상기 제 1 패턴은,마이너스 전압 및 전류가 인가되는 제 1 단자;상기 제 1 단자의 타측에 배치되며 플러스 전압 및 전류가 인가되는 제 2 단자;상기 제 1 및 제 2 단자를 연결하는 제 1 센싱부;상기 제 1 및 제 2 단자와 간섭되지 않는 위치에 배치되며, 상기 샘플의 안착 위치를 가이드 하는 제 1 가이드부; 및상기 제 1 센싱부의 좌우측에 상기 제 1 가이드부와 간섭되지 않는 위치에 배치되는 제 2 가이드부;를 포함하며,상기 제 2 패턴은,마이너스 전류가 인가되는 제 3 단자;상기 제 3 단자의 타측에 배치되며 플러스 전류가 인가되는 제 4 단자;상기 제 3 및 제 4 단자를 연결하는 히터부;마이너스 전압 및 전류가 인가되는 제 5 단자;상기 제 5 단자의 타측에 배치되며 플러스 전압 및 전류가 인가되는 제 6 단자;상기 제 5 및 제 6 단자를 연결하는 제 2 센싱부;마이너스 전압 및 전류가 인가되는 제 7 단자;상기 제 7 단자의 타측에 배치되며 플러스 전압 및 전류가 인가되는 제 8 단자; 및상기 제 7 및 제 8 단자를 연결하는 제 3 센싱부;를 포함하는 열전박막의 제백계수 측정센서유닛
|
2 |
2
삭제
|
3 |
3
삭제
|
4 |
4
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 및 제 3 센싱부는 동일한 패턴 및 크기를 가지도록 형성되는 열전박막의 제백계수 측정센서유닛
|
5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 제 1 내지 제 3 센싱부는 동일한 패턴으로 형성되는 열전박막의 제백계수 측정센서유닛
|
6 |
6
제 1 항에 있어서,제 5 및 제 6 단자의 양단을 연결하여 제 1 온도를 측정하고,제 1 및 제 2 단자의 양단을 연결하여 제 2 온도를 측정하여,제 1 온도와 제 2 온도 간 온도차를 측정하고,제 2 및 제 6 단자의 양단을 연결하여 전위차를 측정하는 열전박막의 제백계수 측정센서유닛
|
7 |
7
제 1 항에 있어서,제 5 및 제 6 단자의 양단을 연결하여 제 1 온도를 측정하고,제 7 및 제 8 단자의 양단을 연결하여 제 2 온도를 측정하여,제 1 온도와 제 2 온도 간 온도차를 측정하고,제 6 및 제 8 단자의 양단을 연결하여 전위차를 측정하는 열전박막의 제백계수 측정센서유닛
|
8 |
8
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 패턴은,MEMS 구조로 형성된 센싱 패턴이 백금(Pt) 재질로 형성되는 열전박막의 제백계수 측정센서유닛
|