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내부 공간부에 진공도를 유지할 수 있도록 구성되는 챔버;상기 챔버에 설치되어 상기 내부 공간부의 공기를 배출하여, 상기 챔버 내부 공간부의 진공도를 조절하는 터보펌프;상기 내부 공간부에 설치되며, 복수의 구조물들의 측벽을 지지하여 위치 고정하는 지그모듈;상기 지그모듈에 의해 위치 고정되며, 상기 내부 공간부의 바닥면에 배치되는 히터유닛;상기 히터유닛 상측에 배치되어 상기 히터유닛의 열을 외부로 방출하는 냉각유닛;상기 히터유닛과 냉각유닛 사이에 개재되는 적어도 한 쌍의 절연유닛; 및상기 한 쌍의 절연유닛 사이에 개재되는 한 쌍의 센싱유닛;을 포함하며,실리콘 표면에 산화실리콘이 형성되어 이루어지는 타겟 물질 베이스 상에 피측정 대상인 샘플이 박막형태로 형성되고, 상기 샘플이 상기 타겟 물질 베이스 상에 형성된 상태로 상기 한 쌍의 센싱유닛 사이에 개재되며, 상기 지그모듈은,상기 히터유닛과 냉각유닛의 상하좌우 요동을 방지할 수 있도록 상기 히터유닛과 냉각유닛의 양 측벽을 지지하는 한 쌍의 지그; 및상기 지그의 위치를 고정하는 고정유닛;을 포함하며, 상기 히터유닛은,상기 챔버 바닥면에 고정 배치되는 히터; 및바닥면은 상기 히터 상측에 면접하고, 상부면은 상기 절연유닛과 면 접촉하도록 배치되는 제 1 열 저장부;를 포함하고, 상기 냉각유닛은,바닥면은 상기 절연유닛과 면 접촉하는 제 2 열 저장부; 및상기 제 2 열 저장부의 상부면과 면 접촉하여, 상기 제 2 열 저장부를 통해 전달된 열을 상기 챔버 외부 공간부로 배출하는 히트싱크;를 포함하며,상기 히트싱크는,상기 챔버의 내부 공간부와 근접한 위치에 배치되며, 내부에 냉각수 유로를 가지는 제 1 냉각모듈;상기 제 2 열 저장부로부터 전달되는 열원과 근접한 위치에 배치되며, 내부에 냉각수 유로를 가지는 제 2 냉각모듈; 상기 제 1 및 제 2 냉각모듈의 냉각수 유로를 연통하는 연결부;상기 제 1 냉각모듈 내부로 냉각수가 유입되는 유입구; 및상기 제 2 냉각모듈의 열교환된 냉각수를 배출하는 배출구;를 포함하는 열전박막의 제백계수 측정장치
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