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제 1 기판;상기 제 1 기판 상에 배치되는 제 1 냉각부;상기 제 1 냉각부 상에 배치되는 제 1 전극 및 제 2 전극;상기 제 1 전극 상에 배치되는 제 1 레그;상기 제 2 전극 상에 배치되는 제 2 레그;상기 제 1 레그 및 상기 제 2 레그 상에 배치되는 제 3 전극;상기 제 3 전극 상에 배치되는 제 2 냉각부; 및상기 제 2 냉각부 상에 배치되는 제 2 기판을 포함하고,상기 제 1 냉각부 및 상기 제 2 냉각부는 실리콘을 포함하는 열전 소자
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제 1 항에 있어서,상기 전극들을 향하는 상기 제 1 냉각부 및 상기 제 2 냉각부의 표면은 요홈을 갖는 열전 소자
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제 2 항에 있어서,상기 제 1 냉각부 및 상기 제 2 냉각부와 상기 제 1 내지 제 3 전극들의 접촉면들 각각의 면적은 상기 제 1 냉각부 및 상기 제 2 냉각부의 면적 각각의 5 내지 50%인 열전 소자
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제 3 항에 있어서,상기 제 1 냉각부와 상기 제 2 냉각부의 면적은 서로 동일한 열전 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판은 알루미늄을 포함하는 열전 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 전극 및 제 2 전극은 Cu, Au, Ag, Ni, Al, Cr, Ru, Re, Pb, Sn, In 및 Zn를 포함하는 군으로부터 선택된 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금인 열전 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 레그는 제 1 도전성의 열전변환 패턴인 열전 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 레그는 제 2 도전성의 열전변환 패턴인 열전 소자
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